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一種碳化硅復合包殼管的制備方法與流程

文檔序號:11100442閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種碳化硅復合包殼管的制備方法,其特征在于,該方法包括如下步驟:

步驟1,將高溫裂解后的SiC復合材料包殼管掛置于真空加熱爐內;

步驟2,在20Pa以內的真空狀態下加熱,并通入三氯甲基硅烷、氬氣、氫氣的混合氣體,保持一定溫度開始沉積;

步驟3,沉積結束后,取出SiC復合材料包殼管,重復步驟1~步驟2,進行多次沉積,以獲得不同厚度沉積層的碳化硅復合包殼管。

2.根據權利要求1所述的一種碳化硅復合包殼管的制備方法,其特征在于,所述步驟2中,通入三氯甲基硅烷流量100mL/min~5000mL/min,氬氣流量2L/min~6L/min,氫氣流量1L/min~6L/min。

3.根據權利要求1所述的一種碳化硅復合包殼管的制備方法,其特征在于,所述步驟2中,氣相沉積溫度1000℃~1200℃,氣相沉積時間6h~60h。

4.根據權利要求1所述的一種碳化硅復合包殼管的制備方法,其特征在于,所述步驟3中不同厚度沉積層的碳化硅復合包殼管,沉積層厚為50~200μm。

5.根據權利要求1所述的一種碳化硅復合包殼管的制備方法,其特征在于,所述步驟1中高溫裂解后的SiC復合材料包殼管具體為:將SiC復合纖維纏繞形成的包殼預制件放置于高溫燒結爐中,氬氣氣氛下,1000~1600℃保溫1~2h,使SiC纖維纏繞后的包殼預制件發生裂解反應。

6.根據權利要求1所述的一種碳化硅復合包殼管的制備方法,其特征在于,所制備的碳化硅復合包殼管的直徑為Φ6mm~Φ40mm,壁厚為0.5mm~5mm,長度為100mm~4000mm。

7.根據權利要求1所述的一種碳化硅復合包殼管的制備方法,其特征在于,所制備的碳化硅復合包殼管的致密度達到85%T.D以上。

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