技術總結
一種熱絲CVD沉積系統的絲架結構，涉及一種絲架結構，包括固定鉭絲桿A（1）、支撐架（2）、鉭絲（3）、固定鉭絲桿B（5）和絲架固定桿（4），在平行間隔設置的兩根豎向支撐架（2）之間的兩端分別設有固定鉭絲桿A（1）和固定鉭絲桿B（5），在固定鉭絲桿B（5）的外側設有拉簧固定組件（7），多根鉭絲（3）的一端均布在固定鉭絲桿A（1）上，多根鉭絲（3）的另一端分別穿過固定鉭絲桿B（5）后與拉簧固定組件（7）上設置的多根耐高溫拉簧（6）固定連接；本實用新型通過將熱絲架設置為豎直安裝的方式，實現了熱絲不下垂，基片臺溫場均勻的目的。

技術研發人員：鄒楊;孫蕾;楊宜珍;鄒松東;孫凌
受保護的技術使用者：洛陽奧爾材料科技有限公司
文檔號碼：201620591954
技術研發日：2016.06.17
技術公布日：2016.12.14