專利名稱：用于容納基板的箱盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及箱盒，具體涉及傳送和保管基板時用于防止基板受到污染的、用于容納基板的箱盒。
背景技術(shù)：
通常，如有機發(fā)光顯示裝置(Organic light emitting display device,簡稱為OLED)或者液晶顯示面板(Liquid crystal display,簡稱為LCD)等平板顯示裝置(Flatdisplay device)為了便于制造而使用母體玻璃(Mother glass)。在制造平板顯示裝置時，為了傳送(receiving/transferring)或者保管多張母 體玻璃，會使用用于容納基板的箱盒。用于容納基板的箱盒提供了容納如多張母體玻璃等基板的空間。通常，雖然在用于制造平板顯示裝置的潔凈室確保有用于潔凈空氣的設(shè)施，但是經(jīng)常發(fā)生下述的情況，即，隨作業(yè)人員進入的或者在潔凈室內(nèi)浮游的異物滲透至開放的用于容納基板的箱盒內(nèi)部空間，并附著在母體玻璃表面。由此，可以預(yù)見到平板顯示裝置質(zhì)量的劣化。從而，有必要密封用于容納基板的箱盒內(nèi)部。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供用于容納基板的箱盒，使得所述用于容納基板的箱盒通過選擇性地完全密封用于容納多張基板的箱盒內(nèi)部空間來提供去除污染源。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例的用于容納基板的箱盒包括容納多個基板的箱盒本體；使所述箱盒本體選擇性地密封的門；形成于所述門上，并且與所述箱盒本體銷結(jié)合的銷單元；以及根據(jù)所述銷單元的移動而結(jié)合所述箱盒本體與門的磁性部。在一實施例中，所述箱盒本體通過多個框架的互相連接而形成箱型骨架結(jié)構(gòu)，在所述框架上結(jié)合有蓋板。在一實施例中，在所述箱盒本體的內(nèi)部排列有對以垂直方向?qū)盈B的多個基板予以支撐的多個支撐部，并且從所述箱盒本體的后方向箱盒本體前方的開放區(qū)側(cè)橫穿內(nèi)部空間而得以延伸，所述箱盒本體的相対的兩個側(cè)部設(shè)置有安裝部，所述安裝部支撐所述基板的左右邊緣，并且從多個框架向箱盒本體的內(nèi)部空間突出。在一實施例中，在所述箱盒本體的后方，支撐所述基板的后方邊緣的后阻擋物與所述框架連接。在一實施例中，沿著與所述箱盒本體的開放區(qū)相對的門的邊緣還形成有密封部件。在一實施例中，所述銷單元包括具有向水平方向或者垂直方向移動的移動柄的移動部；與所述移動部結(jié)合的齒輪部；使所述齒輪部轉(zhuǎn)動的驅(qū)動杠桿；以及與所述移動部結(jié)合，并且形成有安全銷的銷導(dǎo)向部。在一實施例中，所述移動柄的下部形成有與所述齒輪部嚙合的齒條。
在一實施例中，所述銷導(dǎo)向部包括形成有銷導(dǎo)向孔的銷柄；插入到所述銷導(dǎo)向孔而進行移動的導(dǎo)向銷；以及與所述導(dǎo)向銷結(jié)合、并且與形成于箱盒本體的銷孔選擇性地結(jié)合的安全銷并進行移動。在一實施例中，所述銷導(dǎo)向孔被形成為沿著所述銷柄的長度方向貫通銷柄，并且被形成為對于所述銷柄的水平方向是傾斜的。在一實施例中，所述導(dǎo)向銷插入到所述銷導(dǎo)向孔中，使得其位置根據(jù)所述銷柄的移動而沿著所述銷導(dǎo)向孔傾斜的方向發(fā)生變化。在一實施例中，所述安全銷從所述銷柄的上部貫通所述銷柄，從而與所述導(dǎo)向銷
彡口口 在一實施例中，所述安全銷貫通所述銷柄的部分設(shè)置有圍繞所述安全銷的安全銷向?qū)А?在一實施例中，與所述安全銷向銷孔移動的部分對應(yīng)的框架上還設(shè)置有引導(dǎo)所述安全銷的移動的滑動導(dǎo)向件，所述滑動導(dǎo)向件形成有提供所述銷柄的移動通道的滑動導(dǎo)孔。在一實施例中，所述銷孔形成于與所述箱盒本體的框架結(jié)合的門導(dǎo)向塊中。在一實施例中，所述磁性部包括在所述移動柄的一面沿著所述移動柄的一方向設(shè)置的至少一個磁性體；以及設(shè)置于與所述箱盒本體的對應(yīng)的位置處，并且根據(jù)所述移動柄的移動而與所述磁性體選擇性地結(jié)合的導(dǎo)電板。