本發(fā)明涉及光掃描裝置、及具備該光掃描裝置的圖像形成裝置。

背景技術(shù)：

搭載于電子照相方式的圖像形成裝置上的光掃描裝置(曝光裝置)，其包括：發(fā)出光束的光源；和掃描光學(xué)系統(tǒng)，其通過(guò)來(lái)自光源的光束對(duì)被掃描面上進(jìn)行偏轉(zhuǎn)掃描。并且，構(gòu)成光源或掃描光學(xué)系統(tǒng)等光掃描裝置的各部件，被保持在光掃描裝置的箱體上。再者，為了抑制飛散碳粉等的塵埃付著在掃描光學(xué)系統(tǒng)上，掃描光學(xué)系統(tǒng)被收容在設(shè)置于箱體內(nèi)的收容區(qū)域。

此外，在光掃描裝置上設(shè)置有用來(lái)檢測(cè)從光源發(fā)出的光束的檢測(cè)部件（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。檢測(cè)部件包括光電二極管等受光素子，對(duì)光束進(jìn)行受光及檢測(cè)，且輸出顯示對(duì)光束進(jìn)行了檢測(cè)的情況的檢測(cè)信號(hào)。并且，控制光掃描裝置的動(dòng)作的控制部，根據(jù)來(lái)自檢測(cè)部件的檢測(cè)信號(hào)，計(jì)算光掃描的開始定時(shí)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-148548號(hào)公報(bào)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題

例如，掃描光學(xué)系統(tǒng)包括多面鏡，但為了使多面鏡旋轉(zhuǎn)，必須向多面鏡傳遞電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)力。因此，在箱體內(nèi)，除了掃描光學(xué)系統(tǒng)外還收容有電動(dòng)機(jī)。這樣若在箱體內(nèi)收容有電動(dòng)機(jī)，則箱體內(nèi)的溫度會(huì)因電動(dòng)機(jī)的發(fā)熱而上升。

在此，若有熱損害施加在檢測(cè)部件上，檢測(cè)部件的受光素子的靈敏度就有可能下降。若受光素子的靈敏度下降，則光束的檢測(cè)精度變差，光掃描的開始定時(shí)就會(huì)從目標(biāo)定時(shí)偏離。因此，為了抑制熱損害被施加在檢測(cè)部件上，有時(shí)不將檢測(cè)部件配置在箱體內(nèi)側(cè)而是配置在外側(cè)。若將檢測(cè)部件配置在箱體外側(cè)，即使箱體內(nèi)的溫度上升，熱損害也難施加在檢測(cè)部件上，從而能抑制受光素子的靈敏度的降低。

在箱體外側(cè)配置檢測(cè)部件的情況，為了使檢測(cè)部件接受光束，在箱體的一部分形成有用于使光束從箱體內(nèi)側(cè)向外側(cè)射出的開口部。然而，若在箱體上形成這樣的開口部，塵埃就有可能經(jīng)由開口部進(jìn)入箱體內(nèi)，進(jìn)而弄臟箱體內(nèi)的掃描光學(xué)系統(tǒng)。即，防塵性下降。

本發(fā)明是為了解決所述技術(shù)問(wèn)題而完成，其目的在于提供一種能夠抑制熱損害被施加在用于檢測(cè)光束的檢測(cè)部件上，且能抑制防塵性下降的光掃描裝置及具備該光掃描裝置的圖像形成裝置。

解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案

為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明的光掃描裝置，具備掃描光學(xué)系統(tǒng)、外殼、檢測(cè)部件、蓋體和檢測(cè)部件，掃描光學(xué)系統(tǒng)，通過(guò)從光源發(fā)出的光束對(duì)被掃描面上進(jìn)行偏轉(zhuǎn)掃描。外殼具有底部及從底部立設(shè)在上下方向的外殼側(cè)壁部。外殼在由底部及外殼側(cè)壁部包圍的收容區(qū)域內(nèi)收容掃描光學(xué)系統(tǒng)。蓋體通過(guò)從外殼的上方側(cè)安裝在外殼上，從而將收容區(qū)域的開口堵塞。檢測(cè)部件被配置在收容區(qū)域的外側(cè)，對(duì)光束進(jìn)行受光及檢測(cè)，且輸出用來(lái)計(jì)算向被掃描面進(jìn)行光掃描的開始定時(shí)的檢測(cè)信號(hào)。此外，在外殼側(cè)壁部的一部分即第1部分形成有光檢測(cè)開口部，該光檢測(cè)開口部用于將光束從收容區(qū)域內(nèi)側(cè)向外側(cè)射出且使檢測(cè)部件受光。并且，光檢測(cè)開口部，是由穿透光束的透光性部件堵塞。

