本技術(shù)涉及石英舟領(lǐng)域，特別是一種半導體用石英舟。

背景技術(shù)：

1、隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，對于材料處理設(shè)備的需求日益增加。石英舟作為一種常見的半導體材料處理工具，其性能直接影響到半導體的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

2、石英舟，也被稱為石英玻璃舟，是一種用于高溫環(huán)境，特別是半導體和太陽能行業(yè)中的石英玻璃制品。由于其在高溫下具有良好的穩(wěn)定性和化學惰性，石英舟常被用于承載晶圓(硅片)進行各種高溫處理，如氧化、擴散、退火等。實際上，石英舟的設(shè)計和制造是為了適應不同尺寸和規(guī)格的晶圓。石英舟的尺寸和形狀通常會根據(jù)所承載的晶圓尺寸進行調(diào)整，以確保晶圓在舟內(nèi)能夠穩(wěn)定地放置并受到均勻的熱處理。然而，這并不意味著一個石英舟可以隨意放置任何尺寸的晶圓。不同的石英舟通常是為特定尺寸的晶圓設(shè)計的，以確保晶圓在舟內(nèi)的正確位置和穩(wěn)定性。如果晶圓尺寸與石英舟不匹配，可能會導致晶圓在舟內(nèi)移動、傾斜或不穩(wěn)定，從而影響熱處理的均勻性和效果。因此，在選擇石英舟時，應根據(jù)所處理的晶圓尺寸和規(guī)格來選擇合適的石英舟，以確保晶圓能夠在舟內(nèi)穩(wěn)定放置并受到良好的熱處理。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、基于上述背景技術(shù)中存在的問題，本實用新型提出了一種半導體用石英舟，包括有支座，所述支座呈梯字形，所述支座中間設(shè)置有倒梯形開口，所述支座上倒梯形開口兩側(cè)對稱開有弧形槽口，所述弧形槽口上分別滑動連接有第一滑桿和第二滑桿，所述支座包括前支座和后支座，所述前支座左側(cè)向下延伸有第一支點，所述前支座右側(cè)向下延伸有第二支點，所述后支座左側(cè)向下延伸有第三支點，所述后支座右側(cè)向下延伸有第四支點，所述第一支點和第三支點通過第一支桿連接，所述第二支點和第四支點通過第二支桿連接，所述前支座下端兩側(cè)分別連接有第一插桿和第二插桿的一端，所述第一插桿和第二插桿的另一端連接后支座上與前支座對應位置處，所述第一滑桿、第二滑桿、第一插桿和第二插桿上均陣列開有若干卡槽。

2、優(yōu)選地，所述第一滑桿與支座內(nèi)側(cè)接觸處成型有第一擋環(huán)，所述第一滑桿端部延伸出支座的弧形槽口，所述第一滑桿端部開有螺紋，所述第一滑桿端部螺紋連接有第一卡扣，所述第一卡扣向一側(cè)旋轉(zhuǎn)可以緊固第一滑桿。

3、優(yōu)選地，所述第二滑桿與支座內(nèi)側(cè)接觸處成型有第二擋環(huán)，所述第二滑桿端部延伸出支座的弧形槽口，所述第二滑桿端部開有螺紋，所述第二滑桿端部螺紋連接有第二卡扣，所述第二卡扣向一側(cè)旋轉(zhuǎn)可以緊固第二滑桿。

4、優(yōu)選地，所述第一卡扣和第二卡扣上設(shè)置有把手。

5、優(yōu)選地，所述前支座和后支座中間安裝有卡板，所述卡板上對應開有適配第一滑桿和第二滑桿滑動的弧形槽口，所述卡板上開有適配第一插桿和第二插桿滑動連接的通孔。

6、優(yōu)選地，所述支座上的兩側(cè)弧形槽口呈開口向上的拋物線形。

7、優(yōu)選地，所述第一支點、第二支點、第三支點和第四支點呈三角形。

8、優(yōu)選地，所述第一支桿和第二支桿最下端與底部在同一平面上。

9、相對于現(xiàn)有技術(shù)而言，本實用新型的有益效果是：本實用新型具有在保證硅片定位穩(wěn)定的條件下有效減小硅片與硅片限位槽的接觸面，從而提高硅片擴散品質(zhì)的有益效果。石英舟方便定位，可以存放不同規(guī)格尺寸的硅片，適用范圍廣。

技術(shù)特征：

1.一種半導體用石英舟，其特征在于：包括有支座，所述支座呈梯字形，所述支座中間設(shè)置有倒梯形開口，所述支座上倒梯形開口兩側(cè)對稱開有弧形槽口，所述弧形槽口上分別滑動連接有第一滑桿和第二滑桿，所述支座包括前支座和后支座，所述前支座左側(cè)向下延伸有第一支點，所述前支座右側(cè)向下延伸有第二支點，所述后支座左側(cè)向下延伸有第三支點，所述后支座右側(cè)向下延伸有第四支點，所述第一支點和第三支點通過第一支桿連接，所述第二支點和第四支點通過第二支桿連接，所述前支座下端兩側(cè)分別連接有第一插桿和第二插桿的一端，所述第一插桿和第二插桿的另一端連接后支座上與前支座對應位置處，所述第一滑桿、第二滑桿、第一插桿和第二插桿上均陣列開有若干卡槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體用石英舟，其特征在于：所述第一滑桿與支座內(nèi)側(cè)接觸處成型有第一擋環(huán)，所述第一滑桿端部延伸出支座的弧形槽口，所述第一滑桿端部開有螺紋，所述第一滑桿端部螺紋連接有第一卡扣，所述第一卡扣向一側(cè)旋轉(zhuǎn)可以緊固第一滑桿，所述第一卡扣上設(shè)置有把手。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體用石英舟，其特征在于：所述第二滑桿與支座內(nèi)側(cè)接觸處成型有第二擋環(huán)，所述第二滑桿端部延伸出支座的弧形槽口，所述第二滑桿端部開有螺紋，所述第二滑桿端部螺紋連接有第二卡扣，所述第二卡扣向一側(cè)旋轉(zhuǎn)可以緊固第二滑桿，所述第二卡扣上設(shè)置有把手。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體用石英舟，其特征在于：所述前支座和后支座中間安裝有卡板，所述卡板上對應開有適配第一滑桿和第二滑桿滑動的弧形槽口，所述卡板上開有適配第一插桿和第二插桿滑動連接的通孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體用石英舟，其特征在于：所述支座上的兩側(cè)弧形槽口呈開口向上的拋物線形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體用石英舟，其特征在于：所述第一支點、第二支點、第三支點和第四支點呈三角形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體用石英舟，其特征在于：所述第一支桿和第二支桿最下端與底部在同一平面上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及石英舟領(lǐng)域，具體為一種半導體用石英舟，包括有支座，支座呈梯字形，支座上倒梯形開口兩側(cè)對稱開有弧形槽口，弧形槽口上分別滑動連接有第一滑桿和第二滑桿，支座包括前支座和后支座，第一支點和第三支點通過第一支桿連接，第二支點和第四支點通過第二支桿連接，前支座下端兩側(cè)分別連接有第一插桿和第二插桿的一端，第一插桿和第二插桿的另一端連接后支座上與前支座對應位置處，第一滑桿、第二滑桿、第一插桿和第二插桿上均陣列開有若干卡槽。本技術(shù)設(shè)計的石英舟方便定位，可以存放不同規(guī)格尺寸的硅片，適用范圍廣。

技術(shù)研發(fā)人員：盛文彬,錢麗祥,劉克勇
受保護的技術(shù)使用者：浙江奧博石英科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240423
技術(shù)公布日：2025/4/28