本技術涉及熱沉材料加工，特別涉及一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具。

背景技術：

1、目前熱沉材料制備完成后，很難形成精度高的規整胚料，需對其進行粗或精加工后才能用于正常生產。特別是胚料厚度方向很不平整，需對表面進行銑面加工。傳統采用的銑面夾持方式是直接用虎鉗對胚料側面夾持進行銑面加工。但這種夾持方式操作繁瑣，且所夾持的側面不規整時，很難形成合理的基準面，直接影響到加工的平面度和平行度，且材料研磨量偏大，造成加工效率低。為了避免這個問題的發生，確保加工質量，減少材料研磨量，需要設計用于熱沉材料銑面加工的專用夾具，保證銑面的平面度和平行度，降低材料研磨量，提升加工效率。

技術實現思路

1、本實用新型的目的是：針對上述背景技術中存在的不足，提供一種采用真空吸附的、用于熱沉材料銑面加工的專用夾具，以保證銑面的平面度和平行度，降低材料研磨量，提升加工效率。

2、為了達到上述目的，本實用新型提供了一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，包括基板、底座、氣嘴、第一密封圈和蓋板；所述底座與所述基板連接，所述底座的內部設置有真空腔體，所述氣嘴設置在所述底座上，所述真空腔體通過所述氣嘴與真空系統連通，所述真空系統用于對所述真空腔體內抽氣產生負壓；所述第一密封圈設置在底座上，所述第一密封圈用于對所述真空腔體與所述蓋板之間的縫隙進行密封，所述蓋板與所述底座可拆卸連接；所述蓋板的上表面設置有多個吸附槽，所述吸附槽內間隔設置有支撐條以及氣孔，所述支撐條用于對熱沉材料的胚料進行支撐，所述氣孔貫穿所述蓋板的厚度并與所述真空腔體連通。

3、進一步地，所述底座內設置有多個分隔塊，所述分隔塊將所述真空腔體分隔為多個相互連通的子腔體。

4、進一步地，所述氣嘴的大小根據吸附面積和設計需求選擇，所述真空系統產生的負壓范圍為-0.1～0mpa。

5、進一步地，所述第一密封圈選用耐高溫且不易發泡的材料制成，所述第一密封圈的截面直徑為0.5-5.0mm。

6、進一步地，所述蓋板與所述底座上均開設有多個螺栓孔且一一對應，通過螺栓將所述蓋板與所述底座固定。

7、進一步地，所述吸附槽的尺寸與所述胚料相匹配。

8、進一步地，所述吸附槽的邊緣位置還設置有第二密封圈，所述第二密封圈與所述胚料的下表面相接觸，以使胚料與吸附槽形成一個密封的腔體并產生負壓。

9、進一步地，所述吸附槽的數量和位置與所述真空腔體的子腔體一一對應分布。

10、進一步地，所述吸附槽以及所述真空腔體的形狀包括但不限于方形、圓形。

11、本實用新型的上述方案有如下的有益效果：

12、本實用新型提供的用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，通過真空系統使真空腔體內形成負壓，將胚料放置在吸附槽的位置后，依靠負壓作用，胚料能夠被牢固吸附，以對胚料進行裝夾，同時對加工面進行限位，在銑面設備對胚料進行銑面加工時，通過合理的夾具結構和夾持方式，能夠合理地加工基準面和避免加工變形造成差異，同時通過夾具結構保證了銑面的平面度和平行度，從而解決了傳統夾持方式造成的平面度和平行度偏大，導致研磨量偏大、加工效率低的問題，提升了熱沉材料銑面加工的質量，降低了生產成本；

13、本實用新型的其它有益效果將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

技術特征：

1.一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，包括基板、底座、氣嘴、第一密封圈和蓋板；所述底座與所述基板連接，所述底座的內部設置有真空腔體，所述氣嘴設置在所述底座上，所述真空腔體通過所述氣嘴與真空系統連通，所述真空系統用于對所述真空腔體內抽氣產生負壓；所述第一密封圈設置在底座上，所述第一密封圈用于對所述真空腔體與所述蓋板之間的縫隙進行密封，所述蓋板與所述底座可拆卸連接；所述蓋板的上表面設置有多個吸附槽，所述吸附槽內間隔設置有支撐條以及氣孔，所述支撐條用于對熱沉材料的胚料進行支撐，所述氣孔貫穿所述蓋板的厚度并與所述真空腔體連通。

2.根據權利要求1所述的一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，所述底座內設置有多個分隔塊，所述分隔塊將所述真空腔體分隔為多個相互連通的子腔體。

3.根據權利要求1所述的一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，所述氣嘴的大小根據吸附面積和設計需求選擇，所述真空系統產生的負壓范圍為-0.1～0mpa。

4.根據權利要求1所述的一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，所述第一密封圈選用耐高溫且不易發泡的材料制成，所述第一密封圈的截面直徑為0.5-5.0mm。

5.根據權利要求1所述的一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，所述蓋板與所述底座上均開設有多個螺栓孔且一一對應，通過螺栓將所述蓋板與所述底座固定。

6.根據權利要求1所述的一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，所述吸附槽的尺寸與所述胚料相匹配。

7.根據權利要求1所述的一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，所述吸附槽的邊緣位置還設置有第二密封圈，所述第二密封圈與所述胚料的下表面相接觸，以使胚料與吸附槽形成一個密封的腔體并產生負壓。

8.根據權利要求2所述的一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，所述吸附槽的數量和位置與所述真空腔體的子腔體一一對應分布。

9.根據權利要求1-8任意一項所述的一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，其特征在于，所述吸附槽以及所述真空腔體的形狀包括但不限于方形、圓形。

技術總結
本技術提供了一種用于熱沉材料銑面真空吸附式夾具，包括基板、底座、氣嘴、第一密封圈和蓋板；底座與基板連接，底座的內部設置有真空腔體，氣嘴設置在底座上，真空腔體通過氣嘴與真空系統連通；第一密封圈設置在底座上，用于對真空腔體與蓋板之間的縫隙密封，蓋板與底座可拆卸連接；蓋板的上表面設置有多個吸附槽，吸附槽內間隔設置有支撐條以及氣孔，支撐條用于對熱沉材料的胚料進行支撐，氣孔貫穿蓋板的厚度并與真空腔體連通。本技術解決了傳統夾持方式造成的平面度和平行度偏大，導致研磨量偏大、加工效率低的問題，提升了熱沉材料銑面加工的質量，降低了生產成本。

技術研發人員：姚歡,段文旅,黎博宇,謝繼航
受保護的技術使用者：長沙升華微電子材料有限公司
技術研發日：20240723
技術公布日：2025/4/28