本發(fā)明的構(gòu)成中，如所述，由于將用來(lái)檢測(cè)光束的檢測(cè)部件配置在收容區(qū)域外側(cè)，所以即使收容區(qū)域內(nèi)的溫度上升，也能抑制熱損害被施加在檢測(cè)部件上。此外，為了使配置在收容區(qū)域外側(cè)的檢測(cè)部件接受光束，在外殼側(cè)壁部的一部分(第1部分)形成用于使光束從收容區(qū)域內(nèi)側(cè)向外側(cè)射出的光檢測(cè)開口部，但由于此光檢測(cè)開口部由透光性部件堵塞，所以想要經(jīng)由光檢測(cè)開口部進(jìn)入收容區(qū)域內(nèi)的塵埃流被透光性部件所截?cái)唷Ｓ纱耍词乖谑杖輩^(qū)域外側(cè)配置檢測(cè)部件，且伴隨此在第1部分形成光檢測(cè)開口部，仍能抑制防塵性下降。

發(fā)明效果

如以上說(shuō)明，根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制熱損害施加在用來(lái)檢測(cè)光束的檢測(cè)部件，并能抑制防塵性下降。

附圖說(shuō)明

圖1是搭載有本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置（光掃描裝置）的復(fù)合機(jī)（圖像形成裝置）的概略圖；

圖2是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的示意圖；

圖3是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體結(jié)構(gòu)的剖視圖（顯示蓋體被安裝在外殼之前的狀態(tài)的圖）；

圖4是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體結(jié)構(gòu)的剖視圖（顯示蓋體被安裝在外殼之后的狀態(tài)的圖）；

圖5是用來(lái)說(shuō)明形成本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體的外殼結(jié)構(gòu)的立體圖；

圖6是用來(lái)說(shuō)明形成本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體的外殼結(jié)構(gòu)的俯視圖；

圖7是從側(cè)面觀察形成在本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體上的光檢測(cè)開口部及嵌入其中的透光性部件的情況的放大圖；

圖8是從上方觀察形成在本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體上的光檢測(cè)開口部及嵌入其中的透光性部件的情況的放大圖；

圖9是從側(cè)面觀察形成在本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體上的光檢測(cè)開口部及嵌入其中的透光性部件的情況的放大圖（顯示安裝有蓋體之前的狀態(tài)的圖）；

圖10是從側(cè)面觀察形成在本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體上的光檢測(cè)開口部及嵌入其中的透光性部件的情況的放大圖（顯示安裝有蓋體之后的狀態(tài)的圖）；

圖11是顯示形成在本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體上的光檢測(cè)開口部及嵌入其中的透光性部件的剖視圖（顯示安裝有蓋體之后的狀態(tài)的圖）；和

圖12是顯示安裝在本發(fā)明的一實(shí)施方式的曝光裝置的箱體上的檢測(cè)部件的安裝結(jié)構(gòu)的剖視圖。

具體實(shí)施方式

以復(fù)合機(jī)為例對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式的光掃描裝置及具備該光掃描裝置的圖像形成裝置進(jìn)行說(shuō)明。

＜復(fù)合機(jī)的整體結(jié)構(gòu)＞

如圖1所示，復(fù)合機(jī)100（相當(dāng)于“圖像形成裝置”）具有圖像讀取部1及印刷部2。圖像讀取部1讀取原稿且生成圖像數(shù)據(jù)。印刷部2沿著紙張輸送路21輸送紙張P，并根據(jù)圖像數(shù)據(jù)形成調(diào)色劑像。并且，印刷部2在輸送中的紙張P上印刷調(diào)色劑像，且將印刷完的紙張P向排紙托盤22排出。

