用于磁控濺射設備的新型導輪的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于磁控濺射設備的新型導輪，包括導輪本體，所述導輪本體套裝于定位軸外，所述導輪本體的兩側表面分別設有第一環形凹槽和第二環形凹槽。本實用新型通過在導輪本體的兩側表面分別設置環形凹槽，使導輪本體表面被濺射的繞鍍薄膜在環形凹槽處斷開，直到繞鍍薄膜的厚度超過環形凹槽的寬度一半以上才會導通，所以，本新型導輪能長時間阻斷環形凹槽兩邊繞鍍薄膜的連接，避免其絕緣性能下降，保證了產品膜面質量。
【專利說明】用于磁控濺射設備的新型導輪

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種用于磁控濺射設備的導輪，尤其涉及一種用于磁控濺射設備且用于解決因饒鍍薄膜引發絕緣性能下降問題的新型導輪。

【背景技術】
[0002]磁控濺射是為了在低氣壓下進行高速濺射，通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率的方法，磁控濺射設備則是實現磁控濺射過程的設備。
[0003]磁控濺射設備的腔體內，產品行進方向兩側會使用一種圓形的導輪(即導向輪)用于原料糾正行進方向，該導輪必須要保證絕緣性能才能保證產品品質。導輪包括導輪本體和定位軸，雖然導輪本體是絕緣的，但固定軸是導體，目前的導輪本體除中心通孔外為實心結構，因導輪本體的滾動表面和兩側表面在濺鍍薄膜時伴隨的繞鍍現象，在使用過程中，會逐漸引起對地絕緣性能下降，造成產品膜面通過導輪對地放電造成不良和報廢的問題。
[0004]具體地，傳統導輪的結構如圖1所示，包括導輪本體3、定位軸1、緊固螺絲2和固定塊4，定位軸1通過緊固螺絲2與固定塊4連接，導輪本體3套裝于定位軸1外，導輪本體3在使用時跟隨向前運行的產品旋轉，由于對產品進行濺鍍薄膜時會濺射到導輪本體3的表面形成繞鍍現象，即:如圖2所示，濺鍍薄膜過程中在導輪本體3的表面形成饒鍍薄膜5，由于導輪本體3除中心通孔外為實心結構，所以饒鍍薄膜5是完全導通的，從而使向前運行的產品膜面與定位軸1之間通過導輪本體3上的饒鍍薄膜5導電，定位軸1則會通過緊固螺絲2與固定塊4最終接地，所以會導致產品膜面通過導輪對地放電造成不良和報廢的問題。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種在濺鍍薄膜過程中長時間保持絕緣性能的用于磁控濺射設備的新型導輪。
[0006]本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的:
[0007]—種用于磁控濺射設備的新型導輪，包括導輪本體，所述導輪本體套裝于定位軸夕卜，所述導輪本體的兩側表面分別設有第一環形凹槽和第二環形凹槽。
[0008]具體地，所述第一環形凹槽的徑向截面為長方形或大致長方形，該長方形或大致長方形的長邊與所述定位軸的軸向平行；所述第二環形凹槽的徑向截面為“L”形，該“L”形的長邊與所述定位軸的軸向垂直，該“L”形的短邊使所述導輪本體上對應的一側與所述定位軸之間隔斷。
[0009]本實用新型的有益效果在于:
[0010]本實用新型通過在導輪本體的兩側表面分別設置環形凹槽，使導輪本體表面被濺射的繞鍍薄膜在環形凹槽處斷開，直到繞鍍薄膜的厚度超過環形凹槽的寬度一半以上才會導通，所以，本新型導輪能長時間阻斷環形凹槽兩邊繞鍍薄膜的連接，避免其絕緣性能下降，保證了產品膜面質量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是用于磁控濺射設備的傳統導輪的剖視結構示意圖；
[0012]圖2是用于磁控濺射設備的傳統導輪被濺射繞鍍薄膜后的剖視結構示意圖；
[0013]圖3是本實用新型所述用于磁控濺射設備的新型導輪的剖視結構示意圖；
[0014]圖4是本實用新型所述用于磁控濺射設備的新型導輪被濺射繞鍍薄膜后的剖視結構示意圖。

【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0016]如圖3所示，本實用新型所述用于磁控濺射設備的新型導輪包括導輪本體6、定位軸1、緊固螺絲2和固定塊4，定位軸1通過緊固螺絲2與固定塊4連接，導輪本體6套裝于定位軸1外，導輪本體6的兩側表面分別設有第一環形凹槽8和第二環形凹槽7，其中，第一環形凹槽8的徑向截面為長方形或大致長方形，該長方形或大致長方形的長邊與定位軸1的軸向平行；第二環形凹槽7的徑向截面為“L”形，該“L”形的長邊與定位軸1的軸向垂直，該“L”形的短邊使導輪本體6上對應的一側與定位軸1之間隔斷。
[0017]說明:上述導輪本體6的兩側表面是指導輪本體6上位于滾動接觸表面兩側的表面。
[0018]如圖4所示，使用過程中，導輪本體6會跟隨向前運行的產品(圖中未示)旋轉，對產品進行濺鍍薄膜時會濺射到導輪本體6的表面形成饒鍍薄膜5，由于導輪本體6的兩側表面分別設有第一環形凹槽8和第二環形凹槽7，所以饒鍍薄膜5會被第一環形凹槽8和第二環形凹槽7隔斷，使產品膜面與定位軸1之間保持絕緣，從而解決了產品膜面通過導輪對地放電造成不良和報廢的問題。
[0019]由于饒鍍薄膜5的形成是一個比較緩慢的過程，所以在饒鍍薄膜5的厚度達到第一環形凹槽8和第二環形凹槽7的寬度的一半之前，導輪本體6上的饒鍍薄膜5都是被隔斷的，只有第一環形凹槽8和/或第二環形凹槽7對應位置的饒鍍薄膜5足夠厚時，才會導致導輪本體6上的饒鍍薄膜5連通成為導體，使產品膜面接地。
[0020]第一環形凹槽8和第二環形凹槽7是為了隔斷饒鍍薄膜5，所以其具體結構還有多種變形，比如:第二環形凹槽7也采用第一環形凹槽8的結構，同時錯位排列；或者第一環形凹槽8也采用第二環形凹槽7的結構；另外也可采用其它形狀的凹槽，只要能實現隔斷饒鍍薄膜5的功能即可，這些變形的結構均未脫離本實用新型的技術實質，所以均應落入本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種用于磁控濺射設備的新型導輪，包括導輪本體，所述導輪本體套裝于定位軸外，其特征在于:所述導輪本體的兩側表面分別設有第一環形凹槽和第二環形凹槽。
2.根據權利要求1所述的用于磁控濺射設備的新型導輪，其特征在于:所述第一環形凹槽的徑向截面為長方形或大致長方形，該長方形或大致長方形的長邊與所述定位軸的軸向平行；所述第二環形凹槽的徑向截面為“I”形，該“I”形的長邊與所述定位軸的軸向垂直，該“[”形的短邊使所述導輪本體上對應的一側與所述定位軸之間隔斷。
【文檔編號】C23C14/35GK204138752SQ201420564039
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年9月28日 優先權日:2014年9月28日
【發明者】李連喜, 周冬, 劉光遠, 劉占偉, 張加友, 胡尚智 申請人:山東淄博漢能光伏有限公司