專利名稱：一種蒸鍍用掩模組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于電子印刷領(lǐng)域，具體而言，涉及一種蒸鍍用掩模組件。
背景技術(shù)：
有機(jī)電致發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode, OLED),與傳統(tǒng)的液晶顯示(Liquid Crystal Display, LCD)相比具有制造成本低(只有 TFT-LCD 的 30% — 40%)、可視范圍寬(170度以上的視角)、反應(yīng)時(shí)間快、使用溫度范圍廣(-40° 80° )等突出優(yōu)點(diǎn)，使得利用OLED技術(shù)所制成的顯示器成為人們廣泛關(guān)注的產(chǎn)品之一。制造OLED顯示器關(guān)鍵環(huán)節(jié)是將有機(jī)材料選擇性地蒸鍍到襯底上，因此需要蒸鍍用的掩模組件，使有機(jī)材料淀積的圖案與設(shè)計(jì)的圖案相對(duì)應(yīng)。目前小尺寸的OLED顯示器的制作技術(shù)已經(jīng)很成熟，而通過(guò)同時(shí)制作多個(gè)OLED顯示器實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量的提高，以及大尺寸的OLED顯示器的制作，需要增大傳統(tǒng)襯底的尺寸，相應(yīng)的就需要增大掩模組件的尺寸。傳統(tǒng)技術(shù)中，制作大尺寸的OLED顯示器的掩模組件如圖1 圖3所示，圖1所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩模組件的組裝示意圖，10為掩模板，11為外框，101為掩模板上的掩模圖案，對(duì)掩模板10施加張力的同時(shí)將掩模板焊接到外框11上，如圖2所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件平面結(jié)構(gòu)示意圖，是將掩模板10焊接到外框11上的平面結(jié)構(gòu)示意圖，20為焊點(diǎn)。由于掩模板受到自身重力的影響，會(huì)產(chǎn)生下垂，導(dǎo)致掩膜組件整體結(jié)構(gòu)發(fā)生變形，進(jìn)而引起掩模圖案101的變形，從而影響到蒸鍍的質(zhì)量，如圖3所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件因掩模板下垂導(dǎo)致掩模組件變形的平面結(jié)構(gòu)示意圖。有鑒于此，有必要提出一種掩膜組件，以克服掩模板下垂導(dǎo)致掩模板上的掩模圖案變形的問(wèn)題，提聞?wù)翦戀|(zhì)量，進(jìn)而提聞OLED顯不器的質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個(gè)。本實(shí)用新型提供了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，其特征在于:所述外框?yàn)閮山M對(duì)邊形成的中空四邊形結(jié)構(gòu)，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面，所述蒸鍍面為所述外框面對(duì)蒸鍍?cè)吹囊幻妫鲅谀０灏惭b面為所述外框背離蒸鍍?cè)吹囊幻妫凰鲋螖?shù)量大于等于1，所述支撐跨過(guò)所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對(duì)邊上。根據(jù)本實(shí)用新型背景技術(shù)中對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所述，如圖1-3所示，由于掩模板受到自身重力的影響，會(huì)產(chǎn)生下垂，導(dǎo)致掩膜組件整體結(jié)構(gòu)發(fā)生變形，進(jìn)而引起掩模圖案的變形，從而影響到蒸鍍的質(zhì)量；而采用本實(shí)用新型的蒸鍍用掩模組件在使用過(guò)程中，由于所述支撐具有中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)特征，在掩模板受到自身重力作用出現(xiàn)下垂時(shí)，所述支撐能夠具有良好的支撐作用，凸起部分能夠?qū)ο麓蛊鸬窖a(bǔ)償?shù)淖饔茫寡谀０逶谡翦冞^(guò)程中呈平整狀態(tài)，而彎曲的各項(xiàng)參數(shù)則需要實(shí)驗(yàn)來(lái)具體確定。[0010]另外，根據(jù)本實(shí)用新型公開(kāi)的蒸鍍用掩模組件還具有如下附加技術(shù)特征: 進(jìn)一步地，所述支撐為中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步地，所述外框和所述支撐是一體成型結(jié)構(gòu)或拼接結(jié)構(gòu)。所述外框和所述支撐可以是使用機(jī)械加工或鑄造等方法形成一體結(jié)構(gòu)，所述外框和所述支撐也可以是獨(dú)立個(gè)體，兩者拼接形成的整體。進(jìn)一步地，所述外框是兩組對(duì)邊拼接結(jié)構(gòu)或一體成型結(jié)構(gòu)。拼接結(jié)構(gòu)可以使整體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，但安裝過(guò)程中，則可能造成精度上的損失。