在一實施例中，所述銷單元還設(shè)置有具有輔助移動柄的輔助移動部，所述輔助移動柄與向水平方向或者垂直方向移動的移動部同步，從而向垂直方向或者水平方向移動。在一實施例中，移動柄的端部還設(shè)置有防止與所述輔助移動柄之間的干擾的阻擋物。在一實施例中，在所述輔助移動柄的一面，根據(jù)所述輔助移動柄的一方向還設(shè)置有至少一個磁性體，在所述箱盒本體的對應(yīng)的位置處還設(shè)置有沿著所述輔助移動柄的移動而與所述磁性體選擇性地結(jié)合的導(dǎo)電板。在一實施例中，所述門的正面還形成有至少一個位置排列孔，所述位置排列孔中插入有選擇性地開閉所述箱盒本體與門的外部機構(gòu)的位置排列銷，從而排列外部機構(gòu)對所述門的位置。在一實施例中，所述門還形成有調(diào)節(jié)密封的箱盒本體內(nèi)部壓力的氣體過濾部。在一實施例中，還形成有至少一個滑動導(dǎo)向件，所述滑動導(dǎo)向件引導(dǎo)沿著與所述箱盒本體的開放區(qū)相對的門的外圍，柔韌地結(jié)合所述箱盒本體與門。在一實施例中，所述箱盒本體的上端部還設(shè)置有移動箱盒的OHT鉗(OverheadHoist Transport grip)。


圖I是在前方觀察根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于容納基板的箱盒被分離的狀態(tài)的立體圖；圖2是在后方觀察圖I的用于容納基板的箱盒被分離的狀態(tài)的立體圖；圖3是圖示圖I的門的立體圖4是圖示圖3的銷單元和磁性部的立體圖；圖5是將圖4銷單元的安全銷上升之前的狀態(tài)截取一部分并圖示的立體圖；圖6是將圖5銷單元的安全銷上升之后的狀態(tài)截取一部分并圖示的立體圖；圖7是圖示圖3的銷單元和磁性部的運行狀態(tài)的立體圖。
具體實施例方式本發(fā)明能夠有多種變形和多種實施例，附圖中示出了特定的實施例，并在具體實施方式
中進行詳細的說明。然而，這并不意味著將本發(fā)明限定在特定的實施方式中，應(yīng)理解為包括本發(fā)明的思想以及技術(shù)范圍內(nèi)的所有變更、等同物以及代替物。在本發(fā)明的說明中，若認為對相關(guān)公開技術(shù)的具體說明對本發(fā)明造成混淆時，將省略其詳細說明。
雖然第一、第二等術(shù)語可以用于說明多個組成要素，但所述組成要素不限于所述術(shù)語。使用所述術(shù)語的目的僅在于區(qū)別ー個組成要素與另ー個組成要素。在本說明書中所使用的用語僅用于說明特定的實施例，并不用于限定本發(fā)明。對于單數(shù)用語，如果在文字部分沒有明確地指代其它意思，則應(yīng)當包括多個的含義。在本說明書中，“包括”或“具有”等用語僅用于說明實施本發(fā)明時可以組合特征、數(shù)字、階段、步驟、組成要素、部件，并且不應(yīng)當理解為對增加特征、數(shù)字、階段、步驟、組成要素、部件的可能性予以排除。下面，參考附圖詳細說明根據(jù)本發(fā)明的用于容納基板的箱盒的實施例，在參考附圖進行說明時，對相同或者相對應(yīng)的組成要素給予相同的附圖標記，并省略對其的重復(fù)說明。圖I是在前方觀察根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于容納基板的箱盒100被分離的狀態(tài)的立體圖，圖2是在后方觀察圖I的用于容納基板的箱盒100被分離的狀態(tài)的立體圖，圖3是圖示圖I的門120的立體圖。如圖I至圖3所示，所述用于容納基板的箱盒100包括箱盒本體110、門120、銷單元(pin unit) 130以及磁性部140。所述箱盒本體110中，多個框架111互相連接，從而構(gòu)成箱型骨架結(jié)構(gòu)。在所述箱盒本體Iio的至少一面形成有開放區(qū)112，從而能夠提供用于容納多張如母體玻璃等基板210的通道。優(yōu)選地，所述框架111由剛度優(yōu)異的金屬材料形成。在所述框架111的外部結(jié)合有蓋板(cover plate) 113。在構(gòu)成骨架結(jié)構(gòu)的姆一面分別設(shè)置有ー張所述蓋板113，或者可以設(shè)置有多個所述蓋板113以便覆蓋由所述框架111互相連接而成的各個區(qū)域。所述蓋板113的結(jié)合方式有通過在所述框架111形成槽從而以插入的方式得以結(jié)合，或者在所述框架111的正面或者背面通過螺絲結(jié)合的方式等而得以結(jié)合等等，但并不限于某ー種結(jié)合方式。