本技術(shù)涉及廢氣處理，具體而言，涉及一種吹掃裝置以及廢氣處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在泛半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)中，化學(xué)品和特殊氣體的使用導(dǎo)致了大量有毒有害廢氣的產(chǎn)生。如果上述廢氣未經(jīng)處理直接排放到外界環(huán)境之中，將會(huì)對(duì)大氣、土壤以及水資源造成不可逆轉(zhuǎn)的損害，影響生態(tài)平衡。因此，行業(yè)中一般配備有廢氣處理系統(tǒng)，以達(dá)到環(huán)境和安全法規(guī)的要求，減少對(duì)生態(tài)環(huán)境的負(fù)面影響。

2、然而，廢氣中一般含有不容易被捕捉的固體顆粒粉塵。在廢氣處理過(guò)程中，這些粉塵顆粒會(huì)隨著廢氣在管道中的流動(dòng)而沉積，尤其導(dǎo)致管路的拐彎處發(fā)生堵塞或腐蝕。也即是說(shuō)明，這些粉塵顆粒的沉積物將會(huì)縮短設(shè)備的使用壽命、影響設(shè)備的精度和處理效率、以及增加設(shè)備的維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種吹掃裝置以及廢氣處理系統(tǒng)，其能夠減少固體粉塵顆粒沉積或沉淀的有益效果、增長(zhǎng)使用壽命、提高處理效率以及降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。

2、本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果包括：

3、本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N吹掃裝置，該吹掃裝置包括反應(yīng)桶、特氣管路以及吹掃管路。其中，特氣管路包括至少一個(gè)彎折段，吹掃管路包括與彎折段連通的收縮段，從而使得通入的惰性氣體能夠針對(duì)性地吹掃作用于彎折段處，從而達(dá)到避免彎折段處粉塵顆粒堆積或堵塞的有益效果。又由于收縮段的橫截面積沿著靠近彎折段的方向逐漸減小的設(shè)置，使得通入的惰性氣體能夠利用文丘里效應(yīng)提高流速，從而加大吹掃效率，以進(jìn)一步地減少固體粉塵顆粒沉積或沉淀，達(dá)到增長(zhǎng)使用壽命、提高處理效率以及降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間的有益效果。

4、本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N廢氣處理系統(tǒng)，其包括上述的吹掃裝置，因此，也能夠減少固體粉塵顆粒沉積或沉淀的有益效果、增長(zhǎng)使用壽命、提高處理效率以及降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。

技術(shù)特征：

1.一種吹掃裝置，其特征在于，包括反應(yīng)桶(100)、特氣管路(300)以及吹掃管路(500)；所述特氣管路(300)與所述反應(yīng)桶(100)連通，且所述特氣管路(300)包括至少一個(gè)彎折段(330)；所述吹掃管路(500)包括第一直流段(510)和收縮段(520)，且所述收縮段(520)一端與所述第一直流段(510)連通，另一端與所述彎折段(330)連通，且所述收縮段(520)的橫截面積沿著靠近所述彎折段(330)的方向逐漸減小。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃管路(500)還包括擴(kuò)散段(540)，所述收縮段(520)通過(guò)所述擴(kuò)散段(540)與所述彎折段(330)連通，且所述擴(kuò)散段(540)的橫截面積沿著靠近所述彎折段(330)的方向逐漸增大。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃管路(500)還包括第二直流段(530)，且所述收縮段(520)通過(guò)所述第二直流段(530)與所述擴(kuò)散段(540)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述特氣管路(300)包括第一直管段(310)和第二直管段(350)，且所述第一直管段(310)、所述彎折段(330)、所述第二直管段(350)以及所述反應(yīng)桶(100)依次連通，且所述第一直管段(310)的軸向中心線與所述收縮段(520)的軸向中心線之間存在第一夾角。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的吹掃裝置，其特征在于，所述第二直管段(350)的軸向中心線與所述反應(yīng)桶(100)的軸向中心線之間存在第二夾角。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的吹掃裝置，其特征在于，所述收縮段(520)的軸向中心線低于所述第二直管段(350)的軸向中心線。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃裝置(10)還包括火源發(fā)生器(710)，所述火源發(fā)生器(710)與所述反應(yīng)桶(100)連接，且用于向所述反應(yīng)桶(100)提供火焰；所述第二直管段(350)的軸向中心線穿過(guò)所述火焰的外焰。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃裝置(10)還包括流量控制閥(550)，所述流量控制閥(550)與所述第一直流段(510)連接，且用于控制所述第一直流段(510)處于流通狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的吹掃裝置，其特征在于，所述吹掃裝置(10)還包括信號(hào)反饋單元(730)，所述信號(hào)反饋單元(730)與所述反應(yīng)桶(100)連接，用于在獲取所述火源發(fā)生器(710)開(kāi)啟的情況下，開(kāi)啟所述流量控制閥(550)，或在獲取所述火源發(fā)生器(710)關(guān)閉的情況下，關(guān)閉所述流量控制閥(550)。

10.一種廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的吹掃裝置。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N吹掃裝置以及廢氣處理系統(tǒng)，涉及廢氣處理技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，該吹掃裝置包括反應(yīng)桶、特氣管路以及吹掃管路。其中，特氣管路包括至少一個(gè)彎折段，吹掃管路包括與彎折段連通的收縮段，從而使得通入的惰性氣體能夠針對(duì)性地吹掃作用于彎折段處，從而達(dá)到避免彎折段處粉塵顆粒堆積或堵塞的有益效果。又由于收縮段的橫截面積沿著靠近彎折段的方向逐漸減小的設(shè)置，使得通入的惰性氣體能夠利用文丘里效應(yīng)提高流速，從而加大吹掃效率，以進(jìn)一步地減少固體粉塵顆粒沉積或沉淀，達(dá)到增長(zhǎng)使用壽命、提高處理效率以及降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間的有益效果。

技術(shù)研發(fā)人員：張偉明,余歡,江楓濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240628
技術(shù)公布日：2025/4/28