本發明涉及一種移載裝置，特別是涉及一種用于濺鍍設備的復合式穩定移載裝置。

背景技術：

申請人所研發且已申請為中國臺灣證書號數第M384399號專利的一種水平步進式濺鍍設備，包含數個分別對應數個濺鍍腔室且用于輸送一個工件托盤于所述濺鍍腔室間移動的驅動單元。各驅動單元包括一個位于所對應的濺鍍腔室外的傳輸馬達、數個設置于所對應濺鍍腔室內的且被該傳輸馬達驅動的輸送滾輪，及數個設置于所對應濺鍍腔室內且位于所述輸送滾輪兩側的側向滾輪。各驅動單元在驅動該工件托盤移動時，所述輸送滾輪是與該工件托盤的底面抵接，所述側向滾輪導引該工件托盤的兩側，藉此達到能連續且周期性往復帶動該工件托盤，并對該工作托盤進行精確的位置控制。

但由于上述工件托盤借由與輸送滾輪之間摩擦滾動接觸進行移載，因此當所述輸送滾輪由運轉狀態快速停止運轉時，該工件托盤因慣性運動無法立即隨著所述輸送滾輪停止移動，從而容易產生定位偏差的問題。

該工件托盤在各腔室內或跨腔室移動時，經常會歪斜，需借由接觸所述側向滾輪來導正，從而增加機構復雜度及容易因碰撞產生落塵污染及工件振動偏移。

另外，中國臺灣證書號數第I421360號專利所公開的一種雙面濺射蝕刻基板之系統，其一個盤片載具是具有一組磁化輪，且載置于一組以永久磁性材料制作的軌道，并由一個直線馬達驅動該盤片載具。該盤片載具借由該組磁化輪與該組磁性軌道相配合產生較佳的吸引力及穩定性。

但由于上述磁化輪與磁性軌道為直接硬接觸，因此當該組磁性軌道的軌道面加工不平整，或是兩個磁性軌道之間具有設置高度差，皆會造成該盤片載具在移動過程中傾斜晃動，從而影響濺射蝕刻的質量。

技術實現要素：

本發明的目的在于提供一種至少克服先前技術所述缺點的復合式穩定移載裝置。

本發明復合式穩定移載裝置，用于安裝在一個濺鍍腔體，包含兩個輪座、數個設置于所述輪座的輪組、一個承靠于所述輪組的載臺單元，及一個用于驅動所述輪組的驅動單元。

所述輪座沿一個橫方向間隔設置于該濺鍍腔體內。各輪座沿一個垂直于該橫方向的輸送方向延伸。

所述輪組的其中數者沿該輸送方向間隔設置于其中一個輪座，其余數者沿該輸送方向間隔設置于另一個輪座。各輪組包括一個輪軸，及一個加磁輸送輪。該輪軸樞設于所對應的輪座。該加磁輸送輪連接該輪軸，且具有一個軸線、一個環繞該軸線的輪周部、一個環繞該軸線設置于該輪周部內的磁軌環，及至少一個環繞設置于該輪周部的外周面且具有彈性的摩擦環，該磁軌環具有環繞該軸線交錯間隔設置的數個正磁區及數個負磁區，各正磁區的磁極相異于各負磁區的磁極。

該載臺單元承靠于所述輪組的摩擦環，并包括一個載臺，及兩個沿該橫方向間隔設置于該載臺的磁軌條。各磁軌條沿該輸送方向延伸且具有沿該輸送方向交錯間隔設置的數個正磁區及數個負磁區。各正磁區的磁極相異于各負磁區的磁極。所述磁軌條其中一者是對應設置于其中一個輪座的所述輪組，所述磁軌條另一者是對應設置于另一個輪座的所述輪組。

該驅動單元能被操作用于驅動所述輪組同步運轉。

本發明復合式穩定移載裝置，各加磁輸送輪還具有一個殼體及一個側封環蓋，該殼體具有該輪周部、一個沿徑向位于該輪周部內側的軸承環部、一個由該輪周部的一端延伸至該軸承環部的封閉側部，及一個由該輪周部、該軸承環部及該封閉側部所界定形成的容置空間，該側封環蓋蓋設于該殼體的該輪周部相反于該封閉側部的一端，以封閉該容置空間的開口。

