技術總結
本發明公開了金及其合金表面透明類金剛石納米薄膜及其制備方法。該制備方法去先在金及其合金表面預處理，然后采用離子源轟擊清洗樣品表面；再制備氧化物過渡鍍層及其厚度控制；同時開啟離子源和磁控濺射源，所述磁控濺射靶為含有金溶解元素和能形成碳化物的元素的磁控濺射合金靶，且其中金溶解元素的原子百分含量為10?30at％；采用膜厚監控儀在線監控涂層厚度，控制該合金涂層的厚度1?2納米；最后制備高透明度類金剛石涂層。本發明制備的其合金表面耐腐蝕抗變色處理用類金剛石涂層具有高附著力、高透明度、抗刮劃特性。

技術研發人員：彭繼華;蘇東藝
受保護的技術使用者：華南理工大學;廣州今泰科技股份有限公司
文檔號碼：201611122027
技術研發日：2016.12.08
技術公布日：2017.05.10