所述蓋板113從整體上覆蓋除所述開放區(qū)112之外的框架111外部。所述蓋板113可以采用如聚碳樹脂等高分子樹脂。所述箱盒本體110的內(nèi)部設(shè)置有對以垂直方向?qū)盈B的各個基板210給予支撐的支撐部114。所述支撐部114支撐大尺寸的基板210，使得大尺寸的基板210不會下垂。所述支撐部114以水平方向設(shè)置有至少ー個，支撐部114從所述箱盒本體110的后方向著箱盒本體110的前方、即向著開放區(qū)112橫穿內(nèi)部空間。所述支撐部114通過額外設(shè)置的支撐部件(未圖示)而與所述箱盒本體110的框架111結(jié)合。所述支撐部114是能夠支撐所述基板210的下表面的條狀物(strip)。另外，所述支撐部114在所述箱盒本體110的垂直方向上間隔地設(shè)置有多個。在所述箱盒本體110的相對的兩側(cè)設(shè)置有安裝部115。所述安裝部115是從相對設(shè)置的左右框架111向箱盒本體110的內(nèi)部空間突出的鎖定突起形狀。所述安裝部115支撐所述基板210的左右邊緣。所述安裝部115位于與所述支撐部114的高度相同的位置處。由此，當基板210向箱盒本體110內(nèi)裝入時，所述基板210的下表面被支撐部114所支撐。并且，所述基板210的兩個邊緣被安裝部115所支撐。從而，各個基板210安全地位于所述箱盒本體110的內(nèi)部空間中。所述箱盒本體110的后方設(shè)置有后阻擋物(back stopper) 116。所述后阻擋物116是以垂直方向設(shè)置的至少一個條狀物。所述后阻擋物116連接于箱盒本體110的后方框架 111。所述后阻擋物116支撐所述基板210的后方邊緣。所述后阻擋物116起到阻擋物的作用，使得所述基板210在箱盒本體110的內(nèi)部空間中不會進一步向箱盒本體110的后方移動。另外，所述框架111的下端面設(shè)置有襯墊(pad) 117，襯墊117具有能夠吸收當移動所述箱盒本體110時的外部沖擊的緩沖力。所述箱盒本體110的前方設(shè)置有門120。所述門120與開放區(qū)112選擇性地結(jié)合，開放區(qū)112提供使基板210得以容納的通道。由此，所述箱盒本體110能夠通過門120而得以敞開或者密封。在所述門120中，門框121互相連接，并且在所述門框121上結(jié)合有門板122。所述門120具有可完全地覆蓋所述開放區(qū)112的尺寸。其中，所述門120設(shè)置有與箱盒本體110實現(xiàn)銷結(jié)合的銷單元130 ;在所述箱盒本體110和門120設(shè)置有磁性部140，磁性部140根據(jù)所述銷單元130的移動而使門120選擇性地結(jié)合于所述箱盒本體110上。以下將進行進一步的詳細說明。圖4是圖示圖3的銷單元130和磁性部140的立體圖，圖5是將圖4銷單元130的安全銷上升之前的狀態(tài)截取一部分并圖示的立體圖，圖6是將圖5銷單元130的安全銷上升之后的狀態(tài)截取一部分并圖示的立體圖，圖7是圖示圖3的銷單元130和磁性部140的運行狀態(tài)的立體圖。如圖4至圖7所示，所述銷單元130設(shè)置于門(圖I的120)的4個邊緣區(qū)域。所述銷單元130包括具有對于所述門120而言水平或者垂直方向移動的移動柄(shaft) 151的移動部150 ;與所述移動部150結(jié)合的齒輪部(gear) 160 ;使所述齒輪部160轉(zhuǎn)動的驅(qū)動杠桿(lever) 170 ;以及與所述移動部150結(jié)合的銷導(dǎo)向部180。所述移動柄151是延伸預(yù)定長度的直線形的金屬板，其以所述門120的水平方向設(shè)置。在所述移動柄151的下部，沿著長度方向形成有齒條(rack gear) 152。所述移動柄151的正面設(shè)置有齒條導(dǎo)向件(rack guide) 153。所述移動柄151的下側(cè)方向設(shè)置有所述齒輪部160。所述齒條152與所述齒輪部160嚙合而得以結(jié)合。在所述齒輪部160前方的同軸上結(jié)合有驅(qū)動杠桿170。若使所述驅(qū)動杠桿170向一方向轉(zhuǎn)動，則形成有所述齒條152的移動柄151受所述齒輪部160的轉(zhuǎn)動運動的影響而可作直線運動。所述移動部150結(jié)合有銷導(dǎo)向部180。