本申請涉及半導體清潔裝置，具體而言，涉及一種懸浮式吹氣槍裝置。

背景技術：

1、在半導體生產領域，微粒(particle)對產品質量的影響至關重要。半導體器件的精密程度極高，任何微小的微粒都可能導致器件性能下降甚至失效。因此，半導體生產環境對微粒的控制極為嚴格，以確保產品質量和可靠性。

2、然而，盡管采取了嚴格的管控措施，生產環境中的人員活動、設備運轉等仍不可避免地會產生灰塵等微粒。這些微粒一旦附著在半導體產品表面，就可能對產品性能造成嚴重影響。由于半導體產品的高精密性，傳統的接觸式清潔方法(如擦拭)可能會損傷產品，因此不適用于半導體產品的清潔。

3、目前，半導體行業普遍采用氮氣槍來去除產品表面的微粒。氮氣槍通過噴射潔凈的氮氣，利用氣體的沖擊力將微粒從產品表面吹走，實現非接觸式的清潔。這種方法既保護了產品的完整性，又避免了接觸式清潔可能帶來的損傷。

4、然而，現有的氮氣槍產品在實際應用中存在一些問題。首先，氮氣槍的金屬掛鉤固定方式易磨損并產生灰塵，長期使用后會影響清潔效果。其次，一旦槍體磨損發塵，就需要更換整只氮氣槍，這不僅增加了生產成本，也增加了維護的復雜性。此外，氮氣槍使用完畢，放回掛鉤固定時，氮氣槍不易對位，存在掉落的風險，也增加了產生灰塵等微粒的可能性。

技術實現思路

1、本申請實施例的目的在于提供一種懸浮式吹氣槍裝置，其能夠通過磁懸浮的方式使吹氣槍懸浮收納在預定位置，借助磁吸作用力的引導，可以更準確和輕松的將吹氣槍放置到正確位置，并且磁懸浮方式使槍身與其它結構不接觸，杜絕吹氣槍與其它結構產生相互不必要的摩擦，減少摩擦產生的灰塵等微粒，有助于保持作業環境的清潔，降低二次污染可能性。

2、本申請提供的一種懸浮式吹氣槍裝置，包括框架、第一磁性件和吹氣槍。第一磁性件以水平狀態安裝在框架上。吹氣槍包括槍身和第二磁性件，第二磁性件安裝在槍身上。其中，吹氣槍收納時，吹氣槍處于第一磁性件下方，且第二磁性件面向第一磁性件，第二磁性件與第一磁性件的同極性相對，產生同性相吸作用力，同性相吸作用力與吹氣槍重力平衡，使吹氣槍的槍身懸浮在第一磁性件下方預定位置處。

3、在一種可實施的方案中，懸浮式吹氣槍裝置還包括位置傳感器，位置傳感器安裝在框架上；其中，在吹氣槍的槍身進入第一磁性件下方預定位置處時，槍身進入位置傳感器的感應范圍。

4、在一種可實施的方案中，懸浮式吹氣槍裝置還包括警示裝置，警示裝置與位置傳感器信號連接；在吹氣槍的槍身進入位置傳感器的感應范圍時，警示裝置發出第一警示信號；在吹氣槍的槍身未進入位置傳感器的感應范圍時，警示裝置發出第二警示信號。

5、在一種可實施的方案中，警示裝置包括第一信號燈和第二信號燈；在吹氣槍的槍身進入位置傳感器的感應范圍時，第一信號燈亮；在吹氣槍的槍身未進入位置傳感器的感應范圍時，第二信號燈亮。

6、在一種可實施的方案中，懸浮式吹氣槍裝置還包括形狀完全相同的第一側邊磁性件和第二側邊磁性件；吹氣槍還包括形狀完全相同的第一對接磁性件和第二對接磁性件，第一對接磁性件和第二對接磁性件也與第一側邊磁性件和第二側邊磁性件形狀完全相同；

7、第一對接磁性件和第二對接磁性件以對稱方式安裝在吹氣槍的槍身兩側；第一側邊磁性件和第二側邊磁性件以相面對的方式安裝在框架上；

8、在吹氣槍懸浮在第一磁性件下方時，槍身處于第一側邊磁性件與第二側邊磁性件之間，且第一對接磁性件與第一側邊磁性件異極相對并互相排斥，第二對接磁性件與第二側邊磁性件異極相對并互相排斥；

