本申請屬于真空裝置，具體涉及一種真空裝置。

背景技術：

1、在產品制程中，通常采用真空裝置將產品定位到載具上，或解除產品與載具之間的吸附，具體通過電磁閥控制切換以進行吸真空與破真空，由真空裝置上的真空吸頭對載具的氣孔閥門進行抽/破真空動作，來實現載具上的產品的吸附固定與破真空松動。

2、然而，當載具靠近真空裝置時，由于真空吸頭接觸到載具上的氣孔閥門時是剛性碰撞，導致真空吸頭出現過推，從而使載具的基準位置發生變化，此時以載具為基準的產品，會在精度檢測時受到載具基準位置發生變化的影響，進而導致產品的定位精度檢測異常，相應地也會對盛放產品的工裝小車的精度產生影響。

技術實現思路

1、本申請實施例的目的是提供一種真空裝置，能夠解決目前真空裝置的真空吸頭接觸到載具上的氣孔閥門時是剛性碰撞而導致過推的問題。

2、為了解決上述技術問題，本申請是這樣實現的：

3、本申請實施例提供了一種真空裝置，包括裝置主體和設置在所述裝置主體上的真空吸頭組件和驅動機構，

4、其中，所述真空吸頭組件包括相連的緩沖機構和真空吸頭，所述真空吸頭用于與載具的氣孔閥門對接，所述緩沖機構用于在所述真空吸頭對接所述氣孔閥門時產生可恢復的形變；

5、所述驅動機構與所述緩沖機構相連，所述驅動機構通過所述緩沖機構可驅動所述真空吸頭靠近所述載具或遠離所述載具。

6、在本申請實施例中，驅動機構通過緩沖機構可驅動真空吸頭靠近載具或遠離載具，當真空吸頭靠近載具，因真空吸頭與氣孔閥門是剛性碰撞而出現過推趨勢時，真空吸頭受到載具的反作用力，以使緩沖機構產生可恢復的形變，從而避免真空吸頭出現過推現象，相應地可以避免載具的基準位置發生變化，進而確保產品的定位精度。因此，本申請實施例能夠解決目前真空裝置的真空吸頭接觸到載具上的氣孔閥門時是剛性碰撞而導致過推的問題。

技術特征：

1.一種真空裝置，其特征在于，包括裝置主體(100)和設置在所述裝置主體(100)上的真空吸頭組件(200)和驅動機構(300)，

2.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，所述緩沖機構包括第一支架(210)、第二支架(220)和形變件(230)，所述第一支架(210)與所述第二支架(220)滑動連接，所述真空吸頭(240)設置于所述第二支架(220)，所述形變件(230)的第一端與所述第一支架(210)相連，所述形變件(230)的第二端與所述第二支架(220)相連，所述形變件(230)用于在所述真空吸頭(240)對接所述氣孔閥門時產生可恢復的形變。

3.根據權利要求2所述的真空裝置，其特征在于，所述形變件(230)為彈性形變件，所述緩沖機構還包括安裝板(250)，所述安裝板(250)設置于所述第一支架(210)，所述形變件(230)連接于所述安裝板(250)與所述第二支架(220)之間。

4.根據權利要求3所述的真空裝置，其特征在于，所述第一支架(210)包括第一連接板(211)和滑軌(212)，所述滑軌(212)和所述安裝板(250)均設置于所述第一連接板(211)朝向所述第二支架(220)的一面，所述第二支架(220)包括第二連接板(221)和滑塊(222)，所述真空吸頭(240)設置于所述第二連接板(221)遠離所述安裝板(250)的一端，所述滑塊(222)設置于所述第二連接板(221)朝向所述第一支架(210)的一面，所述滑塊(222)與所述滑軌(212)滑動配合。

5.根據權利要求4所述的真空裝置，其特征在于，所述安裝板(250)設有避讓凹槽(251)，所述滑軌(212)的第一端的至少部分可位于所述避讓凹槽(251)內，所述形變件(230)位于所述滑軌(212)的下方。

6.根據權利要求4所述的真空裝置，其特征在于，所述真空吸頭組件(200)還包括限位板(260)，所述限位板(260)的第一端與所述第一連接板(211)遠離所述安裝板(250)的一端相連，所述限位板(260)可與所述滑塊(222)限位配合。

7.根據權利要求6所述的真空裝置，其特征在于，所述第二連接板(221)包括相連的第一板段(221a)和第二板段(221b)，所述第二板段(221b)相對于所述第一板段(221a)彎折，所述滑塊(222)設置于所述第一板段(221a)上，所述真空吸頭(240)設置于所述第二板段(221b)上，所述第一板段(221a)與所述第二板段(221b)的連接處設有限位槽(221c)，所述限位板(260)的第二端可延伸至所述限位槽(221c)內，所述限位板(260)的第二端可與所述限位槽(221c)的槽壁限位配合。

8.根據權利要求4所述的真空裝置，其特征在于，所述第一連接板(211)設有第一安裝槽(211a)，所述滑軌(212)的部分位于所述第一安裝槽(211a)內；和/或，

9.根據權利要求3所述的真空裝置，其特征在于，所述安裝板(250)朝向所述形變件(230)的一面設有容納槽(252)，所述形變件(230)的第一端與所述容納槽(252)的槽底相連，所述形變件(230)的至少部分可位于所述容納槽(252)內。

10.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，所述緩沖機構和所述驅動機構(300)均設置于所述裝置主體(100)的容納空間內，所述緩沖機構位于所述驅動機構(300)的下方，所述驅動機構(300)包括驅動件(310)和安裝架(320)，所述驅動件(310)設置于所述容納空間的頂壁，所述驅動件(310)與所述安裝架(320)滑動連接，所述驅動件(310)的輸出軸(311)和所述緩沖機構均與所述安裝架(320)相連，所述驅動件(310)可驅動所述安裝架(320)相對于所述容納空間的內壁滑動，以使所述安裝架(320)帶動所述緩沖機構的至少部分伸出所述容納空間或縮回所述容納空間。

技術總結
本申請公開一種真空裝置，涉及真空裝置技術領域。該真空裝置包括裝置主體和設置在所述裝置主體上的真空吸頭組件和驅動機構，其中，所述真空吸頭組件包括相連的緩沖機構和真空吸頭，所述真空吸頭用于與載具的氣孔閥門對接，所述緩沖機構用于在所述真空吸頭對接所述氣孔閥門時產生可恢復的形變；所述驅動機構與所述緩沖機構相連，所述驅動機構通過所述緩沖機構可驅動所述真空吸頭靠近所述載具或遠離所述載具。該方案能夠解決目前真空裝置的真空吸頭接觸到載具上的氣孔閥門時是剛性碰撞而導致過推的問題。

技術研發人員：凌偉,潘鑫根,林春余
受保護的技術使用者：欣旺達電子股份有限公司
技術研發日：20240702
技術公布日：2025/4/28