1.一種側蝕小的銅蝕刻液，其特征在于配方包括：1-15wt％過氧化氫，1-25wt％無機酸，1-20wt％有機酸，1-30wt％鹽類，0.5-2wt％表面活性劑以及余量的去離子水；表面活性劑為聚二甲基硅氧烷、聚乙二醇甲醚、聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚氧乙烯聚氧丙烯烷基醚、四甲基癸炔二醇中的一種。
2.根據權利要求1所述的側蝕小的銅蝕刻液，其特征在于：所述無機酸為鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、高氯酸、次氯酸、高錳酸中的一種。
3.根據權利要求1所述的側蝕小的銅蝕刻液，其特征在于：所述有機酸為冰醋酸、甲酸、草酸、檸檬酸、羥基乙酸、丁酸、丙二酸、戊酸、丙酸、酒石酸中的一種。
4.根據權利要求1所述的側蝕小的銅蝕刻液，其特征在于：所述鹽類為鹽酸鹽、硫酸鹽或乙酸鹽。