本發明涉及振動片和振動器件。

背景技術：

1、例如，在專利文獻1中公開了一種壓電基板，其中，支承部具有：兩個梁部，其隔著振動基板從另一端部起沿著自由端延伸；第1連結部，其將振動基板的另一端部與兩個梁部連結；以及第2連結部，其將兩個梁部的越過自由端而延伸的末端部連結，在第2連結部設有固定部。即，通過在振動基板的外周部貫通形成有コ字狀的縫隙，從而減少了將固定部經由接合部件接合于封裝基板時的殘留應力向振動基板傳遞的情況。

2、現有技術文獻

3、專利文獻1：日本特開2012-169890號公報

4、然而，專利文獻1所記載的壓電基板雖然通過在支承部與振動基板之間設置コ字狀的縫隙而降低了支承應力的影響，但存在未對g靈敏度特性進行任何考慮這樣的課題。

技術實現思路

1、振動片由sc切石英基板構成，該sc切石英基板具有與正交坐標系(x’，y”，z’)的y”軸垂直的面，該正交坐標系(x’，y”，z’)是如下這樣得到的：繞正交坐標系(x，y，z)的z軸旋轉規定角度，并繞通過該旋轉而得到的新的正交坐標系(x’，y’，z)的x’軸旋轉規定角度，所述振動片包含：支承部，其在俯視時設于第1方向上的一端部；激勵部，其與所述支承部沿所述第1方向排列，并在所述面配置有激勵電極；以及縫隙，其在所述面具有開口，所述縫隙包含：第1部分，其設于所述支承部與所述激勵電極之間，沿著與所述第1方向交叉的第2方向延伸；第2部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸；以及第3部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的另一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的另一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸，在將從所述縫隙的所述第1部分的所述激勵電極側的外緣到所述sc切石英基板的所述第1方向上的另一端部為止的長度設為lx、所述第2部分的長度設為l1、所述第3部分的長度設為l2時，l1/lx和l2/lx滿足以下的式(1)至式(5)中的任意一個。

2、0.0<l1/lx<0.05，?且，?-3×l1/lx+0.35≤l2/lx≤1.1×l1/lx+0.805…?(1)

3、0.05≤l1/lx<0.27，?且，?-0.207×l1/lx+0.21≤l2/lx≤0.5×l1/lx+0.835…(2)

4、0.27≤l1/lx<0.77，?且，?-0.207×l1/lx+0.21≤l2/lx≤0.97…?(3)

5、0.77≤l1/lx<0.87，?且，?-0.207×l1/lx+0.21≤l2/lx≤-1.0×l1/lx+1.47…(4)

6、0.87≤l1/lx≤0.97，?且，?-0.207×l1/lx+0.21≤l2/lx≤0.6…?(5)

7、振動片由sc切石英基板構成，該sc切石英基板具有與正交坐標系(x’，y”，z’)的y”軸垂直的面，該正交坐標系(x’，y”，z’)是如下這樣得到的：繞正交坐標系(x，y，z)的z軸旋轉規定角度，并繞通過該旋轉而得到的新的正交坐標系(x’，y’，z)的x’軸旋轉規定角度，所述振動片包含：支承部，其在俯視時設于第1方向上的一端部；激勵部，其與所述支承部沿所述第1方向排列，并在所述面配置有激勵電極；以及縫隙，其在所述面具有開口，所述縫隙包含：第1部分，其設于所述支承部與所述激勵電極之間，沿著與所述第1方向交叉的第2方向延伸；第2部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸；以及第3部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的另一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的另一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸，在將從所述縫隙的所述第1部分的所述激勵電極側的外緣到所述sc切石英基板的所述第1方向上的另一端部為止的長度設為lx、所述第2部分的長度設為l1、所述第3部分的長度設為l2時，l1/lx和l2/lx滿足以下的式(6)至式(15)中的任意一個。

8、0.38≤l1/lx<0.43，?且，?-2.6×l1/lx+1.588≤l2/lx≤5.2×l1/lx-1.376…(6)