進(jìn)一步地，所述蒸鍍面開(kāi)口形狀和所述掩模板安裝面開(kāi)口形狀相似，且所述蒸鍍面開(kāi)口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面開(kāi)口形狀尺寸。優(yōu)選地，聯(lián)接所述蒸鍍面與所述掩模板安裝面之間為斜面或過(guò)渡曲面。進(jìn)一步地,所述支撐橫截面為一端大于另一端的一端小一端大結(jié)構(gòu)，小端與大端之間為斜線段或過(guò)渡曲線。。在所述支撐靠近蒸鍍?cè)吹囊粋?cè)尺寸小于遠(yuǎn)離蒸鍍?cè)匆粋?cè)的尺寸，這樣在蒸鍍工序中可以避免蒸鍍?cè)吹恼诒维F(xiàn)象，提高蒸鍍質(zhì)量。進(jìn)一步地，所述外框放置所述支撐的一組對(duì)邊上有缺口，所述支撐安裝在所述缺口中。 缺口的增加可以使所述支撐更加穩(wěn)固。進(jìn)一步地，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板，所述掩模板是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元構(gòu)成。本實(shí)用新型還提供了一種采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，包括:SI繃網(wǎng)定位:將掩模板進(jìn)行繃網(wǎng)，并根據(jù)所述掩模板與所述蒸鍍用掩膜組件的尺寸進(jìn)行定位，以獲得合格的產(chǎn)品；所述掩模板包括掩模圖案，所述掩模圖案透過(guò)所述外框與所述支撐形成的中空區(qū)域，避免蒸鍍材料被遮擋。S2安裝:將所述掩模板固定聯(lián)接在所述蒸鍍掩膜組件上。進(jìn)一步地，所述掩模板是一整塊掩模板，將所述掩模板整體固定聯(lián)接在所述外框和所述支撐上；或是一組掩模板單元構(gòu)成的掩模板，將與所述外框?qū)?yīng)的外側(cè)掩模板單元與所述外框?qū)?yīng)的對(duì)邊和所述支撐固定聯(lián)接，將與所述外框?qū)?yīng)的內(nèi)側(cè)掩模板單元與所述支撐固定聯(lián)接。進(jìn)一步地，所述固定聯(lián)接方式是焊接聯(lián)接結(jié)構(gòu)或粘結(jié)聯(lián)接結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從
以下結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:圖1為傳統(tǒng)蒸鍍用掩模組件的組裝示意圖；圖2為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件平面結(jié)構(gòu)示意圖；[0033] 圖3為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件因掩模板下垂導(dǎo)致掩模組件變形的平面結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為掩模框整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為掩模框面向蒸鍍?cè)匆幻娴钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖；圖6為將掩模板焊接到掩模框上的平面結(jié)構(gòu)示意圖；圖7所示為一種掩模組件組裝示意圖；圖8所示為一種掩模組件的平面結(jié)構(gòu)示意圖；圖9所示為支撐形變補(bǔ)償?shù)钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖；圖10所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖11所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖12所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖13所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖14所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖1中，10為掩模板，11為外框，101為掩模板上的掩模圖案；圖2中，20為焊點(diǎn)；圖4中，40為掩模框，401為支撐，41為掩模板安裝面，402為外框；圖5中，50為蒸鍍面,50'為傾斜面；圖6中，60為掩模板，601為掩模圖案，61為焊點(diǎn)；圖7中，70、71為掩模單元，701為掩模圖案； 圖8中，80為掩模部之間的縫隙；圖9中，A-A為待解剖方向，90為與掩模板焊接的一面，91為朝向蒸鍍?cè)吹囊粋?cè)，91'為傾斜面；圖10中，9Γ為朝向蒸鍍?cè)吹膬A斜面；
具體實(shí)施方式
下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能解釋為對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、
