本技術涉及顯示,特別是涉及一種顯示面板的制備方法、顯示面板和顯示裝置。
背景技術:
1、隨著社會的發展與科技的進步,智能終端設備和可穿戴設備的技術發展越來越快,對于平板顯示的要求也逐漸提高。oled(organic?light?emitting?diode,有機發光二極管)具有制備工藝簡單、可彎曲、柔韌性佳的優點,被廣泛的應用于手機、平板電腦等智能終端產品中。
2、但目前的oled顯示產品的使用性能有待提升。
技術實現思路
1、基于此,有必要針對上述技術問題,提供一種能夠解決能夠提升顯示產品的使用性能的顯示面板的制備方法、顯示面板和顯示裝置。
2、第一方面,本技術一個實施例提供一種顯示面板的制備方法,該制備方法包括:
3、于基板上形成像素界定材料層;
4、對所述像素界定材料層進行第一圖案化處理,以形成設有第一隔離開口和多個像素開口的像素界定層;所述第一隔離開口具有沿所述基板厚度方向設置的第一隔離子開口和第二隔離子開口,所述第一隔離子開口位于所述第二隔離子開口靠近所述基板的一側,所述第二隔離子開口在所述基板上的正投影位于所述第一隔離子開口在所述基板上的正投影內;
5、于所述基板的一側形成多個發光部。
6、在其中一個實施例中,像素界定材料層包括層疊的第一像素界定材料層和第二像素界定材料層,對所述像素界定材料層進行第一圖案化處理,以形成設有第一隔離開口和多個像素開口的像素界定層,包括:
7、對第一像素界定材料層和第二像素界定材料層進行第二圖案化處理,以形成設有第二隔離開口和所述多個像素開口和像素界定中間材料層;至少部分相鄰的兩個像素開口之間設有第二隔離開口;
8、對像素界定中間材料層朝向第二隔離開口的側壁進行刻蝕,以形成包括第一隔離開口的第一界定層和第二界定層。
9、在其中一個實施例中,在于基板上形成像素界定材料層之前,制備方法包括:
10、于基板的一側形成多個第一電極;多個第一電極位于發光部靠近基板的一側,至少部分相鄰的兩個第一電極之間設有第二隔離開口。
11、在其中一個實施例中,對第一像素界定材料層和第二像素界定材料層進行第二圖案化處理,以形成設有第二隔離開口和多個像素開口的像素界定中間材料層,包括:
12、利用第一刻蝕方法對第一像素界定材料層和第二像素界定材料層進行刻蝕,以使在多個第一電極遠離基板的一側形成設有第二隔離開口和多個像素開口的像素界定中間材料層;第二隔離開口設于至少部分相鄰的兩個像素開口之間;
13、可選地,第一刻蝕方法的工藝氣體包括含氟氣體。
14、在其中一個實施例中,對像素界定中間材料層朝向第二隔離開口的側壁進行刻蝕,包括:
15、利用第二刻蝕方法對像素界定中間材料層朝向第二隔離開口的側壁進行刻蝕;
16、其中,在預設刻蝕條件下,第二刻蝕方法對第一像素界定材料層的刻蝕速率大于對第二像素界定材料層的刻蝕速率;
17、可選地,第二刻蝕方法的工藝氣體包括氧氣。
18、在其中一個實施例中,利用第一刻蝕方法對第一像素界定材料層和第二像素界定材料層進行刻蝕,包括:
19、于第二像素界定材料層遠離基板的一側形成第一光刻膠,并利用第一刻蝕方法對第一像素界定材料層和第二像素界定材料層進行曝光顯影刻蝕。
20、在其中一個實施例中,在對像素界定中間材料層朝向第二隔離開口的側壁進行刻蝕之前,制備方法包括:
21、在第二像素界定材料層遠離基板的一側形成第二光刻膠,并曝光顯影,以露出第二隔離開口。
22、在其中一個實施例中,發光部還包括第一發光部和第二發光部,于基板的一側形成多個發光部,包括:
23、于基板的一側形成多個第一發光部;至少部分第一發光部一一對應地設于多個像素開口中的多個第一像素開口;
24、于第一發光部上形成疊層的第一犧牲材料層和第二犧牲材料層;
25、于基板的一側形成多個第二發光部;至少部分第二發光部一一對應地設于多個像素開口中的多個第二像素開口;
26、可選地,多個發光部還包括多個第三發光部;
27、于基板的一側形成多個第二發光部之后,制備方法還包括:
28、于第二發光部上形成疊層的第三犧牲材料層和第四犧牲材料層;
29、于基板的一側形成多個第三發光部;至少部分第三發光部一一對應地設于多個像素開口中的多個第三像素開口;
30、于第三發光部上形成疊層的第五犧牲材料層和第六犧牲材料層;
31、可選地,在于所述第三發光部上形成疊層的第五犧牲材料層和第六犧牲材料層之后,制備方法還包括:
32、于多個發光部遠離基板的一側形成隔離材料層;
33、對隔離材料層進行第三圖案化處理,以形成隔離層;隔離層覆蓋第一隔離開口,且露出多個像素開口;
34、可選地,在對隔離材料層進行第三圖案化處理,以形成隔離層之后,制備方法還包括:
35、對第一犧牲材料層、第二犧牲材料層、第三犧牲材料層、第四犧牲材料層、第五犧牲材料層和第六犧牲材料層進行第四圖案化處理,以形成第一發光部對應的犧牲層,第二發光部對應的犧牲層和第三發光部對應的犧牲層;
