技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種蒸發(fā)法孕育碳化硅晶體生長(zhǎng)裝置，包括反應(yīng)釜本體、轉(zhuǎn)軸、碳化硅晶體盛放盒、換熱器，所述反應(yīng)釜本體的頂部設(shè)置有開口，并在開口上安裝有液封蓋，所述的轉(zhuǎn)軸貫穿過液封蓋設(shè)置于反應(yīng)釜本體內(nèi)部，并在轉(zhuǎn)軸前端設(shè)置有若干攪拌槳，在攪拌槳的底部再安裝有碳化硅晶體盛放盒，所述換熱器設(shè)置在反應(yīng)釜本體的側(cè)邊，在反應(yīng)釜本體底部設(shè)置有加熱管，所述的反應(yīng)釜本體內(nèi)設(shè)置有溫度感應(yīng)裝置。通過裝置上設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)攪拌槳轉(zhuǎn)動(dòng)，使得防止在反應(yīng)釜本體內(nèi)的水溶液能充分流動(dòng)，同時(shí)使得放置在碳化硅晶體盛放盒內(nèi)的碳化硅晶體籽料能與水溶液充分接觸，且受熱均勻，整個(gè)裝置操作便捷，使用方便，可被進(jìn)一步推廣應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：張新峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：張新峰
文檔號(hào)碼：201620586809
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.15
技術(shù)公布日：2016.11.30