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一種熱絲CVD沉積系統(tǒng)的絲架結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12430848閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種熱絲 CVD沉積系統(tǒng)的絲架結(jié)構(gòu),包括固定鉭絲桿A(1)、支撐架(2)、鉭絲(3)、固定鉭絲桿B(5)和絲架固定桿(4),其特征是:在平行間隔設(shè)置的兩根豎向支撐架(2)之間的兩端分別設(shè)有固定鉭絲桿A(1)和固定鉭絲桿B(5),在固定鉭絲桿B(5)的外側(cè)設(shè)有拉簧固定組件(7),多根鉭絲(3)的一端均布在固定鉭絲桿A(1)上,多根鉭絲(3)的另一端分別穿過固定鉭絲桿B(5)后與拉簧固定組件(7)上設(shè)置的多根耐高溫拉簧(6)固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲 CVD沉積系統(tǒng)的絲架結(jié)構(gòu),其特征是:所述拉簧固定組件(7)設(shè)置為U型架,所述U型架的兩側(cè)壁分別固定在固定鉭絲桿B(5)的兩側(cè)面上,多根耐高溫拉簧(6)的一端分別與U型架的橫板固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲 CVD沉積系統(tǒng)的絲架結(jié)構(gòu),其特征是:在固定鉭絲桿B(5)的端部設(shè)有電極固定孔(8)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲 CVD沉積系統(tǒng)的絲架結(jié)構(gòu),其特征是:所述多根鉭絲(3)的長度、直徑均相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱絲 CVD沉積系統(tǒng)的絲架結(jié)構(gòu),其特征是:所述鉭絲(3)與耐高溫拉簧(6)的數(shù)量相同。

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