技術特征：

1.一種沉積類金剛石薄膜裝置，包括真空室（5）、工件臺（7）和真空系統（8），其特征是：在真空室（5）的上部設有與真空室（5）連接的真空系統（8），在真空室（5）內設有工件臺（7），在真空室（5）的外部兩側分別設有矩形平面弧石墨靶（3）與矩形平面弧鉻靶（4），在真空室（5）的頂部兩側分別設有柱狀弧源清洗裝置（1）與柱狀弧靶（2），在真空室（5）上、柱狀弧靶（2）的一側設有加熱系統（6）。