一種旋轉定位裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種旋轉定位裝置，包括：底座，所述底座中設置有旋轉電機，所述底座上方設置有固定板，所述固定板上方設置有球型連接軸，所述球型連接軸上方設置有平衡板一、平衡板二，所述平衡板二上方設置有安裝座，所述安裝座兩端分別設置有自動鎖緊機構，所述自動鎖緊機構之間設置有限位環。本實用新型結構簡單、制造成本低廉、性能穩定、操作簡單，特別適用于半導體制造工藝中的精確定位與旋轉。
【專利說明】
一種旋轉定位裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種半導體制造裝置，尤其涉及一種旋轉定位裝置。
【背景技術】
[0002]我國信息產業在生產和科研方面都大大加快了發展速度，并已成為國民經濟發展的支柱產業之一。作為信息產業核心技術的半導體技術的發展也是日新月異，而半導體技術的飛速發展是與工藝技術及工藝設備的開發息息相關的。與世界發達國家相比，我國在半導體工藝設備的研究和開發方面還處于落后地位，國內半導體生產單位往往不得不高價購買國外被淘汰的二手設備。這樣一方面增大了生產成本，另一方面也嚴重制約了國內半導體技術的發展。因此，積極研究開發可靠實用的半導體工藝技術及工藝設備刻不容緩。
[0003]目前，在半導體制造工藝中，旋轉定位裝置的使用尤為重要。精確的定位，穩定的旋轉，直接決定半導體加工的質量。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、制造成本低廉、性能穩定、操作簡單，特別適用于半導體制造工藝中的精確定位與旋轉的自動化裝置。
[0005]本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下:一種旋轉定位裝置，包括:底座，所述底座中設置有旋轉電機，所述底座上方設置有固定板，所述固定板上方設置有球型連接軸，所述球型連接軸上方設置有平衡板一、平衡板二，所述平衡板二上方設置有安裝座，所述安裝座兩端分別設置有自動鎖緊機構，所述自動鎖緊機構之間設置有限位環。
[0006]所述球型連接軸在旋轉電機的帶動下可實現勻速旋轉以及任意角度的調整。所述平衡板一在球型連接軸的作用下可實現平衡板一以上器件的旋轉與角度調節。所述限位環與自動鎖緊機構配合可實現不同尺寸大小的晶圓的固定。
[0007]所述在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。
[0008]進一步，所述球型連接軸內部設置有激光感應器，所述激光感應器用于激光束的接收與感應。
[0009]進一步，所述平衡板一、平衡板二之間設置有減震彈簧，所述減震彈簧用于當旋轉定位裝置發生旋轉及角度調整時，可以降低對半導體晶圓的沖擊程度，以防止半導體晶圓損壞。
[0010]進一步，所述安裝座與平衡板二之間設置有扣合組件，所述安裝座通過扣合組件與平衡板二固定連接，本實用新型采用扣合組件實現安裝座與平衡板二的連接固定，有利于裝置的安裝、拆卸分離。
[0011]進一步，所述安裝座中心位置設置有激光發射器，所述激光發生器與球型連接軸內部的激光感應器處于同一軸線上，所述激光發射器與球型連接軸內部的激光感應器配合，用于球型連接軸與安裝座之間方位角的檢測與確定。
[0012]本實用新型的有益效果是:結構簡單、制造成本低廉、性能穩定、操作簡單，特別適用于半導體制造工藝中的精確定位與旋轉。
【附圖說明】

[0013]圖1為本實用新型一種旋轉定位裝置結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0015]如圖1所示，一種旋轉定位裝置，包括:底座I，所述底座I中設置有旋轉電機2，所述底座I上方設置有固定板3，所述固定板3上方設置有球型連接軸4，所述球型連接軸4上方設置有平衡板一 5、平衡板二 6，所述平衡板二 6上方設置有安裝座12，所述安裝座12兩端分別設置有自動鎖緊機構9，所述自動鎖緊機構9之間設置有限位環10。
[0016]所述球型連接軸4在旋轉電機2的帶動下可實現勻速旋轉以及任意角度的調整。所述平衡板一 5在球型連接軸4的作用下可實現平衡板一 5以上器件的旋轉與角度調節。所述限位環10與自動鎖緊機構9配合可實現不同尺寸大小的晶圓的固定。
[0017]所述球型連接軸4內部設置有激光感應器11，所述激光感應器11用于激光束的接收與感應。所述平衡板一 5、平衡板二 6之間設置有減震彈簧，所述減震彈簧用于當旋轉定位裝置發生旋轉及角度調整時，可以降低對半導體晶圓的沖擊程度，以防止半導體晶圓損壞。所述安裝座12與平衡板二 6之間設置有扣合組件8，所述安裝座12通過扣合組件8與平衡板二 6固定連接，本實用新型采用扣合組件8實現安裝座12與平衡板二 6的連接固定，有利于裝置的安裝、拆卸分離。所述安裝座12中心位置設置有激光發射器7，所述激光發生器7與球型連接軸4內部的激光感應器11處于同一軸線上，所述激光發射器7與球型連接軸4內部的激光感應器11配合，用于球型連接軸4與安裝座12之間方位角的檢測與確定。
[0018]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種旋轉定位裝置，其特征在于，包括:底座，所述底座中設置有旋轉電機，所述底座上方設置有固定板，所述固定板上方設置有球型連接軸，所述球型連接軸上方設置有平衡板一、平衡板二，所述平衡板二上方設置有安裝座，所述安裝座兩端分別設置有自動鎖緊機構，所述自動鎖緊機構之間設置有限位環。2.根據權利要求1所述一種旋轉定位裝置，其特征在于，所述球型連接軸內部設置有激光感應器。3.根據權利要求1所述一種旋轉定位裝置，其特征在于，所述平衡板一、平衡板二之間設置有減震彈簧。4.根據權利要求1所述一種旋轉定位裝置，其特征在于，所述安裝座與平衡板二之間設置有扣合組件。5.根據權利要求4所述一種旋轉定位裝置，其特征在于，所述安裝座通過扣合組件與平衡板二固定連接。6.根據權利要求1所述一種旋轉定位裝置，其特征在于，所述安裝座中心位置設置有激光發射器。7.根據權利要求6所述一種旋轉定位裝置，其特征在于，所述激光發生器與球型連接軸內部的激光感應器處于同一軸線上。
【文檔編號】H01L21/68GK205723484SQ201620682101
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年7月1日
【發明人】黃菊英
【申請人】重慶三零三科技有限公司