本技術(shù)涉及設(shè)備，尤其涉及一種芯料的合成設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體芯片制造行業(yè)芯料的合成是影響最終產(chǎn)品性能的關(guān)鍵步驟；目前，行業(yè)內(nèi)普遍采用的是基于化學(xué)氣相沉積（cvd）、物理氣相沉積（pvd）等方法的批量式或連續(xù)流式的合成工藝。

2、盡管這些方法已被廣泛使用，但它們存在以下主要缺點(diǎn)，批量式合成方法受限于反應(yīng)器的尺寸和反應(yīng)條件，導(dǎo)致反應(yīng)時(shí)間延長(zhǎng)，生產(chǎn)效率不高，續(xù)流式雖有所改善，但對(duì)于快速高效的合成仍有局限性；溫度、壓力、氣體流量等參數(shù)控制的不精準(zhǔn)會(huì)導(dǎo)致合成材料質(zhì)量波動(dòng)，影響產(chǎn)品的一致性和可靠性；傳統(tǒng)合成過程中的能源利用效率并不理想，尤其是在高溫條件下，大量熱能未被有效利用，造成能源浪費(fèi)；針對(duì)不同的合成需求，現(xiàn)有設(shè)備往往需要經(jīng)過復(fù)雜的調(diào)整或更換特定部件才能適應(yīng)，這增加了生產(chǎn)成本并降低了生產(chǎn)的靈活性；化學(xué)反應(yīng)過程潛在的危險(xiǎn)未能得到充分解決，如高溫高壓下的操作風(fēng)險(xiǎn)等，存在安全隱患，因此，本實(shí)用新型提出一種芯料的合成設(shè)備以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型的目的在于提出一種芯料的合成設(shè)備，該芯料的合成設(shè)備通過利用微流控技術(shù)作為反應(yīng)控制技術(shù)，可以有效的提高物料混合的均勻性及提高了熱傳導(dǎo)效率，提升了合成效率和產(chǎn)品質(zhì)量，通過設(shè)置換熱結(jié)構(gòu)可以有效地回收合成過程中產(chǎn)生的廢熱，并重新利用，通過注料機(jī)構(gòu)的多組式獨(dú)立控制配合各結(jié)構(gòu)之間的可拆式模塊化提升了生產(chǎn)的靈活性和適應(yīng)性，以適應(yīng)不同類型芯料的合成需求。

2、為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：一種芯料的合成設(shè)備，包括反應(yīng)箱、觸屏主控器、換熱鋁板、插架機(jī)構(gòu)、微流控芯片、換熱盤管、換熱儲(chǔ)能水箱、溫度傳感器、壓力傳感器和智控注料機(jī)構(gòu)，所述反應(yīng)箱前側(cè)設(shè)置有觸屏主控器，所述反應(yīng)箱中固定設(shè)置有換熱鋁板，所述換熱鋁板上通過插架機(jī)構(gòu)設(shè)置有微流控芯片，微流控芯片下側(cè)面與換熱鋁板貼合接觸，所述換熱鋁板下方嵌設(shè)有換熱盤管，所述反應(yīng)箱后側(cè)設(shè)置有換熱儲(chǔ)能水箱，所述反應(yīng)箱內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器和壓力傳感器，對(duì)反應(yīng)箱內(nèi)的溫度和壓力進(jìn)行監(jiān)測(cè)，所述反應(yīng)箱上方設(shè)置有智控注料機(jī)構(gòu)。

3、進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述反應(yīng)箱一側(cè)壁上設(shè)有調(diào)壓泵與反應(yīng)箱內(nèi)部連通，所述反應(yīng)箱另一側(cè)壁上設(shè)置有泄壓閥口，用于泄壓處理，所述換熱盤管與換熱儲(chǔ)能水箱泵吸管道連接。

4、進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述插架機(jī)構(gòu)包括密封插接口、插接框架、夾持彈簧、定位夾板和滾輪，所述反應(yīng)箱前側(cè)開設(shè)有密封插接口，所述密封插接口內(nèi)插入換熱鋁板上方設(shè)置有插接框架，所述插接框架內(nèi)兩側(cè)對(duì)稱通過夾持彈簧設(shè)置有定位夾板，夾持彈簧對(duì)稱固定在定位夾板外側(cè)面與插接框架內(nèi)側(cè)邊之間，所述插接框架兩側(cè)下方嵌設(shè)有滾輪。

5、進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述插接框架內(nèi)前后側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)向滑槽，所述定位夾板兩端固定設(shè)置有滑動(dòng)插板，所述滑動(dòng)插板與導(dǎo)向滑槽滑動(dòng)導(dǎo)向適配，所述插接框架前側(cè)面與密封插接口之間設(shè)置有密封面板。

6、進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述智控注料機(jī)構(gòu)包括上框架、微流控壓力泵、料桶機(jī)構(gòu)、快拆頭、注料頭管和計(jì)量閥，所述反應(yīng)箱上方對(duì)稱固定設(shè)置有上框架，所述上框架內(nèi)下方安裝有微流控壓力泵，所述上框架之間的反應(yīng)箱上設(shè)置有料桶機(jī)構(gòu)，所述微流控壓力泵輸入口設(shè)置有快拆頭，所述反應(yīng)箱上對(duì)稱貫通固定設(shè)置有注料頭管，所述注料頭管位于微流控芯片上方注料位置，所述注料頭管上設(shè)置有計(jì)量閥，用于對(duì)加入的物料進(jìn)行精確的計(jì)量控制，所述注料頭管上端與微流控壓力泵輸出口之間連接。

