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一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法與流程

文檔序號(hào):11900393閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:包括如下步驟:

步驟1:在銅箔上采用磁控濺射制備一定厚度的結(jié)晶態(tài)ITO薄膜;

步驟2:采用噴涂技術(shù)在ITO薄膜的表面噴涂一定厚度的AB膠;

步驟3:將噴涂了AB膠的面與PET薄通過(guò)輥壓方式貼合;

步驟4:將貼合后的膜放置在一定溫度的加熱臺(tái)上烘烤一定時(shí)間,使AB膠固化;

步驟5:放入硝酸鐵溶液將銅箔刻蝕;

步驟6:用去離子水超聲清洗3次~4次,然后烘干。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:步驟1中所述銅箔的厚度為16μm~30μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:步驟1中所述的結(jié)晶態(tài)的ITO薄膜是指XRD測(cè)試結(jié)果具有222或400主晶相的結(jié)晶態(tài)薄膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:步驟1中所述磁控濺射包括直流磁控濺射和射頻磁控濺射,其濺射的工藝為:背底真空度為8.0×10-4Pa,濺射氣壓為0.5Pa~3Pa,氧氣體積比含量為0.5%~20%,襯底加熱溫度為350℃~500℃,靶基距為8cm~10cm,濺射功率為50W~200W。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:步驟1中所述一定厚度是控制ITO薄膜的厚度為100nm~800nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:步驟2中所述一定厚度AB膠是控制其膠厚度為5μm~20μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:步驟4中所述一定溫度為75℃~80℃,所述一定時(shí)間為30分鐘~120分鐘。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:步驟5中所述硝酸鐵溶液的重量百分比濃度為10%,所述刻蝕的時(shí)間為2小時(shí)~10小時(shí)。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種轉(zhuǎn)移ITO薄膜的方法,其特征在于:所述AB膠是由環(huán)氧樹脂為基的雙組分耐高溫膠粘劑,為市售產(chǎn)品。

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