印刷部2包括供紙部3、紙張輸送部4、圖像形成部5及定影部6。供紙部3包含搓紙輥31及供紙輥對(duì)32，將收容在紙匣33的紙張P供給于紙張輸送路21。紙張輸送部4包含多個(gè)輸送輥對(duì)41，且沿著紙張輸送路21輸送紙張P。

圖像形成部5包括感光體鼓51、帶電裝置52、曝光裝置53（相當(dāng)于“光掃描裝置”）、顯影裝置54、轉(zhuǎn)印輥55及清潔裝置56。

圖像形成時(shí)，感光體鼓51旋轉(zhuǎn)，帶電裝置52使此感光體鼓51的表面（相當(dāng)于“被掃描面”）帶電。此外，曝光裝置53對(duì)感光體鼓51的表面進(jìn)行曝光，在感光體鼓51的表面形成靜電潛像。顯影裝置54將碳粉供給于形成在感光體鼓51的表面的靜電潛像上并進(jìn)行顯影。

轉(zhuǎn)印輥55壓接在感光體鼓51的表面，在與感光體鼓51之間形成轉(zhuǎn)印夾持部（nip）。通過(guò)紙張P進(jìn)入此轉(zhuǎn)印夾持部，將感光體鼓51表面的調(diào)色劑像轉(zhuǎn)印在紙張P上。清潔裝置56將殘留在感光體鼓51表面的碳粉等除去。

定影部6包含加熱輥61及加壓輥62。加熱輥61內(nèi)置有發(fā)熱源。加壓輥62壓接在加熱輥61上，在與加熱輥61之間形成定影夾持部。并且，轉(zhuǎn)印了調(diào)色劑像的紙張P通過(guò)定影夾持部，由此被加熱及加壓。由此，調(diào)色劑像定影在紙張P上，完成印刷。

＜曝光裝置的結(jié)構(gòu)＞

如圖2所示，曝光裝置53具有半導(dǎo)體激光元件71（相當(dāng)于“光源”）和掃描光學(xué)系統(tǒng)72。半導(dǎo)體激光元件71發(fā)出曝光用的光束。掃描光學(xué)系統(tǒng)72包含準(zhǔn)直透鏡73、柱面透鏡74、多面鏡75、Fθ透鏡76及反射鏡77等，通過(guò)從半導(dǎo)體激光元件71發(fā)出的光束，從而對(duì)感光體鼓51的表面上進(jìn)行偏轉(zhuǎn)掃描。

準(zhǔn)直透鏡73將從半導(dǎo)體激光元件71發(fā)出的的光束轉(zhuǎn)換為平行光。柱面透鏡74僅在與主掃描方向正交的副掃描方向上具有規(guī)定的折射力，使來(lái)自準(zhǔn)直透鏡73的光束成像在多面鏡75的反射面。多面鏡75是具有多個(gè)反射面的旋轉(zhuǎn)多面鏡，且從多面鏡電動(dòng)機(jī)75a被傳遞驅(qū)動(dòng)力而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。然后，多面鏡75通過(guò)旋轉(zhuǎn)，對(duì)入射在此反射面的光束進(jìn)行偏轉(zhuǎn)掃描。Fθ透鏡76使來(lái)自多面鏡75的光束以一定的速度在主掃描方向上進(jìn)行掃描，且向反射鏡77引導(dǎo)。反射鏡77將光束向被掃描面即感光體鼓51的表面反射。

此外，在曝光裝置53上設(shè)置有檢測(cè)部件78及反射鏡79，該檢測(cè)部件78檢測(cè)光束且輸出檢測(cè)信號(hào)，該反射鏡79將反射鏡79向此檢測(cè)部件78反射。檢測(cè)部件78是安裝有光電二極管等受光素子78a（參照?qǐng)D12）的基板，通過(guò)接受光束使檢測(cè)信號(hào)的輸出值變化。復(fù)合機(jī)100的控制部(未圖示)接收從檢測(cè)部件78輸出的檢測(cè)信號(hào)。并且，復(fù)合機(jī)100的控制部，根據(jù)來(lái)自檢測(cè)部件78的檢測(cè)信號(hào)，計(jì)算對(duì)感光體鼓81的表面的曝光開始定時(shí)（光掃描的開始定時(shí)）。

