本發(fā)明涉及壓力傳感器，更具體地，本發(fā)明涉及一種壓力傳感器的靈敏度測試方法及校準方法。

背景技術(shù)：

1、在現(xiàn)代科技快速發(fā)展的時代，氣壓傳感器作為一種重要的環(huán)境感知元件，已廣泛應用于各類消費電子終端產(chǎn)品中，特別是在智能穿戴設備領(lǐng)域，如智能運動手表、健康監(jiān)測手環(huán)等。這些設備不僅要求具備高度的精準性和穩(wěn)定性，還需適應多種復雜的使用環(huán)境，包括水下活動、高強度運動及日常佩戴中的汗水或化學物質(zhì)接觸等場景。因此，防水型氣壓計應運而生。

2、防水型氣壓計采用了凝膠覆蓋技術(shù)，將傳感器芯片及其連接的金線完全包裹在一層保護性的凝膠之中。這種凝膠材料具有優(yōu)異的防水、防汗以及耐化學腐蝕性能，能夠有效抵御海水、汗液、氯水、肥皂水等常見液體的侵蝕，從而顯著提高了傳感器的可靠性和使用壽命。

3、然而，盡管凝膠覆蓋層為氣壓傳感器提供了出色的環(huán)境保護，但它同時也引入了一個新的挑戰(zhàn)。由于凝膠本身具有一定的重量，當它與傳感器的感應芯片直接接觸時，這種額外的重量會直接作用在芯片上的敏感膜區(qū)域，并會導致作用在敏感膜上的力的大小和方向發(fā)生變化，進而引發(fā)氣壓輸出值的偏移。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種壓力傳感器的靈敏度測試方法及校準方法的新技術(shù)方案。

2、根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種壓力傳感器的靈敏度測試方法，所述壓力傳感器具有感測芯片。

3、所述壓力傳感器的靈敏度測試方法包括：

4、獲取處于不同狀態(tài)下待測壓力傳感器的輸出值pd1，pd2……pdn以及參考壓力傳感器的輸出值pr1，pr2……prn，其中n為不小于2的整數(shù)；

5、計算所述待測壓力傳感器的精度pa,pa等于所述待測壓力傳感器的輸出值pd與所述參考壓力傳感器的輸出值pr之差；

6、獲取處于不同狀態(tài)下作用于所述待測壓力傳感器的感測芯片的加速度a1，a2……an；

7、計算所述待測壓力傳感器的靈敏度ps，ps等于δpa與δa之比，其中δpa為精度pa的變化量或精度pa，δa為對應的加速度a的變化量或?qū)募铀俣萢。

8、可選地，δpa為精度pa的變化量，δa為對應的加速度a的變化量，n的取值范圍在2至5之間；

9、所述計算所述待測壓力傳感器的精度pa，包括：pa等于所述待測壓力傳感器的輸出值pd與所述參考壓力傳感器的對應輸出值pr之差；

10、所述計算所述待測壓力傳感器的靈敏度ps包括：計算所述待測壓力傳感器的多個靈敏度ps1，ps2……psm，并取平均值，其中m＝n-1。

11、可選地，n為2，所述待測壓力傳感器包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，通過轉(zhuǎn)動所述待測壓力傳感器以使所述待測壓力傳感器能夠在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間切換，其中轉(zhuǎn)動夾角的范圍為30°至180°。

12、可選地，通過翻轉(zhuǎn)所述待測壓力傳感器以使所述待測壓力傳感器能夠在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間切換，處于第一狀態(tài)下作用于所述待測壓力傳感器的感測芯片的加速度與處于第二狀態(tài)下作用于所述待測壓力傳感器的感測芯片的加速度大小相等且方向相反。

13、可選地，還包括：

14、將所述待測壓力傳感器和所述參考壓力傳感器放置于轉(zhuǎn)臺上，且使所述待測壓力傳感器與所述轉(zhuǎn)臺的離心加速度方向垂直，所述參考壓力傳感器與所述轉(zhuǎn)臺的離心加速度方向平行，調(diào)整所述轉(zhuǎn)臺的離心加速度以使所述待測壓力傳感器和所述參考壓力傳感器能夠處于不同狀態(tài)。