36、第一發光部對應的犧牲層位于第一發光部的第一部分遠離基板的一側,第一發光部的第一部分位于所述像素界定層遠離所述基板的一側;所述第二發光部對應的犧牲層位于所述第二發光部的第一部分遠離基板的一側,第二發光部的第一部分位于像素界定層遠離基板的一側;第三發光部對應的犧牲層位于第三發光部的第一部分遠離基板的一側,第三發光部的第一部分位于像素界定層遠離基板的一側。
37、在其中一個實施例中,于基板的一側形成多個發光部之后,制備方法包括:
38、于多個發光部遠離基板的一側形成第二電極;
39、于第二電極遠離基板的一側形成封裝結構;
40、可選地,在于多個發光部遠離基板的一側形成第二電極之前,制備方法還包括;
41、于多個發光部遠離基板的一側形成共同層。
42、第二方面,本技術一個實施例提供一種顯示面板,包括:
43、基板;
44、像素界定層,設于基板的一側;像素界定層設有第一隔離開口和多個像素開口,第一隔離開口具有沿基板厚度方向設置的第一隔離子開口和第二隔離子開口,第一隔離子開口位于第二隔離子開口靠近基板的一側,第二隔離子開口在基板上的正投影位于第一隔離子開口在基板上的正投影內;
45、多個發光部,至少部分發光部分別設于對應的像素開口內。
46、在其中一個實施例中,像素界定層包括第一界定層和第二界定層,第一界定層設有第一隔離子開口,第二界定層設有第二隔離子開口;
47、可選地,在預設刻蝕條件下,對第一隔離開口處的第一界定層的材料的刻蝕速率大于對第二界定層的材料的刻蝕速率。
48、在其中一個實施例中,顯示面板還包括:
49、多個第一電極,設于發光部靠近基板的一側,至少部分相鄰的兩個第一電極之間設有第一隔離開口。
50、在其中一個實施例中,每一個像素開口的外圍均圍設有第一隔離開口;
51、可選地,第一隔離開口在基板上的正投影為環狀;
52、可選地,多個第一隔離開口相互連通且在基板上的正投影形成網格狀。
53、在其中一個實施例中,第一界定層的材質為有機材料,第二界定層的材質為無機材料;
54、可選地,第一界定層的材質包括光敏聚酰亞胺,第二界定層的材質包括氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。
55、在其中一個實施例中,像素開口具有沿基板厚度方向設置的第一子像素開口和第二子像素開口,第一子像素開口位于第二子像素開口靠近基板的一側;第一子像素開口在基板上的正投影位于第二子像素開口在基板上的正投影范圍內;
56、可選地,第一界定層朝向像素開口一側的表面和第一界定層朝向基板一側的底面形成第一夾角,第一夾角呈銳角;
57、可選地,第二界定層朝向像素開口一側的表面和第二界定層朝向基板一側的底面形成第二夾角,第二夾角呈銳角;
58、可選地,像素開口的沿基板厚度方向的截面呈倒梯形。
59、在其中一個實施例中,顯示面板還包括犧牲層,發光部包括位于像素界定層遠離基板一側的第一部分和位于像素開口內的第二部分,沿基板厚度方向,犧牲層位于發光部的第一部分遠離基板一側。
60、可選地,犧牲層設有第一開口和第二開口,第一開口與像素開口對應設置,第二開口與第一隔離開口連通;
61、可選地,犧牲層包括第一子犧牲層和第二子犧牲層,第一子犧牲層位于第二子犧牲層靠近基板的一側。
62、在其中一個實施例中,顯示面板還包括:
63、隔離層,填充于第一隔離開口,且露出所述多個像素開口;
64、第二電極,第二電極連續覆蓋多個發光部,并沿發光部遠離基板的一側的表面延伸至隔離層遠離基板的一側的表面;
65、可選地,顯示面板還包括封裝結構,封裝結構設于第二電極遠離基板的一側;
66、可選地,隔離層包括填充部和頂部,填充部位于頂部靠近基板的一側,填充部在基板上的正投影位于頂部在基板上的正投影范圍內;
67、可選地,頂部的沿基板厚度方向的截面呈正梯形;
68、可選地,顯示面板還包括共同層,設于多個發光部遠離基板的一側;
69、可選地,隔離層的材料為有機絕緣材料。
70、第三方面,本技術一個實施例還提供一種顯示裝置,包括由如上述第一方面提供的顯示面板的制備方法制備得到的顯示面板,或如上述第二方面提供的顯示面板。
71、本技術實施例提供一種顯示面板的制備方法、顯示面板和顯示裝置,通過在基板上形成像素界定材料層;對像素界定材料層進行第一圖案化處理,以形成設有第一隔離開和多個像素開口的像素界定層;第一隔離開口具有沿基板厚度方向設置的第一隔離子開口和第二隔離子開口,第一隔離子開口位于第二隔離子開口靠近基板的一側,第二隔離子開口在基板上的正投影位于第一隔離子開口在基板上的正投影內。這樣的第一隔離開口能夠更好的防止與該第一隔離開口相鄰的兩個發光部之間橫向電流的串擾,從而能夠提高顯示面板的顯示效果,進而能夠提升包括該顯示面板的顯示產品的使用性能。