“內(nèi)”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。本實(shí)用新型的構(gòu)思如下，如技術(shù)背景所述，由于掩模板受到自身重力的影響，會(huì)產(chǎn)生下垂，導(dǎo)致掩模組件整體結(jié)構(gòu)發(fā)生變形，進(jìn)而引起掩模圖案的變形，從而影響到蒸鍍的質(zhì)量；而采用本實(shí)用新型的蒸鍍用掩模組件在使用過(guò)程中，由于所述支撐具有中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)特征，在掩模板受到自身重力作用出現(xiàn)下垂時(shí)，所述支撐能夠具有良好的支撐作用，凸起部分能夠?qū)ο麓蛊鸬窖a(bǔ)償?shù)淖饔茫寡谀０逶谡翦冞^(guò)程中呈平整狀態(tài)，而彎曲的各項(xiàng)參數(shù)則需要實(shí)驗(yàn)來(lái)具體確定。下面將參照附圖來(lái)描述本實(shí)用新型的蒸鍍用掩模組件，其中圖4為掩模框整體結(jié)構(gòu)示意圖，圖5為掩模框面向蒸鍍?cè)匆幻娴钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖，圖6為將掩模板焊接到掩模框上的平面結(jié)構(gòu)示意圖，圖7所示為一種掩模組件組裝示意圖，圖8所示為一種掩模組件的平面結(jié)構(gòu)示意圖，圖9所示為支撐形變補(bǔ)償?shù)钠矫娼Y(jié)構(gòu)示意圖，圖10所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖11所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖12所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖13所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖14所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，如圖4-14所示，本實(shí)用新型提供了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框402、若干數(shù)量的支撐401，如圖4、5所示，所述外框402為兩組對(duì)邊形成的中空四邊形結(jié)構(gòu)，所述外框402包括蒸鍍面50和掩模板安裝面41，所述蒸鍍面50為所述外框402面對(duì)蒸鍍?cè)吹囊幻妫鲅谀０灏惭b面41為所述外框402背離蒸鍍?cè)吹囊幻妫凰鲋?01數(shù)量大于等于I，所述支撐401跨過(guò)所述外框402中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框402 —組對(duì)邊上。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述支撐401為中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)，如圖9所示(彎曲幅度實(shí)際上很小，圖9只是示意圖)。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述外框402和所述支撐401是一體成型結(jié)構(gòu)或拼接結(jié)構(gòu)。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述外框402和所述支撐401可以是使用機(jī)械加工或鑄造等方法形成一體結(jié)構(gòu)，所述外框402和所述支撐401也可以是獨(dú)立個(gè)體，兩者拼接形成的整體。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述外框402是兩組對(duì)邊拼接結(jié)構(gòu)或一體成型結(jié)構(gòu)。拼接結(jié)構(gòu)可以使整體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，但安裝過(guò)程中，則可能造成精度上的損失。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述蒸鍍面50開(kāi)口形狀和所述掩模板安裝面41開(kāi)口形狀相似，且所述蒸鍍面50開(kāi)口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面41開(kāi)口形狀尺寸，如圖5所示。優(yōu)選地，所述蒸鍍面50與所述掩模板安裝面41之間為斜面或過(guò)渡曲面，如圖5中的面5(V。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述支撐401橫截面為一端大于另一端的一端小一端大結(jié)構(gòu)，小端與大端之間為斜線段或過(guò)渡曲線，如圖10-14所示。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為三角形，如圖10所示。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為上端大，下端小，上述兩者之間為內(nèi)凹過(guò)渡曲線構(gòu)成，如圖11所示。進(jìn)一步地，下端的頭部為圓滑曲線構(gòu)成，如圖11所示。