所述銷導(dǎo)向部180包括形成有銷導(dǎo)向孔(pin guide hole) 182的銷柄(pin shaft) 181 ;插入到所述銷導(dǎo)向孔182而移動的導(dǎo)向銷183 ;以及與所述導(dǎo)向銷183結(jié)合、并且進行升降運動使得與所述箱盒本體110選擇性地結(jié)合的安全銷184。所述銷柄181是向與所述移動柄151并排的方向延伸的金屬板。所述銷柄181位于相比所述移動柄151低預(yù)定間隔的下部位置處；在垂直方向上，所述銷柄181的一端部與所述移動柄151的一端部重疊。所述銷柄181的一端部與所述移動柄151的一端部通過螺栓連接方式而得以固定。由此，若所述移動柄151做直線往返運動，則所述銷柄181也可以同時做直線往返運動。所述銷導(dǎo)向孔182沿著所述銷柄181的長度方向形成。所述銷導(dǎo)向孔182是在厚度方向貫通所述銷柄181的長方形槽。所述銷導(dǎo)向孔182被形成為相對于所述銷柄181的 水平方向傾斜預(yù)定角度。即，所述銷導(dǎo)向孔182的一側(cè)位于相比所述銷柄181的水平方向較高的位置處，所述移動柄151的另ー側(cè)位于相比水平方向較低的位置處。所述銷導(dǎo)向孔182結(jié)合有導(dǎo)向銷183。所述導(dǎo)向銷183以所述銷柄181的寬度方向設(shè)置。所述導(dǎo)向銷183插入到所述銷導(dǎo)向孔182中。所述導(dǎo)向銷183從所述銷柄181的ー側(cè)壁延伸至另ー側(cè)壁。根據(jù)所述銷柄181的移動，所述導(dǎo)向銷183的位置沿著所述銷導(dǎo)向孔182的傾斜的方向而發(fā)生變化。所述安全銷184從所述銷柄181的上部以垂直方向貫通所述銷柄181，從而得以插入。貫通所述銷柄181的安全銷184的一端部與所述導(dǎo)向銷183結(jié)合。在由所述安全銷184貫通銷柄181的部分設(shè)置有圍繞所述安全銷184的安全銷向?qū)?85。當所述安全銷184上升時，與之對應(yīng)的箱盒本體110形成有供所述安全銷184選擇性地結(jié)合的銷孔(圖7的118)。所述銷孔118形成于門導(dǎo)向塊(door guide block) 119,所述門導(dǎo)向塊119與箱盒本體110的框架111結(jié)合。另外，所述銷柄181的上部設(shè)置有滑動導(dǎo)向件250。沿著與所述箱盒本體110的開放區(qū)112相対的門框121的外圍，保持間隔的間距地同時設(shè)置有多個所述滑動導(dǎo)向件250。在本實施例中，所述滑動導(dǎo)向件250設(shè)置于與所述銷單元130的安全銷184做升降運動的部分相對應(yīng)的位置處。所述滑動導(dǎo)向件250被形成為向所述箱盒本體110的開放區(qū)112側(cè)進入的部分251逐漸變細，使得所述箱盒本體110與門120的結(jié)合得以柔韌地完成。優(yōu)選地，所述滑動導(dǎo)向件250由高分子樹脂形成。并且，所述滑動導(dǎo)向件250引導(dǎo)所述安全銷184的升降運動。為此，所述滑動導(dǎo)向件250上以垂直方向形成有滑動導(dǎo)孔(slide guide hole)252。所述安全銷184可以沿著所述滑動導(dǎo)孔252做升降運動。為了不透氣性，形成有所述滑動導(dǎo)孔252的滑動導(dǎo)向件250的內(nèi)壁上設(shè)置有O型環(huán)253。此時，所述箱盒本體110與門120上設(shè)置有磁性部140。所述磁性部140包括設(shè)置于所述門120或者箱盒本體110的至少ー個磁性體(magnetic) 141 ;以及設(shè)置于與之對應(yīng)的箱盒本體110或者門120的對應(yīng)位置處的導(dǎo)電板142。所述磁性體141在所述移動柄151的水平方向上間隔預(yù)定間距地設(shè)置在所述移動柄151的背面。所述磁性體141的材料優(yōu)選為如釹(Neodymium)磁鐵等磁性強的材料。與所述磁性體141相對的箱盒本體110的開放區(qū)112側(cè)設(shè)置有導(dǎo)電板142，當門120與所述箱盒本體110結(jié)合時，導(dǎo)電板142根據(jù)所述磁性體141的磁性而得以結(jié)合。所述導(dǎo)電板142可以通過在箱盒本體110的框架111上形成槽而得以安裝，只要設(shè)置于所述箱盒本體110上，則并不限于某一個特定實施方式。