本技術屬于晶圓，具體涉及一種移動式晶圓清洗檢測裝置。

背景技術：

1、晶圓清洗是半導體制造過程中的一個關鍵步驟，旨在去除晶圓表面及側面與背面附著的污染物，如有機物、粒子及金屬等，以確保晶圓的純凈度和良品率，為了確保晶圓清洗是否符合標準，需要對清洗后的晶圓進行檢測，而晶圓表面的雜質粒子肉眼無法觀察，需要激光式粒子檢測裝置進行檢測，激光粒度儀是激光式粒子檢測裝置之一，用于測量分析物體顆粒的大小和形狀，激光粒度儀采用激光散射原理，通過測量散射光強度和角度來確定粒子大小分布，當激光束通過粒子時，會發生散射現象，散射角度與粒子的大小成反比，將晶圓表面上的粒子位置和尺寸顯示為晶圓圖；

2、晶圓清洗后，人工將晶圓工件置于檢測平臺上，利用激光散射原理，通過粒子激光發射器發射激光束，散射光光電接收器接收散射光，檢測過程中需要手動改變晶圓件的位置，檢測過程較為復雜，不夠便捷，不能自動移動晶圓位置，使激光束射在晶圓上不同位置進行檢測；晶圓工件清洗后檢測時，存在沒有移動晶圓位置的設計的問題，為此本申請提出一種移動式晶圓清洗檢測裝置。

技術實現思路

1、本實用新型的目的在于提供一種移動式晶圓清洗檢測裝置，以解決上述背景技術中提出的晶圓工件清洗后檢測時，沒有移動晶圓位置的設計的問題。

2、為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種移動式晶圓清洗檢測裝置，包括檢測箱，所述檢測箱包括檢測箱體和抽拉盒、以及箱蓋，所述檢測箱體的內部設有調節氣缸，調節氣缸的端部設有與抽拉盒連接的連接板，抽拉盒的內部設有分體式的晶圓擺放板，檢測箱體對立的表面上設有移動滑臺氣缸，移動滑臺氣缸上設有移動桿，檢測箱體底端的內表面設有支撐軌，檢測箱體對立的內側壁上設有等距分布的散射光光電接收器，箱蓋內的表面上設有安裝板，安裝板上設有粒子激光發射器，檢測箱體一端內的邊角位置上設有激光傳感器，檢測箱體一端的表面上設有固定盒，固定盒上設有升降電推桿、連接桿和密封板，升降電推桿安裝在固定盒的內部，連接桿兩端分別與升降電推桿和密封板連接，密封板插入檢測箱體的內部。

3、優選的，所述檢測箱體表面設有供抽拉盒貫穿的矩形滑槽，所述抽拉盒與檢測箱體滑動連接，晶圓擺放板的底部表面與支撐軌的表層表面h齊平，檢測箱體的側面設有支板。

4、優選的，所述移動滑臺氣缸與支撐軌平行，移動桿垂直移動滑臺氣缸，移動桿的底部表面為彎曲形狀，移動桿底端與抽拉盒表面相切。

5、優選的，所述連接桿為“l”型結構，連接桿與固定盒滑動連接，密封板與檢測箱體滑動連接，檢測箱體側面設有出料口，檢測箱體邊側表面設有與密封板間隙配合的活動槽，出料口與活動槽連通。

6、優選的，所述檢測箱體對立的表面上分別設有等距分布的分隔板，分隔板垂直檢測箱體，分隔板與散射光光電接收器交替分布。

7、優選的，所述箱蓋上的粒子激光發射器依次標記為a粒子激光發射器、b粒子激光發射器、c粒子激光發射器和d粒子激光發射器，a粒子激光發射器和d粒子激光發射器對立，b粒子激光發射器、c粒子激光發射器錯位分布。

8、優選的，所述檢測箱體上的散射光光電接收器依次標記為a散射光光電接收器、b散射光光電接收器、c散射光光電接收器和d散射光光電接收器，a散射光光電接收器、b散射光光電接收器、c散射光光電接收器和d散射光光電接收器分別與a粒子激光發射器、b粒子激光發射器、c粒子激光發射器和d粒子激光發射器一一對應。

9、與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

10、本實用新型中，調節氣缸的作用下，抽拉盒進入檢測箱體內，移動滑臺氣缸的作用下，移動桿帶動晶圓擺放板緩慢移動，a粒子激光發射器發射的激光束射在晶圓擺放板表面上的晶圓件，有粒子時發出散光，分散的散光由對應的a散射光光電接收器接收，位置分布不同的粒子激光發射器照射晶圓件上不同的位置，能對其上不同位置進行檢測。

