技術總結
本發明涉及一種用于燃料電池金屬雙極板的臥式磁控濺射系統及鍍膜工藝，所述的臥式磁控濺射系統包括真空鍍膜腔室機構：包括順次連接的三個腔室：第一鍍膜腔室、過渡腔室和第二鍍膜腔室；陰極及磁控濺射靶機構：包括設置在第一鍍膜腔室和第二鍍膜腔室內多對陰極/磁控濺射靶；分立流量監測充氣機構；轉架機構：包括設置有放置待鍍膜工件的工件架的轉架，用于驅動轉架在真空鍍膜腔室機構內移動的傳動組件，以及驅動轉架在鍍膜時轉動的轉動動力組件。傳動組件可以為齒輪組件傳動、摩擦式傳動或撥桿式傳動，主要實現轉架沿腔室的直線流水線運動。與現有技術相比，本發明充分保證了在較大范圍內的鍍膜均勻性，制備的膜層致密均勻，生產效率高等。

技術研發人員：來新民;張頔;畢飛飛;易培云;彭林法
受保護的技術使用者：上海交通大學
文檔號碼：201611007030
技術研發日：2016.11.16
技術公布日：2017.05.10