所公開的技術的各種實施方式涉及一種圖像感測裝置，并且更具體地，涉及一種能夠減少光學損失的圖像感測裝置。

背景技術：

1、圖像感測裝置是指捕獲光學圖像并將其轉換為電信號的半導體裝置。隨著汽車、醫療、計算機和電信產業的發展，在諸如智能電話、數碼相機、游戲裝置、物聯網、機器人、安防攝像頭、醫用微型相機之類的各種裝置中對高性能圖像感測裝置的需求不斷增加。

2、最常見類型的圖像感測裝置是電荷耦合器件(ccd)圖像感測裝置和互補金屬氧化物半導體(cmos)圖像感測裝置。

技術實現思路

1、所公開的技術可以在一些實施方式中實現以提供一種能夠通過在內隔離區域中形成不具有吸光材料的空氣柵格來減少光學損失的圖像感測裝置。

2、一個實施方式是一種圖像感測裝置，其包括：像素陣列，其包括多個單位像素，像素陣列中的單位像素可以包括多個子像素，第一隔離區域可以設置在子像素的邊緣區域中，第二隔離區域可以從第一隔離區域延伸到子像素的中央部分，第二隔離區域可以包括：第一內隔離區域，其沿從第一隔離區域的一個區域到子像素的中央部分的第一方向突出；以及第二內隔離區域，其與第一內隔離區域形成在同一條直線上，并且沿從第一隔離區域的另一區域到子像素的中央部分的第二方向突出，第一柵格可以形成在位于第一內隔離區域與第二內隔離區域之間的區域之上的上部區域中，并且第一柵格可以包括空氣層。

3、子像素可以包括：第一內隔離區域；第二內隔離區域；濾色器，其形成在第一內隔離區域和第二內隔離區域上方；以及微透鏡，其形成在濾色器上方，并且第一柵格可以形成在濾色器的中央區域中。

4、光電二極管可以設置在第一柵格下方。

5、第二柵格可以設置在第一隔離區域的至少一個區域上方。

6、第一柵格可以具有設置在第一柵格的上部中的傾斜部分，傾斜部分與第一柵格的下部相比更靠近微透鏡。

7、第二內隔離區域可以形成在與第一內隔離區域間隔開一定空間的位置。

8、第一柵格可以設置在第二柵格的一側和第二柵格的另一側之間。

9、第一柵格的至少一個區域可以設置為與第一內隔離區域的上部區域和第二內隔離區域的上部區域交疊。

10、空氣層可以是沒有吸收可見光的吸光材料的區域。

11、另一實施方式是一種圖像感測裝置，其包括：像素陣列，其包括多個單位像素，像素陣列中的單位像素可以包括多個子像素，第一隔離區域可以設置在子像素的邊緣區域中，第二隔離區域可以從第一隔離區域延伸到子像素的中央部分，第二隔離區域可以包括：第一內隔離區域，其沿從第一隔離區域到子像素的中央部分的第一方向突出；第二內隔離區域，其與第一內隔離區域形成在同一條直線上，并且沿從第一隔離區域到子像素的中央部分的第二方向突出，第二內隔離區域設置為面向第一內隔離區域；第三內隔離區域，其沿從第一隔離區域到子像素的中央部分的第三方向突出，第三方向與第一方向垂直；以及第四內隔離區域，其與第三內隔離區域形成在同一條直線上，并且沿從第一隔離區域到子像素的中央部分的第四方向突出，第四內隔離區域設置為面向第三內隔離區域，第一柵格可以形成在位于第一內隔離區域和第二內隔離區域之間的區域之上的第一上部區域中并且形成在位于第三內隔離區域和第四內隔離區域之間的區域之上的第二上部區域中，并且第一柵格可以包括空氣層。

12、子像素可以包括：第一內隔離區域；第二內隔離區域；第三內隔離區域；第四內隔離區域；濾色器，其形成在第一內隔離區域、第二內隔離區域、第三內隔離區域和第四內隔離區域上方；以及微透鏡，其形成在濾色器上方，并且第一柵格可以形成在濾色器的中央部分中。

13、光電二極管可以形成在第一柵格下方。

14、第二柵格可以設置在第一隔離區域的至少一個區域上方。

15、第二內隔離區域可以與第一內隔離區域間隔開一定空間。

16、第三內隔離區域可以與第四內隔離區域間隔開一定空間。

17、第二柵格可以形成在第一柵格的兩側。

18、第一柵格可以通過具有沿四個不同方向延伸的四個部分而形成為十字形狀。

19、第一柵格的至少一個區域可以形成為與第一內隔離區域、第二內隔離區域、第三內隔離區域和第四內隔離區域交疊。

20、空氣層可以沒有吸收可見光的吸光材料。

技術特征：

1.一種圖像感測裝置，所述圖像感測裝置包括：

2.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，

3.根據權利要求2所述的圖像感測裝置，

4.根據權利要求2所述的圖像感測裝置，

5.根據權利要求2所述的圖像感測裝置，

6.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，

7.根據權利要求2所述的圖像感測裝置，

8.根據權利要求2所述的圖像感測裝置，

9.根據權利要求1所述的圖像感測裝置，其中，所述空氣層是沒有吸收可見光的吸光材料的區域。

10.一種圖像感測裝置，所述圖像感測裝置包括：

11.根據權利要求10所述的圖像感測裝置，

12.根據權利要求11所述的圖像感測裝置，

13.根據權利要求11所述的圖像感測裝置，所述圖像感測裝置還包括：

14.根據權利要求10所述的圖像感測裝置，

15.根據權利要求10所述的圖像感測裝置，

16.根據權利要求11所述的圖像感測裝置，所述圖像感測裝置還包括：

17.根據權利要求16所述的圖像感測裝置，

18.根據權利要求11所述的圖像感測裝置，

19.根據權利要求11所述的圖像感測裝置，其中，所述空氣層沒有吸收可見光的吸光材料。

技術總結
公開了一種圖像感測裝置，其包括：包括多個單位像素的像素陣列，像素陣列中的單位像素可以包括多個子像素，第一隔離區域可以設置在子像素的邊緣區域中，第二隔離區域可以從第一隔離區域延伸到子像素的中央部分，第二隔離區域可以包括：第一內隔離區域，其沿從第一隔離區域的一個區域到子像素的中央部分的第一方向突出；以及第二內隔離區域，其與第一內隔離區域形成在同一條直線上，并且沿從第一隔離區域的另一區域到子像素的中央部分的第二方向突出，第一柵格可以形成在位于第一內隔離區域與第二內隔離區域之間的區域之上的上部區域中，并且第一柵格可以包括空氣層。

技術研發人員：曹成旭
受保護的技術使用者：愛思開海力士有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28