另外，所述銷單元130上還可以設(shè)置有具有輔助移動柄191的輔助移動部190，輔助移動柄191與向水平方向移動的移動部150同步,從而向垂直方向移動。在本實施例中公開了所述移動部150向水平方向移動、所述輔助移動部190向垂直方向移動的結(jié)構(gòu)，但是并不限于某一個特定實施例，例如可以為，所述移動部150向垂直方向移動、所述輔助移動部190向水平方向移動等。所述輔助移動柄191是延伸預(yù)定長度的直線形金屬板，其以所述門120的垂直方 向設(shè)置。在所述輔助移動柄191的正面，沿著長度方向形成有輔助齒條192。所述輔助移動柄191的側(cè)面設(shè)置有輔助齒條導(dǎo)向件193。所述輔助齒條192與所述齒輪部160嚙合而得以結(jié)合。此時，所述齒輪部160和輔助齒條192之間還可以設(shè)置有至少一個惰齒輪(idle gear) 161。由此，若使所述驅(qū)動杠桿170向一方向轉(zhuǎn)動，則當所述移動柄151向水平方向作直線往返運動時，所述輔助移動柄191受所述齒輪部160和惰齒輪161的轉(zhuǎn)動運動影響，從而可以向垂直方向做直線往返運動。如此，所述輔助移動柄191與所述移動柄151同步而可以移動。在所述輔助移動柄191，沿著長度方向間隔預(yù)定間距而設(shè)置有磁性體141。與所述磁性體141對應(yīng)的箱盒本體110的開放區(qū)112側(cè)設(shè)置有導(dǎo)電板142。此時，做水平運動的移動柄151與做垂直運動的輔助移動柄191在做直線往返運動時會發(fā)生互相干擾的現(xiàn)象。從而，所述移動柄151的端部或者輔助移動柄191的端部還可以設(shè)置有用于防止與輔助移動柄191之間的干擾的阻擋物280。再次參考圖I至圖3，所述門120的正面形成有至少一個位置排列孔220。為了當選擇性地結(jié)合所述箱盒本體Iio與門120時確認用于吸附所述門120的外部機構(gòu)、例如自動(robot)機構(gòu)是否在預(yù)定位置上，所述位置排列孔220形成于門120，以使自動機構(gòu)的位置排列銷被插入。所述位置排列孔220具有自動機構(gòu)的位置排列銷能夠從所述門120的正面向門板122的厚度方向進入的尺寸，并且優(yōu)選為不貫通所述門板122。所述位置排列孔220在所述門120的正面以對角線方向形成有多個。另外，為了調(diào)節(jié)內(nèi)壓、強化密封性或者真空吸附，所述門120設(shè)置有額外的裝置。所述門120形成有多個氣體過濾部230。所述氣體過濾部230起到如下的作用當所述用于容納基板的箱盒100的內(nèi)部壓力上升時，排出所述用于容納基板的箱盒100內(nèi)部的空氣，或者過濾從外部向所述用于容納基板的箱盒100的內(nèi)部流入的異物。并且，沿著所述箱盒本體110的開放區(qū)112的周圍，在框架111的內(nèi)側(cè)形成有密封部件240。作為相應(yīng)的方案，所述密封部件240可以沿著與所述箱盒本體110的開放區(qū)112相對的門120的周圍而得以形成。而且，所述箱盒本體110的上端部設(shè)置有用于搬運所述用于容納基板的箱盒100的 OHT 甜(Overhead Hoist Transport grip)260。另外，在對所述箱盒本體110的開放區(qū)112而言相反方向的門120的正面形成有真空吸附區(qū)域270，自動機構(gòu)的真空吸附部對真空吸附區(qū)域270予以吸附。所述真空吸附區(qū)域270形成于所述門120的邊緣位置處。自動機構(gòu)所具有的真空吸附部對每個所述真空吸附區(qū)域270都進行吸附，從而對于所述箱盒本體110能夠選擇性地分離門120。以下參考圖I至圖7來對具有如上所述結(jié)構(gòu)的用于容納基板的箱盒100的作用進行說明。其中，在所述用于容納基板的箱盒100中，所述箱盒本體110的內(nèi)部裝載有多張基板210，所述箱盒本體110與門120相結(jié)合。
