本發(fā)明涉及真空蒸鍍機(jī)，較為具體的，涉及到一種真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置。

背景技術(shù)：

1、真空蒸鍍機(jī)是一種在較高真空環(huán)境中通過加熱來對(duì)材料進(jìn)行蒸發(fā)，使得蒸發(fā)后的材料來對(duì)晶圓基板表面進(jìn)行鍍膜的設(shè)備，鍍膜時(shí)基片需要達(dá)到一定溫度使得鍍膜效果好。

2、目前市場(chǎng)上的真空鍍膜機(jī)在使用時(shí)還是存在一些問題，比如現(xiàn)有技術(shù)cn118374774a公開了一種材料均勻散發(fā)的真空鍍膜機(jī)，鍍膜腔體的左右兩側(cè)面內(nèi)壁的防著板上安裝有加熱燈，加熱燈的位置可上下調(diào)節(jié)，但此方案中加熱燈的加熱范圍容易不均勻，且鍍膜過程中需要進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)以檢測(cè)基板的透光率，使用加熱燈會(huì)造成光污染，對(duì)透光率產(chǎn)生影響。

3、因此，需要一種加熱燈的替換裝置，加熱均勻的同時(shí)不會(huì)產(chǎn)生光污染。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，為了解決現(xiàn)有技術(shù)中加熱燈的加熱范圍容易不均勻，且鍍膜過程中需要進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)以檢測(cè)基板的透光率，使用加熱燈會(huì)造成光污染，對(duì)透光率產(chǎn)生影響的問題，本發(fā)明提出一種真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，通過加熱絲產(chǎn)生熱輻射加熱避免了光污染，同時(shí)均勻密布加熱絲使得加熱更均勻，且不影響上部光學(xué)檢測(cè)檢測(cè)基板透光率。

2、一種真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，包括腔體，所述腔體由頂板11、圍板12、底板13圍設(shè)而成，所述圍板12內(nèi)側(cè)設(shè)有側(cè)壁防著板3，所述側(cè)壁防著板3圍繞腔體上部一圈設(shè)置，所述頂板11下方設(shè)有第一防著板2，所述第一防著板2的外邊緣與側(cè)壁防著板3的頂部連接，其特征在于：所述第一防著板2與側(cè)壁防著板3上設(shè)有加熱裝置，所述加熱裝置包括多根第一加熱絲22和多根第二加熱絲31，所述第一加熱絲22均勻密布于第一防著板2的底面，所述第二加熱絲31均勻密布于側(cè)壁防著板3的內(nèi)壁，每根所述第一加熱絲22、第二加熱絲31均為一端為正極、另一端為負(fù)極的連續(xù)的首尾相接的s型，同一根加熱絲的正負(fù)極連接一組接線端子5的正負(fù)極，所述第一防著板2頂部設(shè)有多組接線端子5，將第一加熱絲22、第二加熱絲31加熱到一定溫度產(chǎn)生熱輻射從而對(duì)基片進(jìn)行加熱，避免光污染的同時(shí)使得加熱更均勻，且不影響基板透光率的檢測(cè)。

3、進(jìn)一步的，所述第一防著板2與側(cè)壁防著板3為一體成型結(jié)構(gòu)。

4、進(jìn)一步的，所述多根第一加熱絲22均勻等分為以第一防著板2的圓心為中心的多個(gè)扇形排列，每根第一加熱絲22的s型為等分的扇形，第一防著板2上靠近每根第一加熱絲22正極處設(shè)有第一接線孔23，靠近每根第一加熱絲22負(fù)極處設(shè)有第二接線孔24，所述第一加熱絲22的正極和負(fù)極穿過第一接線孔23、第二接線孔24連接相應(yīng)的接線端子5。

5、在一些實(shí)施例中，所述多根第一加熱絲22整體呈s型排列，除第一根和最后一根第一加熱絲22外，每根第一加熱絲22的起始端與相鄰的第一加熱絲22的結(jié)束端靠近但不相接，靠近每根第一加熱絲22的正極處設(shè)有第一接線孔23，靠近每根第一加熱絲22負(fù)極處設(shè)有第二接線孔24，所述第一加熱絲22的正極和負(fù)極穿過第一接線孔23、第二接線孔24連接相應(yīng)的接線端子5。

6、進(jìn)一步的，所述多根第二加熱絲31的s型整體呈上下等寬的矩形，側(cè)壁防著板3的靠近第二加熱絲31正極處設(shè)有第三接線孔32，側(cè)壁防著板3的靠近第二加熱絲31負(fù)極處設(shè)有第四接線孔33，所述第二加熱絲31的正極和負(fù)極穿過第三接線孔32、第四接線孔33連接相應(yīng)的接線端子5。