15、可選地，所述轉(zhuǎn)臺的離心加速度方向為水平方向，所述待測壓力傳感器的感測芯片處于豎直方向。

16、可選地，還包括：

17、將所述待測壓力傳感器和所述參考壓力傳感器放置于振動臺上，且使所述待測壓力傳感器與所述振動臺的振動方向垂直，所述參考壓力傳感器與所述振動臺的振動方向平行，在所述振動臺振動的過程中，所述待測壓力傳感器和所述參考壓力傳感器處于不同狀態(tài)。

18、可選地，所述計算所述待測壓力傳感器的精度pa包括：

19、pa等于所述待測壓力傳感器的輸出值pd的有效值與所述參考壓力傳感器的輸出值pr的有效值之差；

20、在所述獲取處于不同狀態(tài)下作用于所述待測壓力傳感器的感測芯片的加速度a1，a2……an之后，還包括：

21、計算作用于所述待測壓力傳感器的感測芯片的加速度a的有效值。

22、可選地，在所述計算所述待測壓力傳感器的精度pa之前，還包括：

23、對獲取到的所述待測壓力傳感器的輸出值pd和所述參考壓力傳感器的輸出值pr進行濾波處理；

24、在所述計算作用于所述待測壓力傳感器的感測芯片的加速度a的有效值之前，還包括：

25、對獲取到的作用于待測壓力傳感器的感測芯片的加速度a進行濾波處理。

26、可選地，δpa為精度pa，δa為對應的加速度a，所述計算所述待測壓力傳感器的靈敏度ps包括：

27、ps等于精度pa與加速度a的有效值之比。

28、可選地，所述待測壓力傳感器的感測芯片與所述參考壓力傳感器的感測芯片處于同一高度上。

29、根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種壓力傳感器的靈敏度校準方法，包括：

30、獲取壓力傳感器處于初始位置的初始靈敏度psr，所述初始靈敏度psr采用所述的壓力傳感器的靈敏度測試方法測得；

31、獲取所述壓力傳感器相對于初始位置的轉(zhuǎn)動角度θ；

32、計算所述壓力傳感器的當前靈敏度psc，psc等于psr與cosθ之積。

33、根據(jù)本發(fā)明的再一個方面，提供了一種一種壓力傳感器的靈敏度校準方法，包括：

34、將壓力傳感器豎直放置，使得所述壓力傳感器的感測芯片處于豎直方向，獲取此時所述壓力傳感器的輸出值pdr；

35、將所述壓力傳感器水平朝第一方向放置，獲取此時所述壓力傳感器的輸出值pd1；

36、將所述壓力傳感器水平朝與所述第一方向相反的方向放置，獲取此時所述壓力傳感器的輸出值pd2；

37、分別計算所述壓力傳感器的精度pa1和pa2,pa1等于所述壓力傳感器的輸出值pd1與所述壓力傳感器的輸出值pdr之差，pa2等于所述壓力傳感器的輸出值pd2與所述壓力傳感器的輸出值pdr之差；

38、計算所述壓力傳感器的靈敏度ps，ps等于精度pa的變化量與對應的加速度a的變化量之比。

39、本公開實施例的一個技術(shù)效果在于：

40、所述壓力傳感器的靈敏度測試方法包括獲取處于不同狀態(tài)下待測壓力傳感器的輸出值pd1，pd2……pdn以及參考壓力傳感器的輸出值pr1，pr2……prn，其中n為不小于2的整數(shù)；計算所述待測壓力傳感器的精度pa,pa等于所述待測壓力傳感器的輸出值pd與所述參考壓力傳感器的輸出值pr之差；獲取處于不同狀態(tài)下作用于所述待測壓力傳感器的感測芯片的加速度a1，a2……an；計算所述待測壓力傳感器的靈敏度ps，ps等于δpa與δa之比，其中δpa為精度pa的變化量或精度pa，δa為對應的加速度a的變化量或?qū)募铀俣萢。以此，通過上述測量方法，將參考壓力傳感器作為基準，通過與待測壓力傳感器在同一測試環(huán)境下的輸出值進行比較，能夠得到待測壓力傳感器的靈敏度，便于評估待測壓力傳感器的感測精度和響應能力,也便于對感測芯片上的防水凝膠或者其它結(jié)構(gòu)的重量影響進行補償，從而能夠提高待測壓力傳感器的感測精度。

41、通過以下參照附圖對本發(fā)明的示例性實施例的詳細描述，本發(fā)明的其它特征及其優(yōu)點將會變得清楚。