為了保持半導(dǎo)體激光元件71或掃描光學(xué)系統(tǒng)72，曝光裝置53具有如圖3及圖4所示的箱體50。此箱體50包括外殼80及蓋體90。以下，將曝光裝置53的上下方向稱為A方向進(jìn)行說(shuō)明。

外殼80具有底部81、和從該底部81立設(shè)在A方向(上方)的側(cè)壁部82（以下，稱為外殼側(cè)壁部82）。并且，外殼80在由底部81及外殼側(cè)壁部82包圍的區(qū)域即收容區(qū)域80A內(nèi)收容掃描光學(xué)系統(tǒng)72。再者，雖未圖示，半導(dǎo)體激光元件71不收容在收容區(qū)域80A的內(nèi)側(cè)，而是配置在收容區(qū)域80A的外側(cè)。因此，從半導(dǎo)體激光元件71發(fā)出的的光束，經(jīng)由形成在外殼80的未圖示的入光孔進(jìn)入收容區(qū)域80A內(nèi)。

收容在收容區(qū)域80A內(nèi)的掃描光學(xué)系統(tǒng)72被安裝在底部81，但在此底部81形成有臺(tái)階。這樣在底部81形成臺(tái)階的理由，是為了使構(gòu)成掃描光學(xué)系統(tǒng)72的各部件的A方向的位置一致。此外，在底部81形成有光射出孔81a，該光射出孔81a用于使光束從曝光裝置53的內(nèi)部向外部射出（以反射鏡77反射的光束）且射在感光體鼓51的表面。此光射出孔81a是將主掃描方向作為長(zhǎng)邊方向的大致矩形狀開口的孔，且通過(guò)透明窗81b被從外側(cè)堵塞。

蓋體90具有頂面部91、和從該頂面部91立設(shè)在A方向(下方)的側(cè)壁部92（以下，稱為蓋體側(cè)壁部92）。再者，頂面部91不一定要形成為平坦，也可在一部分形成傾斜或臺(tái)階。例如，圖3及圖4所示的例子中，頂面部91的一部分（反射鏡77一側(cè)的端部）向下方凹陷，但此凹陷的部分也是頂面部91的一部分。

此外，在頂面部91中的比蓋體側(cè)壁部92靠?jī)?nèi)側(cè)的部分一體形成有肋93。肋93呈壁狀立設(shè)在A方向(下方)上，且隔著間隔與蓋體側(cè)壁部92對(duì)置。再者，蓋體側(cè)壁部92形成在頂面部91的全周，但肋93也同樣形成在頂面部91的全周。

蓋體90是從外殼80的上方側(cè)（收容區(qū)域80A的開口側(cè)）安裝在外殼80。由此，收容區(qū)域80A被蓋體90堵塞（頂面部91覆蓋收容區(qū)域80A）。此外，在蓋體90被安裝于外殼80上的狀態(tài)下，在比外殼側(cè)壁部82靠外側(cè)配置有蓋體側(cè)壁部92，外殼側(cè)壁部82被蓋體側(cè)壁部92及肋93夾入。這樣，若利用蓋體側(cè)壁部92及肋93夾入外殼側(cè)壁部82，能抑制塵埃（飛散的碳粉等）朝收容區(qū)域80A內(nèi)的進(jìn)入。即，能抑制掃描光學(xué)系統(tǒng)72被弄臟。

在此，如圖5及圖6所示，檢測(cè)部件78保持在外殼80上，但不收容在收容區(qū)域80A的內(nèi)側(cè)，而是被配置在收容區(qū)域80A的外側(cè)。因此，在外殼側(cè)壁部82的一部分即第1部分83形成有光檢測(cè)開口部83a，該光檢測(cè)開口部83a用于使光束從收容區(qū)域80A的內(nèi)側(cè)向外側(cè)射出而使檢測(cè)部件78（受光素子78a）受光。由此，即使在收容區(qū)域80A的外側(cè)配置檢測(cè)部件78，仍能使檢測(cè)部件78接受光束。再者，反射鏡79被收容在收容區(qū)域80A內(nèi)，由反射鏡79反射的光束經(jīng)由光檢測(cè)開口部83a到達(dá)檢測(cè)部件78。