9、0.43≤l1/lx<0.49，且，-0.625×l1/lx+0.739≤l2/lx≤1.167×l1/lx+0.358…(7)

10、0.49≤l1/lx<0.51，?且，?-0.625×l1/lx+0.739≤l2/lx≤2×l1/lx-0.05…?(8)

11、0.51≤l1/lx<0.6，?且，?-0.444×l1/lx+0.647≤l2/lx≤0.97…?(9)

12、0.6≤l1/lx<0.68，?且，?0.231×l1/lx+0.242≤l2/lx≤0.97…?(10)

13、0.68≤l1/lx<0.7，?且，?0.231×l1/lx+0.242≤l2/lx≤-5.5×l1/lx+4.5…(11)

14、0.68≤l1/lx<0.7，?且，?5.5×l1/lx-2.98≤l2/lx≤0.97…?(12)

15、0.7≤l1/lx<0.73，?且，?0.231×l1/lx+0.242≤l2/lx≤-1.1×l1/lx+1.42…(13)

16、0.7≤l1/lx<0.73，?且，?3.333×l1/lx-1.463≤l2/lx≤0.97…?(14)

17、0.73≤l1/lx≤0.8，且，0.929×l1/lx-0.268≤l2/lx≤-1.1×l1/lx+1.42…(15)

18、振動器件具有：上述記載的由sc切石英基板構成的振動片；以及基板，所述振動片的所述支承部安裝于所述基板。

19、振動片由at切石英基板構成，該at切石英基板具有與通過繞正交坐標系(x，y，z)的x軸旋轉規定角度而得到的新的正交坐標系(x，y’，z’)的y’軸垂直的面，所述振動片包含：支承部，其在俯視時設于第1方向上的一端部；激勵部，其與所述支承部沿所述第1方向排列，并在所述面配置有激勵電極；以及縫隙，其在所述面具有開口，所述縫隙包含：第1部分，其設于所述支承部與所述激勵電極之間，沿著與所述第1方向交叉的第2方向延伸；第2部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸；以及第3部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的另一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的另一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸，在將從所述縫隙的所述第1部分的所述激勵電極側的外緣到所述at切石英基板的所述第1方向上的另一端部為止的長度設為lx、所述第2部分的長度設為l1、所述第3部分的長度設為l2時，l1/lx和l2/lx滿足以下的式(16)至式(25)中的任意一個。

20、0.0<l1/lx<0.2，?且，?-0.92×l1/lx+0.26≤l2/lx≤0.95…?(16)

21、0.2≤l1/lx<0.27，?且，?-0.92×l1/lx+0.26≤l2/lx≤-2.0×l1/lx+1.35…(17)

22、0.27≤l1/lx<0.36，?且，?0.0<l2/lx≤1.56×l1/lx+0.39…?(18)

23、0.36≤l1/lx<0.54，?且，?0.0<l2/lx≤0.95…?(19)

24、0.54≤l1/lx<0.61，?且，?0.0<l2/lx≤-1.0×l1/lx+1.49…?(20)

25、0.61≤l1/lx<0.7，?且，?0.0<l2/lx≤0.78×l1/lx+0.41…?(21)

26、0.7≤l1/lx<0.88，?且，?0.0<l2/lx≤0.95…?(22)

27、0.88≤l1/lx≤0.95，?且，?0.0<l2/lx≤-0.57×l1/lx+0.77…?(23)

28、0.88≤l1/lx≤0.95，且，0.86×l1/lx-0.48≤l2/lx≤-0.71×l1/lx+1.24…(24)

29、0.88≤l1/lx≤0.95，?且，?1.29×l1/lx-0.52≤l2/lx≤0.95…?(25)

