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一種蒸發法孕育碳化硅晶體生長裝置的制作方法

文檔序號:11836581閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種蒸發法孕育碳化硅晶體生長裝置,包括反應釜本體、轉軸、碳化硅晶體盛放盒、換熱器,其特征在于,所述反應釜本體的頂部設置有開口,并在開口上安裝有液封蓋,所述的轉軸貫穿過液封蓋設置于反應釜本體內部,并在轉軸前端設置有若干攪拌槳,在攪拌槳的底部再安裝有碳化硅晶體盛放盒,所述換熱器設置在反應釜本體的側邊,在反應釜本體底部設置有加熱管,所述的反應釜本體內設置有溫度感應裝置。

2.如權利要求1所述的蒸發法孕育碳化硅晶體生長裝置,其特征在于,所述反應釜本體的側壁設置若干限位槽孔。

3.如權利要求1所述的蒸發法孕育碳化硅晶體生長裝置,其特征在于,所述的反應釜本體上安裝有控制開關。

4.如權利要求1所述的蒸發法孕育碳化硅晶體生長裝置,其特征在于,所述的攪拌槳與碳化硅晶體盛放盒可拆卸連接。

5.如權利要求2所述的蒸發法孕育碳化硅晶體生長裝置,其特征在于,所述的反應釜本體與限位槽孔相互焊接。

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