這樣，在收容區(qū)域80A的外側(cè)配置檢測(cè)部件78，且伴隨此在第1部分83形成光檢測(cè)開口部83a的情況，若預(yù)先將光檢測(cè)開口部83a設(shè)為開放狀態(tài)，塵埃有可能從光檢測(cè)開口部83a進(jìn)入收容區(qū)域80A內(nèi)，而弄臟掃描光學(xué)系統(tǒng)72。因此，在第1部分83安裝有堵塞光檢測(cè)開口部83a的透光性部件8。例如，透光性部件8是用來(lái)將光束收束在檢測(cè)部件78的透鏡。只是，不需要使透光性部件8具有透鏡功能，也能使用不具透鏡功能的透明板作為透光性部件8。

如圖7及圖8所示，光檢測(cè)開口部83a的開口形狀，成為從第1部分83的上方側(cè)切入的凹口形狀。此外，在形成光檢測(cè)開口部83a的內(nèi)緣的各面，沿光檢測(cè)開口部83a的內(nèi)緣形成有狹縫83b。并且，在狹縫83b的一側(cè)的內(nèi)表面形成有向另一側(cè)的內(nèi)表面突起的突起83c。并且，透光性部件8，通過(guò)從第1部分83的上方側(cè)壓入狹縫83b內(nèi)，被嵌入光檢測(cè)開口部83a內(nèi)。由此，光檢測(cè)開口部83a被透光性部件8堵塞。再者，在透光性部件8嵌入光檢測(cè)開口部83a內(nèi)的狀態(tài)下，通過(guò)在狹縫83b的一側(cè)的內(nèi)表面存在突起83c，透光性部件8密貼在狹縫83b的另一側(cè)的內(nèi)表面。

此外，如圖9及圖10所示，在頂面部91內(nèi)的與光檢測(cè)開口部83a的形成位置重疊的部分配置有由海綿等彈性材料構(gòu)成的彈性部件9。因此，若在外殼80安裝蓋體90，彈性部件9被夾入透光性部件8與頂面部91之間。即，彈性部件9進(jìn)入透光性部件8的上端側(cè)所產(chǎn)生之間隙內(nèi)。由此，光檢測(cè)開口部83a被無(wú)間隙地堵塞，從而能抑制塵埃從光檢測(cè)開口部83a向收容區(qū)域80A內(nèi)的進(jìn)入。

再者，如圖11所示，蓋體側(cè)壁部92及肋93還存在于光檢測(cè)開口部83a的形成位置。并且，在光檢測(cè)開口部83a的形成位置，嵌入光檢測(cè)開口部83a的透光性部件8（也包含彈性部件9），由蓋體側(cè)壁部92與肋93夾入。

并且，如圖5及圖6所示，在外殼側(cè)壁部82形成有用于抽出連接在多面鏡電動(dòng)機(jī)75a的電纜(未圖示)的電纜抽出開口部82a。因此，在頂面部91中的與電纜抽出開口部82a的形成位置重疊的部分上也配置有與彈性部件9同樣的彈性部件10。并且，電纜抽出開口部82a也是通過(guò)此彈性部件10堵塞。

此外，為了進(jìn)一步抑制塵埃從光檢測(cè)開口部83a向收容區(qū)域80A內(nèi)的進(jìn)入，外殼側(cè)壁部82一體具有第2部分84。第2部分84在第1部分83的外側(cè)與第1部分83對(duì)置地呈壁狀立設(shè)在A方向，且與第1部分83一起包圍第1部分83外側(cè)的一區(qū)域。即，第1部分83外側(cè)的一區(qū)域，是由第1部分83與第2部分84包圍，由此，成為與收容區(qū)域80A隔離的空間82S。若設(shè)置這樣的空間82S，能抑制塵埃向第1部分83外側(cè)的一區(qū)域的進(jìn)入，其結(jié)果，來(lái)自曝光裝置53的外部的塵埃變得難以到達(dá)光檢測(cè)開口部83a。