7、進(jìn)一步的，所述上下相鄰的兩行第二加熱絲31上間隔均勻設(shè)有多個(gè)加熱絲固定片34，所述加熱絲固定片34通過螺絲連接于側(cè)壁防著板3上。

8、進(jìn)一步的，兩到三根第二加熱絲31為一個(gè)加熱區(qū)域，側(cè)壁防著板3上設(shè)有至少三個(gè)加熱區(qū)域圍合成一個(gè)圓形加熱區(qū)，所述圓形加熱區(qū)的縱向覆蓋范圍由鍍鍋的頂部至底部將鍍鍋完全覆蓋，使得充分利用空間將加熱效率最大化。

9、進(jìn)一步的，所述第一防著板2的邊緣設(shè)有向上的折邊21，用于增加第一防著板2的剛性。

10、進(jìn)一步的，所述第一防著板2的上方設(shè)有第二防著板4，用于防止蒸鍍過程中的膜料反向沉降而污染材料。

11、進(jìn)一步的，所述頂板11、第二防著板4上設(shè)有至少三組上下對(duì)應(yīng)的通孔，用于使得接線端子5穿過，較為優(yōu)選的，每個(gè)加熱區(qū)域?qū)?yīng)一組通孔，使得加熱均勻。

12、進(jìn)一步的，頂板11上的每個(gè)通孔處連接一個(gè)法蘭6，所述法蘭6上方圍設(shè)有一圈壓塊61，每個(gè)壓塊61連接一根加熱絲的正極或負(fù)極，所述法蘭6中部設(shè)有環(huán)形水道，法蘭6的中部上方設(shè)有第一冷卻管7，通過第一冷卻管7通冷卻水給接線端子5降溫。

13、進(jìn)一步的，所述頂板11外部設(shè)有第二冷卻管8，所述圍板12外部設(shè)有第三冷卻管9，用于使得腔體溫度過高時(shí)能夠快速給腔體降溫。

14、進(jìn)一步的，第一加熱絲22的面積相對(duì)第二加熱絲31的面積減小，密集程度增強(qiáng)，從而使得加熱效率增強(qiáng)，用于彌補(bǔ)腔體頂部因水冷造成的較大溫差。

15、進(jìn)一步的，所述第一防著板2、第二防著板4的中部設(shè)有避讓開口10，用于避讓上部光學(xué)檢測(cè)檢測(cè)結(jié)構(gòu)。

16、本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明提出一種真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，包括腔體，所述腔體由頂板11、圍板12、底板13圍設(shè)而成，所述圍板12內(nèi)側(cè)設(shè)有側(cè)壁防著板3，所述側(cè)壁防著板3圍繞腔體上部一圈設(shè)置，所述頂板11下方設(shè)有第一防著板2，所述第一防著板2的外邊緣與側(cè)壁防著板3的頂部連接，所述第一防著板2與側(cè)壁防著板3上設(shè)有加熱裝置，所述加熱裝置包括多根第一加熱絲22和多根第二加熱絲31，所述第一加熱絲22均勻密布于第一防著板2的底面，所述第二加熱絲31均勻密布于側(cè)壁防著板3的內(nèi)壁，每根所述第一加熱絲22、第二加熱絲31均為一端為正極、另一端為負(fù)極的連續(xù)的首尾相接的s型，同一根加熱絲的正負(fù)極連接一組接線端子5的正負(fù)極，所述第一防著板2頂部設(shè)有多組接線端子5，將第一加熱絲22、第二加熱絲31加熱到一定溫度產(chǎn)生熱輻射從而對(duì)基片進(jìn)行加熱，避免光污染的同時(shí)使得加熱更均勻，且不影響基板透光率的檢測(cè)。

技術(shù)特征：

1.一種真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，包括腔體，所述腔體由頂板（11）、圍板（12）、底板（13）圍設(shè)而成，所述圍板（12）內(nèi)側(cè)設(shè)有側(cè)壁防著板（3），所述側(cè)壁防著板（3）圍繞腔體上部一圈設(shè)置，所述頂板（11）下方設(shè)有第一防著板（2），所述第一防著板（2）的外邊緣與側(cè)壁防著板（3）的頂部連接，其特征在于：所述第一防著板（2）與側(cè)壁防著板（3）上設(shè)有加熱裝置，所述加熱裝置包括多根第一加熱絲（22）和多根第二加熱絲（31），所述第一加熱絲（22）均勻密布于第一防著板（2）的底面，所述第二加熱絲（31）均勻密布于側(cè)壁防著板（3）的內(nèi)壁，每根所述第一加熱絲（22）、第二加熱絲（31）均為一端為正極、另一端為負(fù)極的連續(xù)的首尾相接的s型，同一根加熱絲的正負(fù)極連接一組接線端子（5）的正負(fù)極，所述第一防著板（2）頂部設(shè)有多組接線端子（5），將第一加熱絲（22）、第二加熱絲（31）加熱到一定溫度產(chǎn)生熱輻射從而對(duì)基片進(jìn)行加熱，避免光污染的同時(shí)使得加熱更均勻，且不影響基板透光率的檢測(cè)。

