技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種摻金屬的類(lèi)金剛石涂層的方法，將預(yù)處理后的工件放入ISE?MS鍍膜設(shè)備真空室中的轉(zhuǎn)架桿上，以安置在爐體左右內(nèi)壁上的一對(duì)平面金屬濺射靶作為相應(yīng)摻金屬的來(lái)源，通過(guò)調(diào)整中頻脈沖電源的功率控制平面金屬濺射靶的濺射率；將高純Ar和CH4通過(guò)離子源進(jìn)入真空室，其中，高純Ar作為主要離化氣體，CH4作為反應(yīng)氣體；采用了底層和過(guò)渡層設(shè)計(jì)方法，不但進(jìn)一步提高涂層結(jié)合力，又保證了涂層耐磨和減摩性能的提高。所制備的摻金屬的類(lèi)金剛石涂層，外觀(guān)呈灰色或黑色，表面光滑致密，摻金屬的類(lèi)金剛石涂層的硬度HV1800以上，膜基結(jié)合力達(dá)到50N以上，厚度為2.0μm～3.0μm，當(dāng)摩擦副為Al2O3球時(shí)，摻金屬的類(lèi)金剛石涂層的干摩擦系數(shù)為0.1～0.25。

技術(shù)研發(fā)人員：馬勝利
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安交通大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710005798
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.04
技術(shù)公布日：2017.06.13