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一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板的制作方法與工藝

文檔序號:11774438閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開一種用于蒸鍍OLED顯示面板的掩模板,所述掩模板包括底板,所述底板包括ITO面和連接面,所述底板上設有貫穿ITO面和連接面的蒸鍍孔,在所述連接面上設有至少一層掩模板層,各掩模板層設有開口,掩模板層的開口的尺寸隨著掩模板層與底板的距離擴大而擴大,所述蒸鍍孔與各掩模板層的開口相連通形成階梯形通孔,與ITO面距離最遠的掩模板層的平面為蒸鍍面,所述蒸鍍面上設有的納米層,所述蒸鍍孔的尺寸小于所述掩模板層的開口的尺寸,這樣可以非常方便的將底板和掩模板層做的更薄,多層掩模板層疊加可以非常好的保證掩模板的強度,如此在保證蒸鍍孔的具有較小高寬比的前提下,進一步將蒸鍍孔的寬度尺寸做的更小。

技術研發人員:陳孟財
受保護的技術使用者:光宏光電技術(深圳)有限公司
文檔號碼:201620553624
技術研發日:2016.06.07
技術公布日:2016.11.16

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