第2部分84除了用來(lái)抑制塵埃進(jìn)入的部分之外，還是用于保持檢測(cè)部件78的部分。因此，如圖12所示，在第2部分84設(shè)置有用于安裝檢測(cè)部件78的安裝部85。安裝部85具有凸座85a及受光孔85b。并且，在檢測(cè)部件78的基板上形成有安裝孔78b，在將檢測(cè)部件78安裝于安裝部85時(shí)，凸座85a被插入安裝孔78b內(nèi)。此外，在檢測(cè)部件78被安裝在安裝部85的狀態(tài)下，受光素子78a與受光孔85b重疊。由此，光束經(jīng)由受光孔85b，入射于受光素子78a。

再者，供凸座85a插入的安裝孔78a，被設(shè)為將與A方向正交的水平方向（垂直于圖12的紙面的方向）作為長(zhǎng)邊方向的長(zhǎng)孔。此外，檢測(cè)部件78的基板，從第2部分84分離（不密貼于第2部分84）。由此，能使檢測(cè)部件78在水平方向上移動(dòng)，因此能夠在水平方向調(diào)整檢測(cè)部件78的保持位置。

這樣在能調(diào)整檢測(cè)部件78的位置的情況下，在第2部分84與檢測(cè)部件78之間空開有間隙，所以，塵埃有可能從此間隙經(jīng)由受光孔85b進(jìn)入空間82S內(nèi)。但是，假定即使有塵埃進(jìn)入空間82S內(nèi)，如圖11所示，空間82S與收容區(qū)域80A被第1部分83分隔，且，形成在第1部分83的光檢測(cè)開口部83a，由透光性部件8及彈性部件9堵塞，所以向收容區(qū)域80A內(nèi)進(jìn)入的塵埃少（幾乎無(wú)塵埃的進(jìn)入）。

本實(shí)施方式的曝光裝置53（光掃描裝置），如所述，具備：掃描光學(xué)系統(tǒng)72，其通過(guò)從半導(dǎo)體激光元件71(光源)發(fā)出的光束，對(duì)感光體鼓51表面(被掃描面)上進(jìn)行偏轉(zhuǎn)掃描；外殼80，其具有底部81及從底部81A立設(shè)在A方向(上下方向)的外殼側(cè)壁部82，且在由底部81及外殼側(cè)壁部82包圍的收容區(qū)域80A內(nèi)收容掃描光學(xué)系統(tǒng)72；蓋體90，其通過(guò)從外殼81的上方側(cè)安裝在外殼81，堵塞收容區(qū)域80A的開口；和檢測(cè)部件78，其配置在收容區(qū)域80A的外側(cè)，對(duì)光束進(jìn)行受光及檢測(cè)，輸出用來(lái)計(jì)算向感光體鼓51的表面進(jìn)行光掃描的開始定時(shí)的檢測(cè)信號(hào)。此外，在外殼側(cè)壁部的一部分即第1部分，形成有用于將光束從收容區(qū)域80A的內(nèi)側(cè)向外側(cè)射出且使檢測(cè)部件78受光的光檢測(cè)開口部83a。并且，光檢測(cè)開口部83a是由穿透光束的透光性部件8堵塞。

本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，將用來(lái)檢測(cè)光束的檢測(cè)部件78配置在收容區(qū)域80A的外側(cè)，所以即使收容區(qū)域80A內(nèi)的溫度上升，也能抑制熱損害施加在檢測(cè)部件78上。此外，為了使配置在收容區(qū)域80A外側(cè)的檢測(cè)部件78接受光束，在外殼側(cè)壁部82的一部分(第1部分83)形成用于使光束從收容區(qū)域80A內(nèi)側(cè)向外側(cè)射出的光檢測(cè)開口部83a，但由于此光檢測(cè)開口部83a被透光性部件8堵塞，所以想要經(jīng)由光檢測(cè)開口部83a進(jìn)入收容區(qū)域80A內(nèi)的塵埃流被透光性部件8所截?cái)唷Ｓ纱耍词乖谑杖輩^(qū)域80A外側(cè)配置檢測(cè)部件78，且伴隨此在第1部分83形成光檢測(cè)開口部83a，仍能抑制防塵性下降。

