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光源裝置以及具備該光源裝置的曝光裝置的制作方法

文檔序號:11249934閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
光源裝置具備:光源部,具有包含出射第一波長的光的多個LED元件在內的第一光放射區域、以及包含出射與上述第一波長不同的第二波長的光的多個LED元件在內的第二光放射區域;光檢測部,檢測第一波長的光的強度;以及控制部,構成為能夠對于第一光放射區域以及第二光放射區域分別獨立地進行通電的接通、斷開控制。控制部具有存儲部,該存儲部存儲有關于第一波長的光的目標累計光量即第一目標累計光量的信息,在基于由光檢測部檢測出的上述第一波長的光的強度而計算出的累計光量達到第一目標累計光量時,與針對第二光放射區域的通電的控制獨立地進行使針對第一光放射區域的通電停止的控制。

技術研發人員:松島竹夫;多田元典;上原理彰;木下順一
受保護的技術使用者:優志旺電機株式會社
技術研發日:2017.03.06
技術公布日:2017.09.15
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