本申請涉及紅外晶體材料制備領域，具體涉及一種尾氣處理系統及方法。

背景技術：

1、zns、znse均為光學性能優異的紅外光學材料，現階段主要采用化學氣相沉積法(cvd)制備zns、znse。上述過程采用高純zn為主材，在高溫條件下同ar攜帶的h2s、h2se反應，生成zns、znse產品。h2s、h2se作為制備紅外光學材料的主要原材料之一，h2s毒性可與氰化物相比，是一種致命的氣體，而h2se毒性比h2s更高。在化學氣相沉積過程中，會有部分未參與反應的h2s、h2se同氬氣及反應生成的氫氣進入尾氣處理系統，經處理達到環保排放標準后排放到空氣中。

2、尾氣處理系統在整個cvd生產過程中起著至關重要的作用，因此，如何提升尾氣處理的能力成為亟需解決的技術問題。

技術實現思路

1、本申請提供一種尾氣處理系統及方法，其能提升尾氣處理的能力。

2、第一方面，本申請提供一種尾氣處理系統，尾氣處理系統包括：反應裝置；緩沖裝置：與反應裝置的尾氣出口相連接，用于對尾氣進行預處理；第一堿洗塔：與緩沖裝置的尾氣出口相連接，用于吸收尾氣中的至少部分h2s和/或h2se；第二堿洗塔：與第一堿洗塔的尾氣出口相連接，用于吸收尾氣中的h2s和/或h2se；氣體控制裝置：包括氣體控制柜和保護裝置；氣體控制柜與反應裝置的氣體入口相連接，用于向反應裝置供給氣體，保護裝置與第二堿洗塔相連接。

3、在一些實施例中，第一堿洗塔的上部設置有噴淋管，噴淋管的側壁設置有噴淋口。

4、在一些實施例中，反應裝置和緩沖裝置之間設置有真空泵，緩沖裝置用于去除尾氣經過真空泵的過程產生的含油物質。

5、在一些實施例中，緩沖裝置的上方設置有至少一個第一開孔，用于連接真空泵。

6、在一些實施例中，緩沖裝置的側壁部設置有第二開孔，用于連接第一堿洗塔。

7、在一些實施例中，第二開孔的下方設置有第三開孔，用于排出緩沖裝置中的含油物質。

8、在一些實施例中，第二堿洗塔包括相互串聯設置的一級堿洗塔和二級堿洗塔；可選地，一級堿洗塔和二級堿洗塔的中部均設置有旋流板，旋流板的上方設置有空心填料。

9、在一些實施例中，保護裝置通過管路與二級堿洗塔的尾氣入口相連接。

10、在一些實施例中，尾氣處理系統還包括設置于二級堿洗塔尾氣出口的軸流風機；軸流風機用于為第一堿洗塔和第二堿洗塔提供抽氣能力。

11、在一些實施例中，尾氣處理系統還包括與軸流風機連接的排氣煙囪，排氣煙囪用于將處理后的尾氣排出。

12、在一些實施例中，尾氣處理系統還包括堿液供給裝置；堿液供給裝置分別與第一堿洗塔和第二堿洗塔的下部相連接，用于向第一堿洗塔和第二堿洗塔供給堿液。

13、在一些實施例中，尾氣處理系統還包括尾氣控制組件和尾氣控制系統；尾氣控制組件用于控制尾氣處理系統；尾氣控制系統與尾氣控制組件通過電連接或信號連接，用于監測和控制尾氣控制組件。

14、第二方面，本申請提供一種尾氣處理方法，尾氣處理方法通過本申請第一方面的尾氣處理系統進行。

15、本申請實施例通過在反應裝置和第二堿洗塔之間設置第一堿洗塔，利用第一堿洗塔吸收尾氣中的至少部分h2s和/或h2se，增加了尾氣處理系統對尾氣中h2s和/或h2se的吸收量，從而提升了尾氣處理的能力。

技術特征：

1.一種尾氣處理系統，其特征在于，所述尾氣處理系統包括：

2.根據權利要求1所述的尾氣處理系統，其特征在于，所述第一堿洗塔的上部設置有噴淋管，所述噴淋管的側壁設置有噴淋口。

3.根據權利要求1所述的尾氣處理系統，其特征在于，所述反應裝置和所述緩沖裝置之間設置有真空泵，所述緩沖裝置用于去除所述尾氣經過所述真空泵的過程產生的含油物質；和/或，

4.根據權利要求1所述的尾氣處理系統，其特征在于，所述第二堿洗塔包括相互串聯設置的一級堿洗塔和二級堿洗塔；

5.根據權利要求4所述的尾氣處理系統，其特征在于，所述保護裝置通過管路與所述二級堿洗塔的尾氣入口相連接。

6.根據權利要求4所述的尾氣處理系統，其特征在于，所述尾氣處理系統還包括設置于所述二級堿洗塔尾氣出口的軸流風機；

7.根據權利要求6所述的尾氣處理系統，其特征在于，所述尾氣處理系統還包括與所述軸流風機連接的排氣煙囪，所述排氣煙囪用于將處理后的尾氣排出。

8.根據權利要求1所述的尾氣處理系統，其特征在于，所述尾氣處理系統還包括堿液供給裝置；

9.根據權利要求1所述的尾氣處理系統，其特征在于，所述尾氣處理系統還包括尾氣控制組件和尾氣控制系統；

10.一種尾氣處理方法，其特征在于，所述尾氣處理方法通過權利要求1-9任一項所述的尾氣處理系統進行。

技術總結
本申請涉及紅外晶體材料制備領域，具體涉及一種尾氣處理系統及方法。尾氣處理系統包括：反應裝置；緩沖裝置：與反應裝置的尾氣出口相連接，用于對尾氣進行預處理；第一堿洗塔：與緩沖裝置的尾氣出口相連接，用于吸收尾氣中的至少部分H<subgt;2</subgt;S和/或H<subgt;2</subgt;Se；第二堿洗塔：與第一堿洗塔的尾氣出口相連接，用于吸收尾氣中的H<subgt;2</subgt;S和/或H<subgt;2</subgt;Se；氣體控制裝置：包括氣體控制柜和保護裝置；氣體控制柜與反應裝置的氣體入口相連接，用于向反應裝置供給氣體，保護裝置與第二堿洗塔相連接。本申請的尾氣處理系統及方法能夠提升尾氣處理的能力。

技術研發人員：李冬旭,徐國眾,劉澤鈺,劉建東,楊建純,李擴社,黃萬才
受保護的技術使用者：山東有研國晶輝新材料有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28