本技術涉及半導體制造，更具體地說，本技術涉及半導體行業條形靶材翻轉機械手。

背景技術：

1、隨著現代工業的發展，功率半導體的應用范圍越來越廣泛，而機械手作為一種重要的自動化裝置，也在功率半導體的生產和應用過程中發揮著重要的作用；

2、在半導體行業中，條形靶材的翻轉是一個關鍵工藝步驟，它對于確保靶材加工的高精度和一致性至關重要，傳統的靶材翻轉操作多由人工完成，這種方式不僅效率低下，還存在操作誤差和安全隱患。

技術實現思路

1、為了克服現有技術的上述缺陷，本實用新型提供半導體行業條形靶材翻轉機械手，以解決上述背景技術中提出的問題。

2、為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

3、半導體行業條形靶材翻轉機械手，包括支撐架，所述支撐架的頂部固定設置有l形固定板，所述l形固定板的一端轉動連接有滑環，所述支撐架的底部設置有翻轉機構；

4、所述翻轉機構包括設置在支撐架底部的固定板，所述固定板的一側固定設置有步進電機，所述步進電機的輸出端固定設置有變頻器，所述變頻器的內部固定設置有轉軸，所述固定板的兩端均固定設置有支撐框，所述轉軸的兩端均貫穿支撐框并向支撐框內部延伸，所述轉軸的兩端均固定設置有主動齒輪，所述主動齒輪的一端與支撐框內壁轉動連接，所述主動齒輪的一側嚙合有從動齒輪，所述從動齒輪的兩端均與支撐框內壁轉動連接，所述從動齒輪的一端固定設置有連接桿，所述連接桿的外部固定設置有大鏈輪，所述大鏈輪的表面嚙合設置有鏈條，所述鏈條的一側嚙合有小鏈輪。

5、通過采用上述技術方案：為了實現多角度的翻轉動作，并且加強了整體的平衡性和穩定性，確保翻轉過程中無晃動。

6、作為上述技術方案的進一步描述：所述支撐框的一側固定設置有固定框，所述連接桿的一端依次貫穿支撐框和固定框并向固定框內部延伸，所述小鏈輪的內部固定設置有活動桿，所述活動桿的兩端均與固定框的內壁轉動連接，所述活動桿的一端依次貫穿固定框和支撐框并向支撐框內部延伸，所述活動桿的外部套固定設有連接框。

7、通過采用上述技術方案：為了提高翻轉過程中的穩定性，并且加強了使用效果。

8、作為上述技術方案的進一步描述：所述連接框的一側設置有夾持機構，所述夾持機構包括固定設置在連接框底部的固定夾持板，所述連接框的頂部固定設置有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的輸出端固定設置有穩定板，所述穩定板的底部固定設置有活動夾持板，所述連接框的上表面固定設置有穩定條，所述穩定條與穩定板滑動連接，所述固定夾持板和活動夾持板的一側均固定設置有防滑層。

9、通過采用上述技術方案：為了確保夾持力度適中且穩定，而且有效避免損傷靶材，并且全自動模式，省時省力。

10、本實用新型的技術效果和優點：

11、1、通過設置翻轉機構，與現有技術相比，利用步進電機帶動變頻器進行旋轉，進而帶動轉軸進行旋轉，轉軸帶動主動齒輪進行旋轉，使其從動齒輪帶動連接桿進行旋轉，從而使連接桿帶動固定框內部的大鏈輪進行旋轉，大鏈輪帶動鏈條進行移動，從而使鏈條帶動小鏈輪進行旋轉，并且通過小鏈輪帶動活動桿進行旋轉，活動桿帶動支撐框內部的連接框進行旋轉，從而帶動固定夾持板和活動夾持板進行旋轉，使其對靶材進行多角度的翻轉，確保靶材翻轉的準確性和穩定性，從而加強安全性；

12、2、通過設置夾持機構，與現有技術相比，將條形靶材放置在固定夾持板的一側，接著啟動電動伸縮桿帶動穩定板在穩定條的表面進行移動，從而起到導向的作用，并且操作方便快捷，接著帶動底部的活動夾持板進行穩定性的移動，從而準確抓取待翻轉的條形靶材，并且通過固定夾持板和活動夾持板一側設置的防滑層，防滑層為橡膠層材質制成，確保靶材被準確捕獲且不會受到損傷，并且以適應不同形狀的靶材，大大提高了使用效果。

技術特征：

1.半導體行業條形靶材翻轉機械手，包括支撐架（1），其特征在于：所述支撐架（1）的頂部固定設置有l形固定板（2），所述l形固定板（2）的一端轉動連接有滑環（3），所述支撐架（1）的底部設置有翻轉機構；

2.根據權利要求1所述的半導體行業條形靶材翻轉機械手，其特征在于：所述支撐框（8）的一側固定設置有固定框（15），所述連接桿（11）的一端依次貫穿支撐框（8）和固定框（15）并向固定框（15）內部延伸，所述小鏈輪（14）的內部固定設置有活動桿（16），所述活動桿（16）的兩端均與固定框（15）的內壁轉動連接。

3.根據權利要求2所述的半導體行業條形靶材翻轉機械手，其特征在于：所述活動桿（16）的一端依次貫穿固定框（15）和支撐框（8）并向支撐框（8）內部延伸，所述活動桿（16）的外部套固定設有連接框（17）。

4.根據權利要求3所述的半導體行業條形靶材翻轉機械手，其特征在于：所述連接框（17）的一側設置有夾持機構，所述夾持機構包括固定設置在連接框（17）底部的固定夾持板（18）。

5.根據權利要求4所述的半導體行業條形靶材翻轉機械手，其特征在于：所述連接框（17）的頂部固定設置有電動伸縮桿（19），所述電動伸縮桿（19）的輸出端固定設置有穩定板（20），所述穩定板（20）的底部固定設置有活動夾持板（21）。

6.根據權利要求5所述的半導體行業條形靶材翻轉機械手，其特征在于：所述連接框（17）的上表面固定設置有穩定條（22），所述穩定條（22）與穩定板（20）滑動連接，所述固定夾持板（18）和活動夾持板（21）的一側均固定設置有防滑層（23）。

技術總結
本技術公開了半導體行業條形靶材翻轉機械手，具體涉及半導體制造技術領域，包括支撐架，支撐架的頂部固定設置有L形固定板，L形固定板的一端轉動連接有滑環，支撐架的底部設置有翻轉機構，翻轉機構包括設置在支撐架底部的固定板，并且固定板的一側固定設置有步進電機，步進電機的輸出端固定設置有變頻器，變頻器的內部固定設置有轉軸，固定板的兩端均固定設置有支撐框，轉軸的兩端均貫穿支撐框并向支撐框內部延伸，轉軸的兩端均固定設置有主動齒輪，主動齒輪的一端與支撐框內壁轉動連接。本技術能夠實現多角度的翻轉動作，并且加強了整體的平衡性和穩定性，確保翻轉過程中無晃動。

技術研發人員：王健
受保護的技術使用者：浦曼托（常州）智能裝備有限公司
技術研發日：20240906
技術公布日：2025/4/28