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一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板的制作方法與工藝

文檔序號:11774438閱讀:來源:國知局
一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板的制作方法與工藝

技術特征:
1.一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板包括底板,所述底板包括ITO面和連接面,所述底板上設有貫穿ITO面和連接面的蒸鍍孔,在所述連接面上設有至少一層掩模板層,各掩模板層設有開口,掩模板層的開口的尺寸隨著掩模板層與底板的距離擴大而擴大,所述蒸鍍孔與各掩模板層的開口相連通形成階梯形通孔,與ITO面距離最遠的掩模板層的平面為蒸鍍面,所述蒸鍍面上設有的納米層,所述蒸鍍孔的尺寸小于所述掩模板層的開口的尺寸。2.根據權利要求1所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板包括蒸鍍區和定位區,所述蒸鍍孔和所述階梯形通孔設在所述蒸鍍區內,所述定位區內設有定位孔。3.根據權利要求2所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述階梯形通孔的內壁設有所述納米層。4.根據權利要求2所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述ITO面設有所述納米層。5.根據權利要求2所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板采用不銹鋼、因瓦合金、純鎳或鎳合金材料制成。6.根據權利要求2所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述階梯形通孔在所述蒸鍍區上均勻設置多個,所述階梯形通孔之間設有連接部。7.根據權利要求1至6任一所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板層采用蝕刻或電鑄或激光切割工藝制備。8.根據權利要求7所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述納米層為碳化鈦膜。9.根據權利要求7所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述納米層為氮化鈦膜。10.根據權利要求7所述的一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,其特征在于,所述納米層為氮化鉻膜。
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