本發明復合式穩定移載裝置，各磁軌環設置于所對應的加磁輸送輪的該容置空間，且貼設于各加磁輸送輪的該輪周部的內周面。

本發明復合式穩定移載裝置，該載臺的底面凹陷形成兩個分別供所述磁軌條嵌設的嵌槽，該載臺單元的所述磁軌條分別承靠于所述輪組的摩擦環。

本發明復合式穩定移載裝置，定義其中兩個沿該橫方向相對設置的輪組為主動輪組，定義其余的輪組為從動輪組，該驅動單元包括一個驅動件、一個連接軸、數個傳動輪，及兩個傳動組，該驅動件連接于其中一個主動輪組的輪軸，該連接軸連接所述主動輪組的輪軸，所述傳動輪分別設置于所述輪組的輪軸，所述傳動組其中一者將設置于該其中一個輪座的所述輪組的傳動輪相連接，所述傳動組另一者將設置于另一個輪座的所述輪組的傳動輪相連接，用于致使所述輪組能同步運轉。

本發明的有益效果在于：借由該載臺單元的磁軌條與所抵接的所述輪組的磁軌環的磁吸力，不僅能讓該載臺單元與所述輪組之間的結合性更佳及提高該載臺單元的移動穩定性與定位精度，并克服所述輪組急停造成該載臺單元慣性位移，且能避免該載臺單元相對所述輪組沿該橫方向偏移，從而免去先前技術所提及的側向導輪的組件設置。再者，借由所述輪組的摩擦環的彈性，能補償吸收該載臺單元及所述輪組在高度方向上的公差，也避免跨腔銜接產生硬接觸的問題。

本發明加磁輸送輪，包含一個軸線、一個環繞該軸線的輪周部、一個環繞該軸線的磁軌環，及至少一個環繞該軸線的摩擦環。

該磁軌環設置于該輪周部內，且包括環繞該軸線交錯間隔設置的數個正磁區及數個負磁區，各正磁區的磁極相異于各負磁區的磁極。

該至少一個摩擦環環繞設置于該輪周部的外周面且具有彈性。

本發明加磁輸送輪，該加磁輸送輪還包含一個殼體及一個側封環蓋，該殼體包括該輪周部、一個沿徑向位于該輪周部內側的軸承環部、一個由該輪周部的一端延伸至該軸承環部的封閉側部，及一個由該輪周部、該軸承環部及該封閉側部所界定形成的容置空間，該側封環蓋蓋設于該殼體的該輪周部相反于該封閉側部的一端，以封閉該容置空間的開口。

本發明加磁輸送輪，該磁軌環設置于該容置空間，且貼設于該輪周部的內周面。

附圖說明

圖1是一個立體圖，顯示本發明復合式穩定移載裝置的一個較佳實施例設置于一個濺鍍腔體內；

圖2是該較佳實施例的一個立體圖；

圖3是該較佳實施例的一個載臺單元的一個立體分解圖；

圖4是由圖2所取得的一個不完整的局部剖視圖，顯示該較佳實施例的各輪組的結構組成；及

圖5是該較佳實施例的各輪組的一個加磁輸送輪的立體分解圖。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本發明進行詳細說明。

參閱圖1與圖2，本發明復合式穩定移載裝置的一個較佳實施例，用于安裝在一個濺鍍腔體1內，該復合式穩定移載裝置包含兩個輪座2、十六個輪組3、一個載臺單元5，及一個驅動單元6。

所述輪座2沿一個橫方向X間隔設置于該濺鍍腔體1內。各輪座2沿一個垂直于該橫方向X的輸送方向Y延伸。

所述輪組3其中八者沿該輸送方向Y間隔設置于其中一個輪座2，其余八者沿該輸送方向Y間隔設置于另一個輪座2。參閱圖4及圖5，各輪組3包括一個樞設于所對應的輪座2的輪軸31，及一個連接該輪軸31的加磁輸送輪4。

該加磁輸送輪4具有一個軸線L、一個殼體41、一個磁軌環42、一個側封環蓋43，及兩個摩擦環44。各殼體41具有一個環繞該軸線L的輪周部411、一個沿徑向位于該輪周部411內側且環繞該軸線L的軸承環部412、一個由該輪周部411的一端延伸至該軸承環部412的封閉側部413，及一個由該輪周部411、該軸承環部412及該封閉側部413所界定形成的容置空間414。

