技術特征：

技術總結
本發明涉及一種帶光學原位檢測的石墨烯減薄裝置，該裝置設有減薄光路單元、激發光路單元、原位檢測光路單元、工作臺以及計算機等。減薄光路單元發出的第一激光束用于石墨烯的減薄，激發光路單元發出的第二激光束用于激發被加工區域的石墨烯產生拉曼散射。原位檢測光路單元收集石墨烯產生的拉曼散射信號，并根據拉曼散射信號2D峰與G峰強度的比值及拉曼峰位置的偏移大小得到被加工區域石墨烯的層數與溫度信息。本發明裝置可同時對局部不均勻的石墨烯樣品進行局部厚度測量與減薄，裝置根據實際測得的被加工區域的石墨烯層數，調節激光功率與減薄時間，精確控制石墨烯的減薄層數，從而得到層數均勻、可控的石墨烯薄膜。

技術研發人員：張陳濤;張建寰;林坤;李姍文;黃元慶
受保護的技術使用者：廈門大學
技術研發日：2017.05.23
技術公布日：2017.09.01