1.一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，包括安裝殼體（5），所述安裝殼體（5）內(nèi)部具有容納空間，所述安裝殼體（5）與所述錨點（41）固定連接，所述帶輪和所述張力調(diào)節(jié)組件（4）設置在所述容納空間內(nèi)，所述帶輪包括動力輸入帶輪（11）、動力輸出帶輪（12）和二級帶輪（13），所述動力輸入帶輪（11）和所述動力輸出帶輪（12）位于所述安裝殼體（5）的第一側(cè)，所述二級帶輪（13）位于所述安裝殼體（5）的第二側(cè)，所述二級帶輪（13）包括同軸的雙帶輪組，雙帶輪組分別通過獨立傳動帶（2）連接所述動力輸入帶輪（11）和所述動力輸出帶輪（12）。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述張力調(diào)節(jié)組件（4）包括：
4.根據(jù)權利要求3所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述調(diào)節(jié)部包括調(diào)節(jié)柱，所述調(diào)節(jié)柱的一端與所述安裝殼體（5）連接，所述驅(qū)動部（432）包括驅(qū)動螺栓（4321），所述驅(qū)動孔（4323）內(nèi)壁開設有螺紋，所述驅(qū)動螺栓（4321）與所述驅(qū)動孔（4323）螺紋連接并伸入所述擺動孔（421）內(nèi)抵接所述調(diào)節(jié)柱。
5.根據(jù)權利要求4所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述擺動孔（421）為條形孔，所述調(diào)節(jié)柱的直徑小于所述擺動孔（421）的寬度以形成擺動間隙（4211）。
6.根據(jù)權利要求3所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述擺動基臺（42）還包括延伸部（422），所述延伸部（422）靠近所述錨點（41），所述延伸部（422）上開設有弧形孔（4221），所述弧形孔（4221）沿所述錨點（41）的一任意圓周的延伸方向分布，所述弧形孔（4221）的弧度與所述擺動基臺（42）的擺動軌跡相匹配，所述弧形孔（4221）內(nèi)滑動連接有限位柱，所述限位柱的一端與所述安裝殼體（5）固定連接。
7.根據(jù)權利要求6所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述擺動基臺（42）包括第一區(qū)域（423）、第二區(qū)域（424）、第三區(qū)域（425）和第四區(qū)域（426）；
8.根據(jù)權利要求7所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述承載部（427）包括開設在所述第一區(qū)域（423）內(nèi)的第一軸承安裝區(qū)（4271）、沿所述第一軸承安裝區(qū)（4271）的邊緣向下突伸形成中空的承載主體（4272）以及沿所述承載主體（4272）向下突伸形成的轉(zhuǎn)接體（4273），所述承載主體（4272）朝向所述動力輸出帶輪（12）方向開設有供所述傳動帶（2）通過的敞口（4274），所述轉(zhuǎn)接體（4273）與所述承載主體（4272）固定連接，所述轉(zhuǎn)接體（4273）的內(nèi)部中空形成有第二軸承安裝區(qū)（4275）。
9.根據(jù)權利要求2所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述錨點（41）包括錨定轉(zhuǎn)軸（411）和軸孔（412），所述錨定轉(zhuǎn)軸（411）一端與所述安裝殼體（5）固定連接，所述軸孔（412）沿錨定轉(zhuǎn)軸（411）的高度方向開設在第二區(qū)域（424）內(nèi)，所述錨定轉(zhuǎn)軸（411）和所述軸孔（412）樞轉(zhuǎn)配合。
10.根據(jù)權利要求8所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述二級帶輪（13）包括第一帶輪（131）、第二帶輪（132）、第一軸部（133）和第二軸部（134），所述第一軸部（133）位于所述第一帶輪（131）和所述第二帶輪（132）之間，且同軸設置，所述第一軸部（133）與所述第一帶輪（131）的內(nèi)周圍設形成有用于容納所述轉(zhuǎn)接體（4273）的安裝空間（136）；所述第二軸部（134）位于所述第二帶輪（132）的頂部，且同軸設置。
11.根據(jù)權利要求10所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，所述二級帶輪（13）上還設置有軸承部（135），所述軸承部（135）包括：
12.一種晶圓裝載系統(tǒng)，包括如權利要求1-11任意一項所述的一種機械手驅(qū)動結(jié)構，其特征在于，還包括：