技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種具有大范圍可調(diào)矯頑力納米厚度稀土?過渡合金薄膜的制備方法，將稀土貼片與鐵鈷合金靶相貼合形成復(fù)合鑲嵌靶，采用磁控濺射復(fù)合鑲嵌靶或者三元合金靶的方法，通過簡單地控制濺射時(shí)間來改變生長薄膜的厚度，實(shí)現(xiàn)薄膜特性的連續(xù)變化，有效調(diào)節(jié)制備的稀土?過渡合金薄膜的磁特性，實(shí)現(xiàn)矯頑力的大范圍連續(xù)變化。該稀土?過渡合金薄膜的制備方法簡單，操作性強(qiáng)，重復(fù)性好、成本低廉，可在較大范圍內(nèi)調(diào)節(jié)薄膜的磁特性及矯頑力，滿足不同技術(shù)領(lǐng)域的材料需要。

技術(shù)研發(fā)人員：王可;董碩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華僑大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.12
技術(shù)公布日：2017.09.22