30、振動片由at切石英基板構成，該at切石英基板具有與通過繞正交坐標系(x，y，z)的x軸旋轉規定角度而得到的新的正交坐標系(x，y’，z’)的y’軸垂直的面，所述振動片包含：支承部，其設于沿著所述x軸的第1方向上的一端部；激勵部，其與所述支承部沿所述第1方向排列，并在所述面配置有激勵電極；以及縫隙，其在所述面具有開口，所述縫隙包含：第1部分，其設于所述支承部與所述激勵電極之間，沿著與所述第1方向交叉的第2方向延伸；第2部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸；以及第3部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的另一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的另一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸，在將從所述縫隙的所述第1部分的所述激勵電極側的外緣到所述at切石英基板的所述第1方向上的另一端部為止的長度設為lx、所述第2部分的長度設為l1、所述第3部分的長度設為l2時，l1/lx和l2/lx滿足以下的式(26)至式(33)中的任意一個。

31、0.0<l1/lx<0.34，?且，?0.0<l2/lx≤1.294×l1/lx+0.34…?(26)

32、0.34≤l1/lx<0.55，?且，?0.857×l1/lx-0.29≤l2/lx≤0.78…?(27)

33、0.55≤l1/lx<0.61，?且，?0.471×l1/lx-0.08≤l2/lx≤0.78…?(28)

34、0.61≤l1/lx<0.80，且，0.471×l1/lx-0.08≤l2/lx≤0.895×l1/lx+0.23…(29)

35、0.80≤l1/lx<0.83，?且，?0.471×l1/lx-0.08≤l2/lx≤0.95…?(30)

36、0.83≤l1/lx<0.89，且，0.471×l1/lx-0.08≤l2/lx≤-1.167×l1/lx+1.51…(31)

37、0.83≤l1/lx<0.89，?且，?1.167×l1/lx-0.35≤l2/lx≤0.95…?(32)

38、0.89≤l1/lx≤0.95，?且，?1.167×l1/lx-0.35≤l2/lx≤0.95…?(33)

39、振動片由at切石英基板構成，該at切石英基板具有與通過繞正交坐標系(x，y，z)的x軸旋轉規定角度而得到的新的正交坐標系(x，y’，z’)的y’軸垂直的面，所述振動片包含：支承部，其設于沿著所述x軸的第1方向上的一端部；激勵部，其與所述支承部沿所述第1方向排列，并在所述面配置有激勵電極；以及縫隙，其在所述面具有開口，所述縫隙包含：第1部分，其設于所述支承部與所述激勵電極之間，沿著與所述第1方向交叉的第2方向延伸；第2部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸；以及第3部分，其與所述第1部分的所述第2方向上的另一端連接，配置于所述激勵電極的所述第2方向上的另一個外緣側，并沿著所述第1方向延伸，在將從所述縫隙的所述第1部分的所述激勵電極側的外緣到所述at切石英基板的所述第1方向上的另一端部為止的長度設為lx、所述第2部分的長度設為l1、所述第3部分的長度設為l2時，l1/lx和l2/lx滿足以下的式(34)至式(41)中的任意一個。

40、0.0<l1/lx<0.12，?且，?0.0<l2/lx≤1.043×l1/lx+0.10…?(34)

41、0.12≤l1/lx<0.23，且，1.061×l1/lx-0.13≤l2/lx≤1.043×l1/lx+0.10…(35)

42、0.23≤l1/lx<0.41，且，1.061×l1/lx-0.13≤l2/lx≤1.556×l1/lx-0.02…(36)

43、0.41≤l1/lx<0.45，?且，?1.061×l1/lx-0.13≤l2/lx≤0.62…?(37)

44、0.45≤l1/lx<0.54，?且，?0.556×l1/lx+0.10≤l2/lx≤0.62…?(38)

45、0.54≤l1/lx<0.61，?且，?0.40≤l2/lx≤0.62…?(39)

46、0.61≤l1/lx<0.68，?且，?0.40≤l2/lx≤0.571×l1/lx+0.27…?(40)

47、0.68≤l1/lx≤0.75，且，0.571×l1/lx+0.01≤l2/lx≤0.571×l1/lx+0.27…(41)

48、振動器件具有：上述記載的由at切石英基板構成的振動片；以及基板，所述振動片的所述支承部安裝于所述基板。