1.一種自動磨削拋光銑床,包括:
承載臺;
磨削單元,用于對固定于承載臺上的工件進行磨平;
拋光單元,用于對所述工件進行拋光;
清洗單元,用于對所述工件進行清洗;所述磨削單元、拋光單元和清洗單元依次排布于所述承載臺上方的數(shù)控臺上;
其特征在于,所述清洗單元除了對所述工件進行清洗外,還能夠?qū)λ龉ぜM行吸附拿持,以對所述工件進行搬運。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述清洗單元包括工質(zhì)輸入管和氣體輸出管,所述工質(zhì)輸出管用于噴灑清洗工質(zhì)以清洗所述工件,所述氣體輸出管用于排除清洗單元與所述工件表面緊密接觸時圍成腔室內(nèi)的氣體,以形成低氣壓吸附所述工件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述工質(zhì)輸入管嵌于所述氣體輸出管內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述工質(zhì)輸入管和氣體輸出管連接一噴淋頭。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述噴淋頭包括中央?yún)^(qū)域和邊緣區(qū)域,所述中央?yún)^(qū)域與所述邊緣區(qū)域物理隔離,其中,所述中央?yún)^(qū)域與所述工質(zhì)輸入管相連接,所述邊緣區(qū)域與所述氣體輸出管向連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述噴淋頭的中央?yún)^(qū)域的噴淋板具有多個噴淋口,所述噴淋頭的邊緣區(qū)域的噴淋板具有多個排氣口,所述多個排氣口圍繞在所述多個噴淋口周圍。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述噴淋頭與所述工件接觸的底面具有環(huán)形密封圈。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述密封圈包括環(huán)繞所述多個排氣口和噴淋口的第一密封圈和隔開所述多個排氣口和多個噴淋口的第二密封圈。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述工質(zhì)輸出管的工質(zhì)為氣體或液體,例如水或空氣。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動磨削拋光銑床,其特征在于,所述多個排氣口的孔徑大于所述多個噴淋口的孔徑。