首先，自動機構(gòu)貼緊在門120上。當自動機構(gòu)被貼緊之后，自動機構(gòu)所具有的多個位置排列銷插入至在門120的正面以對角線方向形成的位置排列孔220中。通過自動機構(gòu)的位置排列銷插入至所述位置排列孔220中，能夠確認自動機構(gòu)對于門120而言是否在預(yù)定位置上得以陣列。然后，自動機構(gòu)所具有的多個真空吸附部真空吸附在真空吸附區(qū)域270上，真空吸附區(qū)域270為形成于門120的正面邊緣位置的4個區(qū)域。所述門120能夠直到一循環(huán)工序結(jié)束的瞬間為止被吸附到自動機構(gòu)的真空吸附部，這能夠減少工序，因此是優(yōu)選的。接下來，運行銷單元130來解除箱盒本體110與門120的結(jié)合狀態(tài)，銷單元130是為了強化所述箱盒本體Iio對門120的結(jié)合力而作為安全裝置設(shè)置的。S卩，形成于所述箱盒本體110的門導(dǎo)向塊119的銷孔118結(jié)合有安全銷184。為了將其解除，當以圖6的順時針方向轉(zhuǎn)動所述驅(qū)動杠桿170，則結(jié)合在驅(qū)動杠桿170的齒輪部160也以順時針方向轉(zhuǎn)動。若所述齒輪部160以順時針方向轉(zhuǎn)動，則如圖4所示，形成有與所述齒輪部160嚙合的齒條152的移動柄151向右移動。若所述移動柄151移動，則與所述移動柄151以螺栓連接的銷柄181將向右移動。若所述銷柄181移動，則插入至銷導(dǎo)向孔182內(nèi)的導(dǎo)向銷183對于銷柄181的水平方向而言從高位置處向低位置處移動，銷導(dǎo)向孔182是沿著所述銷柄181的長度方向傾斜地形成的。若所述導(dǎo)向銷183沿著所述銷導(dǎo)向孔182的傾斜的方向向低位置處移動，則結(jié)合于所述導(dǎo)向銷183的安全銷184沿著形成于所述銷柄181的安全銷向?qū)?85和形成于所述滑動導(dǎo)向件250的滑動導(dǎo)孔252而向所述銷柄181的垂直方向下降。由此，所述安全銷184從形成于所述箱盒本體110的門導(dǎo)向塊119的銷孔118得以分離。并且，若所述移動柄151向右移動，則沿著所述移動柄151的背面而間隔設(shè)置的磁性體141也將向右移動，從而從設(shè)置于所述箱盒本體110的開放區(qū)112側(cè)的導(dǎo)電板142得以分離。如上所述，根據(jù)結(jié)合于所述驅(qū)動杠桿170的齒輪部160的轉(zhuǎn)動，隨著與導(dǎo)電板142磁力結(jié)合的磁性體141的磁性解除，插入至銷孔118的安全銷184的結(jié)合被解除。另外，當所述移動柄151向右移動時，以所述門120的垂直方向設(shè)置的輔助移動柄191也與所述移動柄151同步而做上升運動。S卩，若驅(qū)動杠桿170和齒輪部160以順時針方向轉(zhuǎn)動，則與所述齒輪部160嚙合的惰齒輪161則以逆時針方向轉(zhuǎn)動。若所述惰齒輪161轉(zhuǎn)動，則如圖4所示，形成有輔助齒條192的輔助移動柄191得以上升，輔助齒條192以所述惰齒輪161為媒介而與所述齒輪部160結(jié)合。由此，沿著所述輔助移動柄191的背面而間隔設(shè)置的磁性體141也向上移動，從而從所述導(dǎo)電板142得以分離。接下來，將被自動機構(gòu)的真空吸附部而被吸附的門120從箱盒本體110分離。然后，使用取出機構(gòu)取出在所述箱盒本體110的內(nèi)部以垂直方向?qū)盈B的多張基板210之后，向期望的エ序移送。取出完層疊于所述箱盒本體110內(nèi)部的基板210之后，向所述箱盒本體110的內(nèi)部添加其他的多個基板210。此時，由于各個基板210具有大的尺寸，因此中心部分可能會下垂。為了防止這種現(xiàn)象，所述基板210被至少ー個支撐部114得以支撐，支撐部114按照從箱盒本體110的后 方向開放區(qū)112橫穿空間的方式得以設(shè)置。與此同時，所述基板210的左右邊緣安裝于從互相相對地設(shè)置的框架111中突出的安裝部115。并且，所述基板210通過被設(shè)置于所述箱盒本體110的后方的后阻擋物116得以支撐，從而不會進一歩向箱盒本體110的后方移動。由此，所述各個基板210能夠安全地容納在所述箱盒本體110的內(nèi)部。如上所述，再投入完多個基板210之后，使門120與所述箱盒本體110結(jié)合。此時，通過自動機構(gòu)所具有的真空吸附部，門120在轉(zhuǎn)移エ序中已經(jīng)處于被真空吸附的狀態(tài)。運行所述銷單元130，以使門120與所述箱盒本體110結(jié)合。以逆時針方向轉(zhuǎn)動所述驅(qū)動杠桿170，則與驅(qū)動杠桿170結(jié)合的齒輪部160也向逆時針方向轉(zhuǎn)動。