技術總結
本發明提供了一種刀具復合涂層的制備方法，具體為：A)將清洗后的刀具裝夾在高功率脈沖磁控濺射儀的工件架上，抽真空后開啟加熱器，再調節電加熱器；B)在高功率脈沖磁控濺射儀的腔體中通入惰性氣體，開啟偏壓電源對刀具進行輝光清洗；C)輝光清洗結束后，調節高功率脈沖磁控濺射儀腔體的真空度，開啟鈦靶沉積Ti層；D)轟擊完畢后，打開氮氣流量計閥門后沉積TiN層與TiSiN層，冷卻后得到刀具涂層。本發明利用高功率脈沖磁控濺射技術沉積制備TiSiN納米復合涂層，該TiSiN基刀具涂層制備工藝穩定可靠，重復性強，對難加工材料的高速加工、各種機械零部件產品的性能的提升及裝備制造業的發展具有重要的應用價值。

技術研發人員：王啟民;鄒長偉;丁繼成;鄭軍
受保護的技術使用者：廣東工業大學
文檔號碼：201611130593
技術研發日：2016.12.09
技術公布日：2017.05.31