[0072]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為類似梯形結(jié)構(gòu)，左右兩邊為凸起過(guò)渡曲線，如圖12所示。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為梯形結(jié)構(gòu)，如圖13所示。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐401橫截面為類似梯形結(jié)構(gòu)，左右兩邊為凹下過(guò)渡曲線，如圖14所示。在所述支撐靠近蒸鍍?cè)吹囊粋?cè)尺寸小于遠(yuǎn)離蒸鍍?cè)匆粋?cè)的尺寸，在蒸鍍過(guò)程中，可以盡可能的減少對(duì)蒸鍍材料的遮蔽可能。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述外框402放置所述支撐401的一組對(duì)邊上有缺口，所述支撐401安裝在所述缺口中。缺口的增加可以使所述支撐401更加穩(wěn)固。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板60，所述掩模板60是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元70、71構(gòu)成。所述掩模板60上包括掩模圖案601、701，如圖6-8所示。本實(shí)用新型還提供了一種采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，包括:SI繃網(wǎng)定位:將掩模板60進(jìn)行繃網(wǎng)，并根據(jù)所述掩模板60與所述蒸鍍用掩膜組件的尺寸進(jìn)行定位，以獲得合格的產(chǎn)品；所述掩模板60包括掩模圖案601、701，所述掩模圖案601、701透過(guò)所述外框402與所述支撐401形成的中空區(qū)域，避免蒸鍍材料被遮擋。S2安裝:將所述掩模板60固定聯(lián)接在所述蒸鍍掩模組件上。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述掩模板60是一整塊掩模板,將所述掩模板整體固定聯(lián)接在所述外框402和所述支撐401上；將掩模板60繃網(wǎng)，使掩模板具有一定的張力(與圖1所示繃網(wǎng)方式類似)，同時(shí)將掩模板焊接到掩模框40上，如圖6所示為將掩模板焊接到掩模框上的平面結(jié)構(gòu)示意圖，圖6中，60為掩模板，601為掩模圖案，61為焊點(diǎn)，掩模板是一體成型的結(jié)構(gòu)。在繃網(wǎng)焊接的同時(shí)還要進(jìn)行對(duì)位，使掩模板上的掩模圖案與外框402和支撐圍成的中空區(qū)域相對(duì)應(yīng)，使掩模板上掩模圖案之間的間隙部分與支撐相對(duì)應(yīng)，焊接時(shí)掩模板60的周邊與外框402連接(可以是焊接、粘接等方式)在一起，掩模板上掩模圖案601的間隙部分可以選擇性地與支撐401進(jìn)行焊接，焊點(diǎn)過(guò)多易使焊點(diǎn)附近的掩模圖案601變形，焊點(diǎn)過(guò)少則掩模板焊接不牢固，所以在焊接過(guò)程中，盡量使掩模板固定到外框和支撐上同時(shí)又不至于使掩模圖案變形。最佳焊接點(diǎn)的位置及數(shù)量可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)確定。根據(jù)本實(shí)用新型的另一些實(shí)施例，一組掩模板單元構(gòu)成的掩模板60，將與所述外框402對(duì)應(yīng)的掩模板單元70、71與所述外框402對(duì)應(yīng)的對(duì)邊和所述支撐401固定聯(lián)接。如圖7所示,為一種掩模組件組裝示意圖，70、71為掩模單元,701為掩模單元上的掩模圖案，掩模板是由分立的掩模單元組成，分別對(duì)掩模單元(70、71)進(jìn)行繃網(wǎng)固定，繃網(wǎng)的同時(shí)進(jìn)行對(duì)位，使掩模單元70、71的左右兩邊無(wú)掩模圖案的區(qū)域分別與相鄰的支撐和外框部分重合，并且掩模圖案與支撐401和外框402圍成的中空區(qū)域相對(duì)應(yīng)，繃網(wǎng)同時(shí)先將掩模單元70、71上下兩端焊接(或粘接)到掩模框的外框402的上下邊框上，再將掩模單元的左右兩邊焊接到支撐和外框上。掩模單元71為靠近外框402的掩模單元，對(duì)應(yīng)與外框相鄰的一邊要比與支撐相鄰的一邊無(wú)掩模圖案的區(qū)域稍寬，如此可以增大外框402對(duì)掩模單元71的支撐作用，同時(shí)也方便將71焊接到外框上。焊點(diǎn)過(guò)多易使焊點(diǎn)附近的掩模圖案701變形，焊點(diǎn)過(guò)少則掩模單元焊接不牢固，所以在焊接過(guò)程中，盡量使掩模單元固定到外框和支撐上同時(shí)又不至于使掩模圖案變形。最佳焊接點(diǎn)的位置及數(shù)量可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)確定。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述固定聯(lián)接方式是焊接聯(lián)接結(jié)構(gòu)或粘結(jié)聯(lián)接結(jié)構(gòu)。