若所述齒輪部160向逆時針方向轉(zhuǎn)動，則形成有與所述齒輪部160嚙合的齒條152的移動柄151向左移動。若所述移動柄151移動，則與所述移動柄151螺栓連接的銷柄181將向左移動。若所述銷柄181移動，則插入至沿著所述銷柄181的長度方向傾斜地形成的銷導(dǎo)向孔182內(nèi)的導(dǎo)向銷183對于銷柄181的水平方向而言從低位置處向高位置處移動。若所述導(dǎo)向銷183沿著所述銷導(dǎo)向孔182的傾斜的方向向高位置處移動，則與所述導(dǎo)向銷183結(jié)合的安全銷184沿著形成于所述銷柄181的安全銷向?qū)?85和形成于所述滑動導(dǎo)向件250的滑動導(dǎo)孔252而向所述銷柄181的垂直方向上升。由此，所述安全銷184插入至形成于所述箱盒本體110的門導(dǎo)向塊119的銷孔118。并且，若所述移動柄151向左移動，則沿著所述移動柄151的背面而間隔設(shè)置的磁性體141也向左移動，從而與設(shè)置于所述箱盒本體110的開放區(qū)112側(cè)的導(dǎo)電板142結(jié)合。如上所述，根據(jù)與所述驅(qū)動杠桿170結(jié)合的齒輪部160的轉(zhuǎn)動，導(dǎo)電板142與磁性體141通過磁力結(jié)合的同時銷孔118與安全銷184結(jié)合。另外，當所述移動柄151向左移動時，以所述門120的垂直方向設(shè)置的輔助移動柄191也與所述移動柄151同步，從而做下降運動。S卩，若驅(qū)動杠桿170和齒輪部160以逆時針方向轉(zhuǎn)動，則與所述齒輪部160嚙合的惰齒輪161以順時針方向轉(zhuǎn)動。若所述惰齒輪161轉(zhuǎn)動，則形成有輔助齒條192的輔助移動柄191會下降，輔助齒條192以所述惰齒輪161為媒介而與所述齒輪部160結(jié)合。由此，沿著所述輔助移動柄191的背面而間隔設(shè)置的磁性體141也向下移動，從而與所述導(dǎo)電板142結(jié)合。此時，所述銷柄181的上部設(shè)置有所述滑動導(dǎo)向件250。所述滑動導(dǎo)向件250被形成為向所述箱盒本體110的開放區(qū)112側(cè)進入的部分251逐漸變細，因此柔韌地完成所述箱盒本體110與門120的結(jié)合。而且，在與所述箱盒本體110的開放區(qū)112相對的門120的背面，沿著門120的周圍形成有密封部件240，從而無疑地，密封性得以加強。然后，從所述門120的真空吸附區(qū)域270分離自動機構(gòu)所具有的真空吸附部。接下來，分離自動機構(gòu)所具有的位置排列銷，所述自動機構(gòu)插入至在所述門120的正面上以對角線方向形成的位置排列孔220中。從而，分離所述自動機構(gòu)所具有的位置排列銷。 如上所述，本發(fā)明的用于容納基板的箱盒100通過所述銷單元130的運行而將銷孔118與安全銷184結(jié)合或者解除的同時，可以將導(dǎo)電板142與磁性體141結(jié)合或者解除。如上所述，本發(fā)明的用于容納基板的箱盒完整地實現(xiàn)箱盒本體與門的貼緊，從而能夠從根源上防止來自外部的污染源的滲透。并且，箱盒本體與門的結(jié)合是通過銷單元和磁性部雙重結(jié)合而得以實現(xiàn)的，從而能夠?qū)崿F(xiàn)堅固的固定。
權(quán)利要求
1.ー種用于容納基板的箱盒，包括 箱盒本體，用于容納多個基板； 門，使所述箱盒本體選擇性地密封； 銷單元，形成于所述門上，并且與所述箱盒本體銷結(jié)合；以及 磁性部，根據(jù)所述銷單元的移動結(jié)合所述箱盒本體與所述門。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 所述箱盒本體通過多個框架的互相連接而形成箱型骨架結(jié)構(gòu)，在所述框架上結(jié)合有蓋板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 在所述箱盒本體的內(nèi)部排列有對以垂直方向?qū)盈B的多個基板予以支撐的多個支撐部，所述支撐部從所述箱盒本體的后方向箱盒本體前方的開放區(qū)側(cè)橫穿內(nèi)部空間而得以延伸，所述箱盒本體的相対的兩個側(cè)部設(shè)置有安裝部，所述安裝部支撐所述基板的左右邊緣,并且從多個框架向所述箱盒本體的內(nèi)部空間突出。