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磁控濺射陰極座的磁場移動調節裝置及真空鍍膜設備的制作方法

文檔序號:12430833閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種磁控濺射陰極座的磁場移動調節裝置,其特征在于,所述磁場移動調節裝置包括:法蘭座、驅動螺桿、調節手輪、導向軸、直線軸承以及安裝板;

所述法蘭座為至少兩個,所述驅動螺桿一端安裝有法蘭座,所述調節手輪螺接于所述驅動螺桿上,且所述調節手輪樞轉安裝于所述安裝板上,所述導向軸與所述驅動螺桿間隔且平行設置,所述導向軸一端安裝有法蘭座,所述導向軸通過直線軸承滑動地安裝于所述安裝板上。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場移動調節裝置,其特征在于,所述驅動螺桿的端部具有尺寸刻度。

3.根據權利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場移動調節裝置,其特征在于,所述導向軸的數量為兩個,兩個導向軸對稱分布于所述驅動螺桿的兩側,兩個導向軸的端部分別安裝有法蘭座。

4.根據權利要求1所述的磁控濺射陰極座的磁場移動調節裝置,其特征在于,所述法蘭座為絕緣法蘭座。

5.一種真空鍍膜設備,其特征在于,所述真空鍍膜設備包括:水冷座、安裝底座、磁鐵、導磁體以及如權利要求1~4任一項所述的磁場移動調節裝置;

所述磁場移動調節裝置通過安裝底座固定安裝于所述水冷座上,所述磁鐵和導磁體相互連接形成一整體,所述磁場移動調節裝置通過所述法蘭座與所述磁鐵和導磁體形成的整體固定連接。

6.根據權利要求5所述的真空鍍膜設備,其特征在于,所述安裝底座與所述磁場移動調節裝置之間還設置有絕緣板。

7.根據權利要求5所述的真空鍍膜設備,其特征在于,所述磁鐵為若干個,若干個磁鐵并排設置,且并排設置的若干個磁鐵位于所述導磁體之間。

8.根據權利要求5所述的真空鍍膜設備,其特征在于,所述磁場移動調節裝置通過所述法蘭座與所述導磁體進行固定連接。

9.根據權利要求5所述的真空鍍膜設備,其特征在于,所述真空鍍膜設備還包括電源,所述電源與所述導磁體電性連接。

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