該磁軌環42設置于該容置空間414，且貼設于該輪周部411的內周面。該磁軌環42具有環繞該軸線L交錯間隔設置的數個正磁區421及數個負磁區422，該磁軌環42的各正磁區421的磁極相異于各負磁區422的磁極。該側封環蓋43蓋設于該殼體41的該輪周部411相反于該封閉側部413的一端，以封閉該容置空間414的開口，借此該側封環蓋43與該殼體41相配合將該磁軌環42封閉于該容置空間414內而與外界隔絕。所述摩擦環44沿該軸線L方向并排環繞設置于該輪周部411的外周面且分別具有彈性。

參閱圖2、3、4，該載臺單元5承靠于所述輪組3的摩擦環44，并包括一個載臺51，及兩個沿該橫方向X間隔設置于該載臺51的磁軌條52。該載臺51的底面凹陷形成兩個分別供所述磁軌條52嵌設的嵌槽511。所述磁軌條52其中一者是對應設置于其中一個輪座2的所述輪組3且承靠于所述輪組3的摩擦環44，所述磁軌條52另一者是對應設置于另一個輪座2的所述輪組3且承靠于所述輪組3的摩擦環44。各磁軌條52沿該輸送方向Y延伸且具有沿該輸送方向Y交錯間隔設置的數個正磁區521及數個負磁區522，各磁軌條52的各正磁區521的磁極相異于各負磁區522的磁極。在本實施例中，各磁軌條52是先黏合于一個背鐵53，再透過該背鐵53嵌合于所對應的嵌槽511。

參閱圖2及圖4，在此定義其中兩個分別設置于所述輪座2位于同側的端部且沿該橫方向X相對設置的輪組3為主動輪組，定義其余的輪組3為從動輪組。

該驅動單元6包括一個驅動件61、一個連接軸62、數個傳動輪63、兩個傳動組64，及數個張力輪65。該驅動件61連接于其中一個主動輪組3的輪軸31。該連接軸62連接所述主動輪組3的輪軸31。所述傳動輪63分別設置于所述輪組3的輪軸31。所述傳動組64其中一者將設置于該其中一個輪座2的所述輪組3的傳動輪63相連接，所述傳動組64另一者將設置于另一個輪座2的所述輪組3的傳動輪63相連接，用于致使所述輪組3能同步運轉。各傳動組64具有數個分別繞設于兩個相鄰的輪組3上的傳動輪63的傳動帶641。所述張力輪65分別用于將所述傳動帶641迫緊連接所述傳動輪63。

以上即為本發明復合式穩定移載裝置的組件組成的敘述；接著，再將本發明的作動以及預期能達成之功效陳述如后︰

借由該載臺單元5的磁軌條52與所抵接的所述輪組3的磁軌環42的磁吸力，能讓該載臺單元5與所述輪組3之間的結合性更佳及提高該載臺單元5的移動穩定性與定位精度，且能避免該載臺單元5相對所述輪組3沿該橫方向X偏移，從而免去先前技術所提及的側向導輪的組件設置。

當所述輪組3由運轉狀態快速停止運轉時，借由該載臺單元5的磁軌條52與所抵接的所述輪組3的磁軌環42的磁吸力，以及所述輪組3的摩擦環44所提供的摩擦力，用于抵抗該載臺單元5的慣性運動，避免產生定位偏差問題。

借由所述輪組3的摩擦環44是具有彈性而能被該載臺單元5壓縮的特性，用于補償吸收該載臺單元5與所述輪組3之間的加工公差或高度設置公差，使得該載臺單元5能維持一定的設置水平，且在移動過程中不會傾斜晃動，也避免跨腔銜接產生硬接觸的問題。

各加磁輸送輪4透過其殼體41及其側封環蓋43的結構設計，能相配合將其磁軌環42包覆封閉，避免該磁軌環42被濺鍍以及濺鍍高溫影響而失去磁性，而且將該磁軌環42包覆封閉于該殼體41內，使得各加磁輸送輪4的外型尺寸與傳統未加磁的輸送輪一致，有利于傳統的移載裝置僅需更換本發明的該加磁輸送輪4即能升級為本發明復合式穩定移載裝置。

綜上所述，確實能達成本發明之目的。