本發(fā)明涉及電致變色器件制備，尤其涉及一種電致變色器件及其制作方法。

背景技術：

1、電致變色器件一般包括依次設置的基材層、第一透明導電層、第一電致變色層、離子導通層、第二電致變色層、第二透明導電層、保護層等。在外加電場的作用下，電致變色膜的第一電致變色層和第二電致變色層會發(fā)生穩(wěn)定可逆的顏色變化。

2、現(xiàn)有技術中，在電致變色器件的加工過程中，為了使第一透明導電層具有高的透光率和低的電阻，需要經(jīng)過高溫退火，或者在制備的過程中給基材提供300℃以上的溫度。而在第一電致變色層制備的過程中，往往也需要提供300℃左右的溫度以保證膜層的性能。這種加工方式使得第一透明導電層經(jīng)過兩次高溫，加之在第一電致變色層摻氧濺射的環(huán)境下，會導致第一透明導電層的電阻顯著增大，進而導致電致變色器件的電致變色效果變差。

3、因此，亟需提出一種電致變色器件及其制作方法，以解決上述技術問題。

技術實現(xiàn)思路

1、根據(jù)本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提供一種電致變色器件的制作方法，使用該方法制作出的電致變色器件的第一透明導電層的電阻較低，透過性較高，提高了該電致變色器件的變色效果。

2、為達上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案：

3、電致變色器件的制作方法，包括：

4、提供基材；

5、在所述基材上鍍制第一透明導電層，具體地，采用濺射鍍膜的方式進行所述第一透明導電層的濺射成型，控制氧氣與氬氣的比例含量為1:(50～500)，鍍膜溫度為室溫；

6、在所述第一透明導電層的上方鍍制第一電致變色層，具體地，采用濺射鍍膜的方式進行所述第一電致變色層的濺射成型，控制氧氣與氬氣的比例含量為(1～2):1，鍍膜溫度為200℃～400℃；

7、在所述第一電致變色層的上方鍍制離子導通層；

8、在所述離子導通層的上方鍍制第二電致變色層；

9、在所述第二電致變色層的上方鍍制第二透明導電層。

10、可選地，在進行所述第一透明導電層的濺射成型時，控制所述第一透明導電層的厚度為100mm-500mm。

11、可選地，在進行所述第一透明導電層的濺射成型時，控制濺射功率為5kw～10kw，控制濺射腔室內的氣壓為0.1pa～0.9pa，控制氧氣的設定流量為2sccm～6sccm。

12、可選地，在進行所述第一電致變色層的濺射成型時，控制濺射功率為20kw～40kw，控制濺射腔室內的壓力為2pa～4pa。

13、可選地，在步驟s100中，提供基材的具體步驟包括：將基材經(jīng)過超聲波清洗后烘干。

14、可選地，所述基材為透明玻璃。

15、可選地，所述第一透明導電層為ito層，所述第一電致變色層為wox層。

16、可選地，所述室溫為25℃。

17、電致變色器件，采用上述任一技術方案所述的電致變色器件的制作方法制作而成。

18、可選地，所述電致變色器件的第二透明導電層的上方設有保護層。

19、本發(fā)明的有益效果為：

20、本發(fā)明提供一種電致變色器件的制作方法。該方法在成型第一透明導電層時采用低摻氧未退火的濺射鍍膜方式，在第一透明導電層上鍍制第一電致變色層時采用加熱退火和摻氧的濺射鍍膜方式。如此設置，使得第一透明導電層的退火和摻氧能夠在第一電致變色層的成型過程中實現(xiàn)，避免了第一透明導電層被疊加加熱，以降低第一透明導電層的方阻，提高了第一透明導電層的透過性，進而提高了加工出的電致變色器件的變色效果。并且，該方法在提高第一透明導電層的性能的同時，無需增加工序，保證了電致變色器件的生產(chǎn)效率。

21、本發(fā)明還提供一種電致變色器件，采用上述的電致變色器件的制作方法制作而成。該電致變色器件的變色速度和變色效果較佳。

技術特征：

1.電致變色器件的制作方法，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的電致變色器件的制作方法，其特征在于，在進行所述第一透明導電層(200)的濺射成型時，控制所述第一透明導電層(200)的厚度為100mm-500mm。

3.根據(jù)權利要求1所述的電致變色器件的制作方法，其特征在于，在進行所述第一透明導電層(200)的濺射成型時，控制濺射功率為5kw～10kw，控制濺射腔室內的氣壓為0.1pa～0.9pa，控制氧氣的設定流量為2sccm～6sccm。

4.根據(jù)權利要求1所述的電致變色器件的制作方法，其特征在于，在進行所述第一電致變色層(300)的濺射成型時，控制濺射功率為20kw～40kw，控制濺射腔室內的壓力為2pa～4pa。

5.根據(jù)權利要求1所述的電致變色器件的制作方法，其特征在于，在步驟s100中，提供基材(100)的具體步驟包括：將基材(100)經(jīng)過超聲波清洗后烘干。

6.根據(jù)權利要求1所述的電致變色器件的制作方法，其特征在于，所述基材(100)為透明玻璃。

7.根據(jù)權利要求1所述的電致變色器件的制作方法，其特征在于，所述第一透明導電層(200)為ito層，所述第一電致變色層(300)為wox層。

8.根據(jù)權利要求1所述的電致變色器件的制作方法，其特征在于，所述室溫為25℃。

9.電致變色器件，其特征在于，采用權利要求1-8中任一項所述的電致變色器件的制作方法制作而成。

10.根據(jù)權利要求9所述的電致變色器件，其特征在于，所述電致變色器件的第二透明導電層(600)的上方設有保護層。

技術總結
本發(fā)明涉及電致變色器件制備技術領域，具體公開了一種電致變色器件及其制作方法。該電致變色器件的制作方法包括：提供基材；在基材上鍍制第一透明導電層，采用濺射鍍膜的方式進行第一透明導電層的濺射成型，控制濺射腔室內氧氣與氬氣的比例含量為1:(50～500)，鍍膜溫度為室溫；在第一透明導電層的上方鍍制第一電致變色層，采用濺射鍍膜的方式進行第一電致變色層的濺射成型，控制濺射腔室內氧氣與氬氣的比例含量為(1～2):1，鍍膜溫度為200℃～400℃；在第一電致變色層的上方鍍制離子導通層；在離子導電層的上方鍍制第二電致變色層；在第二電致變色層的上方鍍制第二透明導電層。使用該方法制作出的電致變色器件的第一透明導電層的電阻較低，提高了變色效果。

技術研發(fā)人員：姚力軍,姚舜,李松松,王予叢,沈棟棟
受保護的技術使用者：浙江景昇薄膜科技有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/4/28