技術(shù)特征：

1.一種工件加工裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件加工裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件加工裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┕ぜ庸ぱb置，其能夠在考慮支撐部件的厚度偏差以及對工件的熱影響的情況下調(diào)整工件的厚度，從而改善生產(chǎn)率。工件加工裝置(1)包括第一測定機(jī)構(gòu)(31)和第二測定機(jī)構(gòu)(32)以作為測定機(jī)構(gòu)(4)，其中，第一測定機(jī)構(gòu)(31)用于在中磨削工作臺(tái)(ST3)上的加工結(jié)束后在搬送晶片(W)的同時(shí)測定厚度，第二測定機(jī)構(gòu)(32)用于在精磨削工作臺(tái)(ST4)上的加工結(jié)束后在搬送晶片(W)的同時(shí)測定厚度。基于第一測定機(jī)構(gòu)(31)的測定值對精磨削工作臺(tái)(ST4)上的卡盤臺(tái)(12)的傾斜角度(θ)進(jìn)行調(diào)整。將第二測定機(jī)構(gòu)(32)的測定值加入到精磨削工作臺(tái)(ST4)上的卡盤臺(tái)(12)的傾斜角度(θ)的調(diào)整中。

技術(shù)研發(fā)人員：赤堀創(chuàng),白鳥宰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社東京精密
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/28