9、其中，第一對接磁性件與第一側邊磁性件的排斥力與第二對接磁性件與第二側邊磁性件的排斥力平衡。

10、在一種可實施的方案中，框架包括頂面板、底面板和側壁板；頂面板將框架頂部封閉，底面板將框架底部封閉；側壁板將框架的部分側面封閉，并保留一用于取放吹氣槍的側面敞口。

11、在一種可實施的方案中，側壁板為透明板。

12、在一種可實施的方案中，底面板上設置有安裝孔，且在安裝孔中密封安裝一管接頭；吹氣槍包括螺旋伸縮管，螺旋伸縮管一端與槍身上的進氣口連接，螺旋伸縮管的另一端與管接頭位于底面板上側的開口連接，管接頭位于底面板下側的開口用于連接供氣裝置。

13、在一種可實施的方案中，框架包括彈性片，彈性片覆蓋住側面敞口；彈性片中間開設一條沿豎直方向延伸的長條縫隙。

14、在一種可實施的方案中，吹氣槍吹出的氣體介質為潔凈氮氣。

15、與現有技術相比，本申請的有益效果至少包括：

16、本申請懸浮式吹氣槍裝置，當將吹氣槍收納時，工作人員只需將吹氣槍的第二磁性件向第一磁性件的方向靠近到一定距離以內，則便可以在第二磁性件與第一磁性件的同性相吸作用力下，自動完成磁吸引導，最終第二磁性件和第一磁性件的同性相吸作用力與吹氣槍重力平衡，使吹氣槍懸浮在第一磁性件的下方。因此，即使單手握持吹氣槍，也能借助第二磁性件與第一磁性件的同性相吸作用力順利完成引導并實現懸浮收納，簡化操作，有助于工作人員將注意力集中在另一只手中，以防止另一只手中的產品等物品跌落損壞。

17、同時，因為吹氣槍被懸浮收納在既定位置，槍身與其它結構不接觸，杜絕吹氣槍與其它結構產生相互不必要的摩擦，減少摩擦產生的灰塵等微粒，有助于保持作業環境的清潔，降低二次污染可能性。

技術特征：

1.一種懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述懸浮式吹氣槍裝置還包括位置傳感器(4)，所述位置傳感器(4)安裝在所述框架(1)上；其中，在所述吹氣槍(3)的所述槍身(31)進入所述第一磁性件(2)下方預定位置處時，所述槍身(31)進入所述位置傳感器(4)的感應范圍。

3.根據權利要求2所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述懸浮式吹氣槍裝置還包括警示裝置，所述警示裝置與所述位置傳感器(4)信號連接；

4.根據權利要求3所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述警示裝置包括第一信號燈(51)和第二信號燈(52)；

5.根據權利要求1-4中任一項所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述懸浮式吹氣槍裝置還包括形狀完全相同的第一側邊磁性件(61)和第二側邊磁性件(62)；

6.根據權利要求1-4中任一項所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述框架(1)包括頂面板(11)、底面板(12)和側壁板(13)；

7.根據權利要求6所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述側壁板(13)為透明板。

8.根據權利要求6所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述底面板(12)上設置有安裝孔，且在所述安裝孔中密封安裝一管接頭(7)；

9.根據權利要求6所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述框架(1)包括彈性片(15)，所述彈性片(15)覆蓋住所述側面敞口(14)；

10.根據權利要求1所述的懸浮式吹氣槍裝置，其特征在于，所述吹氣槍(3)吹出的氣體介質為潔凈氮氣。

技術總結
本申請提供一種懸浮式吹氣槍裝置，包括框架、第一磁性件和吹氣槍。第一磁性件以水平狀態安裝在框架上。吹氣槍包括槍身和第二磁性件，第二磁性件安裝在槍身上。吹氣槍收納時，吹氣槍處于第一磁性件下方，第二磁性件面向第一磁性件，第二磁性件與第一磁性件的同極性相對，產生同性相吸作用力，同性相吸作用力與吹氣槍重力平衡，使槍身懸浮在第一磁性件下方預定位置處。本申請的懸浮式吹氣槍裝置，能夠通過磁懸浮的方式使吹氣槍懸浮收納在預定位置，借助磁吸作用力引導，更準確和輕松的將吹氣槍放置到正確位置，磁懸浮方式使槍身與其它結構不接觸，杜絕產生相互不必要的摩擦，減少灰塵等微粒的產生，有助于保持清潔，降低二次污染可能性。

技術研發人員：王奕森,葉純秀,李鑫士,趙瑞陽
受保護的技術使用者：青島方益技術有限公司
技術研發日：20240627
技術公布日：2025/4/28