技術特征：

1.一種移動式晶圓清洗檢測裝置，包括檢測箱，其特征在于：所述檢測箱包括檢測箱體(1)和抽拉盒(2)、以及箱蓋(3)，所述檢測箱體(1)的內部設有調節氣缸(5)，調節氣缸(5)的端部設有與抽拉盒(2)連接的連接板(51)，抽拉盒(2)的內部設有分體式的晶圓擺放板(21)，檢測箱體(1)對立的表面上設有移動滑臺氣缸(7)，移動滑臺氣缸(7)上設有移動桿(71)，檢測箱體(1)底端的內表面設有支撐軌(6)，檢測箱體(1)對立的內側壁上設有等距分布的散射光光電接收器(8)，箱蓋(3)內的表面上設有安裝板(31)，安裝板(31)上設有粒子激光發射器(4)，檢測箱體(1)一端內的邊角位置上設有激光傳感器(13)，檢測箱體(1)一端的表面上設有固定盒(9)，固定盒(9)上設有升降電推桿(101)、連接桿(102)和密封板(103)，升降電推桿(101)安裝在固定盒(9)的內部，連接桿(102)兩端分別與升降電推桿(101)和密封板(103)連接，密封板(103)插入檢測箱體(1)的內部。

2.根據權利要求1所述的一種移動式晶圓清洗檢測裝置，其特征在于：所述檢測箱體(1)表面設有供抽拉盒(2)貫穿的矩形滑槽，所述抽拉盒(2)與檢測箱體(1)滑動連接，晶圓擺放板(21)的底部表面與支撐軌(6)的表層表面h齊平，檢測箱體(1)的側面設有支板(11)。

3.根據權利要求1所述的一種移動式晶圓清洗檢測裝置，其特征在于：所述移動滑臺氣缸(7)與支撐軌(6)平行，移動桿(71)垂直移動滑臺氣缸(7)，移動桿(71)的底部表面為彎曲形狀，移動桿(71)底端與抽拉盒(2)表面相切。

4.根據權利要求1所述的一種移動式晶圓清洗檢測裝置，其特征在于：所述連接桿(102)為“l”型結構，連接桿(102)與固定盒(9)滑動連接，密封板(103)與檢測箱體(1)滑動連接，檢測箱體(1)側面設有出料口，檢測箱體(1)邊側表面設有與密封板(103)間隙配合的活動槽，出料口與活動槽連通。

5.根據權利要求1所述的一種移動式晶圓清洗檢測裝置，其特征在于：所述檢測箱體(1)對立的表面上分別設有等距分布的分隔板(12)，分隔板(12)垂直檢測箱體(1)，分隔板(12)與散射光光電接收器(8)交替分布。

6.根據權利要求1所述的一種移動式晶圓清洗檢測裝置，其特征在于：所述箱蓋(3)上的粒子激光發射器(4)依次標記為a粒子激光發射器(4)、b粒子激光發射器(4)、c粒子激光發射器(4)和d粒子激光發射器(4)，a粒子激光發射器(4)和d粒子激光發射器(4)對立，b粒子激光發射器(4)、c粒子激光發射器(4)錯位分布。

7.根據權利要求6所述的一種移動式晶圓清洗檢測裝置，其特征在于：所述檢測箱體(1)上的散射光光電接收器(8)依次標記為a散射光光電接收器(8)、b散射光光電接收器(8)、c散射光光電接收器(8)和d散射光光電接收器(8)，a散射光光電接收器(8)、b散射光光電接收器(8)、c散射光光電接收器(8)和d散射光光電接收器(8)分別與a粒子激光發射器(4)、b粒子激光發射器(4)、c粒子激光發射器(4)和d粒子激光發射器(4)一一對應。

技術總結
本技術公開了一種移動式晶圓清洗檢測裝置，包括檢測箱，所述檢測箱包括檢測箱體和抽拉盒、以及箱蓋，所述檢測箱體的內部設有調節氣缸，調節氣缸的端部設有與抽拉盒連接的連接板，抽拉盒的內部設有分體式的晶圓擺放板，檢測箱體對立的表面上設有移動滑臺氣缸，移動滑臺氣缸上設有移動桿，檢測箱體底端的內表面設有支撐軌；調節氣缸的作用下，抽拉盒進入檢測箱體內，移動滑臺氣缸的作用下，移動桿帶動晶圓擺放板緩慢移動，A粒子激光發射器發射的激光束射在晶圓擺放板表面上的晶圓件，有粒子時發出散光，分散的散光由對應的a散射光光電接收器接收，位置分布不同的粒子激光發射器照射晶圓件上不同的位置，能對其上不同位置進行檢測。

技術研發人員：王宜,王瑜,王嘉瑋
受保護的技術使用者：無錫瑞達半導體專用設備有限公司
技術研發日：20240722
技術公布日：2025/4/28