此外，本實(shí)施方式中，如所述，外殼側(cè)壁部82一體具有安裝有檢測(cè)部件78的第2部分84。此第2部分84在第1部分83的外側(cè)與第1部分83對(duì)置地呈壁狀立設(shè)在A方向。并且，第1部分83外側(cè)的一區(qū)域，成為由第1部分83與第2部分84包圍的空間82S。根據(jù)這樣的構(gòu)成，第1部分83外側(cè)的一區(qū)域（空間82S）成為塵埃量少的區(qū)域。由此，由于到達(dá)形成在第1部分83的光檢測(cè)開口部83a的塵埃減少，所以，能進(jìn)一步抑制塵埃經(jīng)由光檢測(cè)開口部83a進(jìn)入收容區(qū)域80A內(nèi)。

此外，本實(shí)施方式中，如所述，光檢測(cè)開口部83a的開口形狀，成為從第1部分83的上方側(cè)切入的凹口形狀，透光性部件8從第1部分83的上方側(cè)被嵌入光檢測(cè)開口部83a。并且，在透光性部件8與蓋體90之間夾入能彈性變形的彈性部件9。根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠通過(guò)彈性部件9來(lái)填埋透光性部件8與蓋體90之間之間隙。由此，能確實(shí)抑制塵埃經(jīng)由光檢測(cè)開口部83a進(jìn)入收容區(qū)域80A內(nèi)。

此外，本實(shí)施方式中，如所述，蓋體90具有堵塞收容區(qū)域80A的開口的頂面部91、和配置在外殼側(cè)壁部82的外側(cè)且從頂面部91立設(shè)在A方向的蓋體側(cè)壁部92。并且，在頂面部91中的比蓋體側(cè)壁部92靠?jī)?nèi)側(cè)的部分形成有隔著間隔與蓋體側(cè)壁部92對(duì)置的肋93。并且，外殼側(cè)壁部82被蓋體側(cè)壁部92及肋93夾入。根據(jù)這樣的構(gòu)成，即使在外殼側(cè)壁部82的上端與頂面部91之間空隔有間隙，仍能抑制塵埃從此間隙進(jìn)入收容區(qū)域80A內(nèi)。

在此，嵌入光檢測(cè)開口部83a的透光性部件8，與外殼側(cè)壁部82一起規(guī)定收容區(qū)域80A。并且，在外殼側(cè)壁部82中的光檢測(cè)開口部83a的形成位置，嵌入光檢測(cè)開口部83a內(nèi)的透光性部件8，通過(guò)蓋體側(cè)壁部92和肋93被夾入。因此，在收容區(qū)域80A的全周，規(guī)定收容區(qū)域80A的外殼側(cè)壁部82（也包含透光性部件8），成為由蓋體側(cè)壁部92和肋93夾入的狀態(tài)。即，成為在收容區(qū)域80A的全周設(shè)置有用于抑制塵埃向收容區(qū)域80A內(nèi)的進(jìn)入的結(jié)構(gòu)的狀態(tài)。

因此，例如，不需要采用在收容區(qū)域80A內(nèi)設(shè)置分隔板（用于截?cái)鄩m埃流動(dòng)的壁）等，由此來(lái)抑制塵埃向掃描光學(xué)系統(tǒng)72的付著的對(duì)策。由此，收容區(qū)域80A內(nèi)的熱（例如，以多面鏡電動(dòng)機(jī)75a產(chǎn)生的熱）大范圍地?cái)U(kuò)散，從而能抑制局部的溫度上升。

此外，本實(shí)施方式中，如所述，透光性部件8是用于將光束收束在檢測(cè)部件78的受光素子78a的透鏡。根據(jù)這樣的構(gòu)成，即使不將光檢測(cè)開口部83a與檢測(cè)部件78的距離設(shè)為較大，也能使從光檢測(cè)開口部83a射出的光束的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)在受光素子78a。由此，能達(dá)成曝光裝置53（包含外殼80的箱體50）的小型化。

應(yīng)能理解本次揭示的實(shí)施方式皆為例示而已，并非用來(lái)限制。本發(fā)明的范圍不是由所述實(shí)施方式的說(shuō)明而是由專利要求范圍所揭示，并且，還包括與專利要求范圍均等的意義及范圍內(nèi)的所有變更。