7、進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述料桶機(jī)構(gòu)包括定位放置槽、儲(chǔ)料桶、密封蓋和抽料管，所述反應(yīng)箱上對(duì)稱設(shè)置有定位放置槽，所述定位放置槽中設(shè)置有儲(chǔ)料桶，所述儲(chǔ)料桶上方密封安裝有密封蓋，所述密封蓋上貫穿伸入儲(chǔ)料桶內(nèi)部密封插接設(shè)置有抽料管，所述抽料管上端與快拆頭連接。

8、本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型通過利用微流控技術(shù)作為反應(yīng)控制技術(shù)，可以有效的提高物料混合的均勻性及提高了熱傳導(dǎo)效率，提升了合成效率和產(chǎn)品質(zhì)量，通過設(shè)置換熱結(jié)構(gòu)可以有效地回收合成過程中產(chǎn)生的廢熱，并重新利用，通過注料機(jī)構(gòu)的多組式獨(dú)立控制配合各結(jié)構(gòu)之間的可拆式模塊化提升了生產(chǎn)的靈活性和適應(yīng)性，以適應(yīng)不同類型芯料的合成需求。

技術(shù)特征：

1.一種芯料的合成設(shè)備，其特征在于：包括反應(yīng)箱(1)、觸屏主控器(2)、換熱鋁板(3)、插架機(jī)構(gòu)、微流控芯片(4)、換熱盤管(5)、換熱儲(chǔ)能水箱(6)、溫度傳感器(7)、壓力傳感器(8)和智控注料機(jī)構(gòu)，所述反應(yīng)箱(1)前側(cè)設(shè)有觸屏主控器(2)，所述反應(yīng)箱(1)中設(shè)有換熱鋁板(3)，所述換熱鋁板(3)上通過插架機(jī)構(gòu)設(shè)有微流控芯片(4)，所述換熱鋁板(3)下方嵌設(shè)有換熱盤管(5)，所述反應(yīng)箱(1)后側(cè)設(shè)有換熱儲(chǔ)能水箱(6)，所述反應(yīng)箱(1)內(nèi)設(shè)有溫度傳感器(7)和壓力傳感器(8)，所述反應(yīng)箱(1)上方設(shè)有智控注料機(jī)構(gòu)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯料的合成設(shè)備，其特征在于：所述反應(yīng)箱(1)一側(cè)壁上設(shè)有調(diào)壓泵(9)與反應(yīng)箱(1)內(nèi)部連通，所述反應(yīng)箱(1)另一側(cè)壁上設(shè)有泄壓閥口(10)，所述換熱盤管(5)與換熱儲(chǔ)能水箱(6)泵吸管道連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯料的合成設(shè)備，其特征在于：所述插架機(jī)構(gòu)包括密封插接口(11)、插接框架(12)、夾持彈簧(13)、定位夾板(14)和滾輪(15)，所述反應(yīng)箱(1)前側(cè)設(shè)有密封插接口(11)，所述密封插接口(11)內(nèi)插入換熱鋁板(3)上方設(shè)有插接框架(12)，所述插接框架(12)內(nèi)兩側(cè)對(duì)稱通過夾持彈簧(13)設(shè)有定位夾板(14)，所述插接框架(12)兩側(cè)下方嵌設(shè)有滾輪(15)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯料的合成設(shè)備，其特征在于：所述插接框架(12)內(nèi)前后側(cè)面設(shè)有導(dǎo)向滑槽(16)，所述定位夾板(14)兩端設(shè)有滑動(dòng)插板(17)，所述滑動(dòng)插板(17)與導(dǎo)向滑槽(16)滑動(dòng)導(dǎo)向適配，所述插接框架(12)前側(cè)面與密封插接口(11)之間設(shè)有密封面板(18)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯料的合成設(shè)備，其特征在于：所述料桶機(jī)構(gòu)包括定位放置槽(24)、儲(chǔ)料桶(25)、密封蓋(26)和抽料管(27)，所述反應(yīng)箱(1)上對(duì)稱設(shè)有定位放置槽(24)，所述定位放置槽(24)中設(shè)有儲(chǔ)料桶(25)，所述儲(chǔ)料桶(25)上方設(shè)有密封蓋(26)，所述密封蓋(26)上貫穿伸入儲(chǔ)料桶(25)內(nèi)部設(shè)有抽料管(27)，所述抽料管(27)上端與快拆頭(21)連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開一種芯料的合成設(shè)備，反應(yīng)箱前側(cè)設(shè)有觸屏主控器，反應(yīng)箱中設(shè)有換熱鋁板，換熱鋁板上通過插架機(jī)構(gòu)設(shè)有微流控芯片，換熱鋁板下方嵌設(shè)有換熱盤管，反應(yīng)箱后側(cè)設(shè)有換熱儲(chǔ)能水箱，反應(yīng)箱內(nèi)設(shè)有溫度傳感器和壓力傳感器，反應(yīng)箱上方設(shè)有智控注料機(jī)構(gòu)；本技術(shù)通過利用微流控技術(shù)作為反應(yīng)控制技術(shù)，可以有效的提高物料混合的均勻性及提高了熱傳導(dǎo)效率，提升了合成效率和產(chǎn)品質(zhì)量，通過設(shè)置換熱結(jié)構(gòu)可以有效地回收合成過程中產(chǎn)生的廢熱，并重新利用，通過注料機(jī)構(gòu)的多組式獨(dú)立控制配合各結(jié)構(gòu)之間的可拆式模塊化提升了生產(chǎn)的靈活性和適應(yīng)性，以適應(yīng)不同類型芯料的合成需求。

技術(shù)研發(fā)人員：雷衍岳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧夏芯卡智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240430
技術(shù)公布日：2025/3/20