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，圖8所示為一種掩模組件的平面結(jié)構(gòu)示意圖(為圖7所示掩模組件組裝完成后的平面結(jié)構(gòu)示意圖)，80為掩模單元之間的縫隙。其中支撐401除了對(duì)掩模單元70、71起到支撐的作用外，還起到攔截蒸鍍?cè)赐ㄟ^(guò)縫隙80蒸鍍到襯底上，避免在襯底上淀積出不必要的圖案，影響蒸鍍質(zhì)量。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，在掩模板因自身重力產(chǎn)生下垂的同時(shí)支撐401也會(huì)產(chǎn)生下垂(因自身重力和掩模板的壓力而下垂)，因此有必要在將掩模板組裝到掩模框之前對(duì)支撐401施加一定的力致使支撐產(chǎn)生向上的形變(此形變很小)，如圖9所示(變形幅度很小，圖9是示意圖)，在蒸鍍時(shí)可以補(bǔ)償掩模板和支撐因自身重力產(chǎn)生的下垂，即掩模板和支撐本身產(chǎn)生的下垂，可以由支撐向上的形變來(lái)抵消掉，使整個(gè)蒸鍍過(guò)程中掩模板呈平整狀態(tài)，沒(méi)有下垂。由于支撐產(chǎn)生的形變量很小，在支撐的兩端與外框連接的部分，面90與面41幾乎在同一平面，蒸鍍時(shí)由于下垂量與支撐向上彎曲的形變量相互抵消，掩模板整體呈平整狀態(tài)。支撐401的長(zhǎng)度可以與外框?qū)挾瘸叽缫恢氯鐖D4、圖8所示，也可以比外框的寬度尺寸小，如圖6所示。盡管參照本實(shí)用新型的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本實(shí)用新型原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開(kāi)、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本實(shí)用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，其特征在于: 所述外框?yàn)閮山M對(duì)邊形成的中空四邊形結(jié)構(gòu)，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面，所述蒸鍍面為所述外框面對(duì)蒸鍍?cè)吹囊幻妫鲅谀０灏惭b面為所述外框背離蒸鍍?cè)吹囊幻妫? 所述支撐數(shù)量大于等于1，所述支撐跨過(guò)所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對(duì)邊上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述支撐為中間凸起兩端低的彎曲結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框和所述支撐是一體成型結(jié)構(gòu)或拼接結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框是兩組對(duì)邊拼接結(jié)構(gòu)或一體成型結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述蒸鍍面開(kāi)口形狀和所述掩模板安裝面開(kāi)口形狀相似，且所述蒸鍍面開(kāi)口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面開(kāi)口形狀尺寸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述支撐橫截面為一端大于另一端的一端大一端小的結(jié)構(gòu)，小端與大端之間為斜線段或過(guò)渡曲線。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框放置所述支撐的一組對(duì)邊上有缺口，所述支撐安裝在所述缺口中。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板，所述掩模板是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元構(gòu)成。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，所述外框?yàn)閮山M對(duì)邊形成的中空四邊形結(jié)構(gòu)，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面,所述蒸鍍面為所述外框面對(duì)蒸鍍?cè)吹囊幻妫鲅谀０灏惭b面為所述外框背離蒸鍍?cè)吹囊幻妫凰鲋螖?shù)量大于等于1，所述支撐跨過(guò)所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對(duì)邊上。采用本實(shí)用新型的蒸鍍用掩模組件可以克服掩模板下垂導(dǎo)致掩模板上的掩模圖案變形的問(wèn)題，提高蒸鍍質(zhì)量，進(jìn)而提高OLED顯示器的質(zhì)量。
文檔編號(hào)C23C14/04GK203159695SQ20132003269
公開(kāi)日2013年8月28日 申請(qǐng)日期2013年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月22日
發(fā)明者魏志凌, 高小平, 張煒平 申請(qǐng)人:昆山允升吉光電科技有限公司