2.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：所述多根第一加熱絲（22）均勻等分為以第一防著板（2）的圓心為中心的多個(gè)扇形排列，每根第一加熱絲（22）的s型為等分的扇形，第一加熱絲（22）的面積相對(duì)第二加熱絲（31）的面積減小，密集程度增強(qiáng)，用于彌補(bǔ)腔體頂部部較大溫差，第一防著板（2）上靠近每根第一加熱絲（22）正極處設(shè)有第一接線孔（23），靠近每根第一加熱絲（22）負(fù)極處設(shè)有第二接線孔（24），所述第一加熱絲（22）的正極和負(fù)極穿過第一接線孔（23）、第二接線孔（24）連接相應(yīng)的接線端子（5）。

3.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：所述多根第一加熱絲（22）整體呈s型排列，除第一根和最后一根第一加熱絲（22）外，每根第一加熱絲（22）的起始端與相鄰的第一加熱絲（22）的結(jié)束端靠近但不相接，靠近每根第一加熱絲（22）的正極處設(shè)有第一接線孔（23），靠近每根第一加熱絲（22）負(fù)極處設(shè)有第二接線孔（24），所述第一加熱絲（22）的正極和負(fù)極穿過第一接線孔（23）、第二接線孔（24）連接相應(yīng)的接線端子（5）。

4.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：所述多根第二加熱絲（31）的s型整體呈上下等寬的矩形，側(cè)壁防著板（3）的靠近第二加熱絲（31）正極處設(shè)有第三接線孔（32），側(cè)壁防著板（3）的靠近第二加熱絲（31）負(fù)極處設(shè)有第四接線孔（33），所述第二加熱絲（31）的正極和負(fù)極穿過第三接線孔（32）、第四接線孔（33）連接相應(yīng)的接線端子（5）。

5.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：上下相鄰的兩行第二加熱絲（31）上間隔均勻設(shè)有多個(gè)加熱絲固定片（34），所述加熱絲固定片（34）通過螺絲連接于側(cè)壁防著板（3）上。

6.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：所述第一防著板（2）的邊緣設(shè)有向上的折邊（21）。

7.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：所述第一防著板（2）的上方設(shè)有第二防著板（4）。

8.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：頂板（11）上的每個(gè)通孔處連接一個(gè)法蘭（6），所述法蘭（6）上方圍設(shè)有一圈壓塊（61），每個(gè)壓塊（61）連接一根加熱絲的正極或負(fù)極，所述法蘭（6）中部設(shè)有環(huán)形水道，法蘭（6）的中部上方設(shè)有第一冷卻管（7），通過第一冷卻管（7）通冷卻水給接線端子（5）降溫。

9.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：所述頂板（11）外部設(shè)有第二冷卻管（8），所述圍板（12）外部設(shè)有第三冷卻管（9），用于使得腔體溫度過高時(shí)能夠快速給腔體降溫。

10.如權(quán)利要求1?所述的真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，其特征在于：第一加熱絲（22）的面積相對(duì)第二加熱絲（31）的面積減小，密集程度增強(qiáng)，從而使得加熱效率增強(qiáng)，用于彌補(bǔ)腔體頂部因水冷造成的較大溫差。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出一種真空蒸鍍機(jī)的加熱裝置，包括腔體，腔體由頂板、圍板、底板圍設(shè)而成，圍板內(nèi)側(cè)設(shè)有側(cè)壁防著板，側(cè)壁防著板圍繞腔體上部一圈設(shè)置，頂板下方設(shè)有第一防著板，第一防著板的外邊緣與側(cè)壁防著板的頂部連接，第一防著板與側(cè)壁防著板上設(shè)有加熱裝置，加熱裝置包括多根第一加熱絲和多根第二加熱絲，第一加熱絲均勻密布于第一防著板的底面，第二加熱絲均勻密布于側(cè)壁防著板的內(nèi)壁，同一根加熱絲的正負(fù)極連接一組接線端子的正負(fù)極，第一防著板頂部設(shè)有多組接線端子，將第一加熱絲、第二加熱絲加熱到一定溫度產(chǎn)生熱輻射從而對(duì)基片進(jìn)行加熱，避免光污染的同時(shí)使得加熱更均勻，且不影響基板透光率的檢測(cè)。

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技術(shù)公布日：2025/4/28