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一種封閉式自體循環(huán)的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12393956閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種封閉式自體循環(huán)的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng),它包括依次連接的蝕刻線(1)、中轉(zhuǎn)母液罐(2)、母液罐(3)、銅離子無損分離系統(tǒng)(4)、再生子液罐(5)、配液罐(6)、過濾器(7)、子液罐(8),所述的子液罐(8)再與蝕刻線(1)連接形成封閉循環(huán),所述的相鄰兩個(gè)部件之間均設(shè)置有高壓泵,其特征在于:所述的銅離子無損分離系統(tǒng)還連接有一提銅裝置(9),所述的蝕刻線(1)、中轉(zhuǎn)母液罐(2)、母液罐(3)、銅離子無損分離系統(tǒng)(4)、再生子液罐(5)、配液罐(6)、過濾器(7)、子液罐(8)、提銅裝置(9)和高壓泵上均設(shè)置有檢測對應(yīng)部件的檢測儀,所述的檢測儀與控制器連接,所述的控制器內(nèi)設(shè)置有能將異常信息發(fā)給對應(yīng)負(fù)責(zé)人的短消息模塊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種封閉式自體循環(huán)的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的銅離子無損分離系統(tǒng)(4)包括電解槽(19)和與電解槽(19)相連的溫控槽(11),電解槽(19)上端設(shè)有將電解槽(19)和溫控槽(11)連通的兩根平行的溢流管(10),電解槽(19)下端設(shè)有循環(huán)管(16)和出水管(14),循環(huán)管(16)一端與電解槽(19)連通,另一端與溫控槽(11)下端連通,循環(huán)管(16)上還設(shè)有循環(huán)泵(17),出水管(14)上設(shè)有控制閥門Ⅰ(18),所述溫控槽(11)底端還設(shè)有母液管(12),母液管上同樣設(shè)有控制閥門Ⅱ(15)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種封閉式自體循環(huán)的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述溫控槽(11)的下端還設(shè)有排污管,排污管上設(shè)有開關(guān)閥門(13),所述排污管與出水管連通。

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