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 在所述箱盒本體的后方，支撐所述基板的后方邊緣的后阻擋物與所述框架連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 沿著與所述箱盒本體的開放區(qū)相對的門的邊緣還形成有密封部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 沿著所述箱盒本體的開放區(qū)的周圍還形成有密封部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于，所述銷單元包括 移動部，具有向水平方向或者垂直方向移動的移動柄； 齒輪部，與所述移動部結(jié)合； 驅(qū)動杠桿，使所述齒輪部轉(zhuǎn)動；以及 銷導(dǎo)向部，與所述移動部結(jié)合，并且形成有安全銷。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 所述移動柄的下部形成有與所述齒輪部嚙合的齒條。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 所述驅(qū)動杠桿在同軸上與所述齒輪部結(jié)合。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于，所述銷導(dǎo)向部包括 銷柄，形成有銷導(dǎo)向孔； 導(dǎo)向銷，插入到所述銷導(dǎo)向孔而進行移動；以及 安全銷，與所述導(dǎo)向銷結(jié)合，并且與形成于所述箱盒本體的銷孔選擇性地結(jié)合并進行移動。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 所述銷柄的一端部以在垂直方向重疊的方式與所述移動柄的一端部結(jié)合。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干， 所述銷導(dǎo)向孔被形成為沿著所述銷柄的長度厚度貫通所述銷柄，并且被形成為相對于所述銷柄的水平方向是傾斜的。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的用于容納基板的箱盒，其特征在干，所述導(dǎo)向銷插入到所述銷導(dǎo)向孔中，使得其位置根據(jù)所述銷柄的移動而沿著所述銷導(dǎo)向孔傾斜的方向發(fā)生變化。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述安全銷從所述銷柄的上部貫通所述銷柄，從而與所述導(dǎo)向銷結(jié)合。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述安全銷貫通所述銷柄的部分設(shè)置有圍繞所述安全銷的安全銷向?qū)А?br> 16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 與所述安全銷向所述銷孔移動的部分相對應(yīng)的框架上，還設(shè)置有引導(dǎo)所述安全銷的移動的滑動導(dǎo)向件， 所述滑動導(dǎo)向件形成有提供所述銷柄的移動通道的滑動導(dǎo)孔。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 形成有所述滑動導(dǎo)孔的滑動導(dǎo)向件的內(nèi)壁設(shè)置有O型環(huán)。
18.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述銷孔形成于與所述箱盒本體的框架結(jié)合的門導(dǎo)向塊中。
19.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于，所述磁性部包括 至少一個磁性體，在所述移動柄的一面沿著所述移動柄的一方向設(shè)置；以及 導(dǎo)電板，設(shè)置于所述箱盒本體的對應(yīng)的位置處，并且根據(jù)所述移動柄的移動與所述磁性體選擇性地結(jié)合。
20.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述銷單元還設(shè)置有具有輔助移動柄的輔助移動部，所述輔助移動柄與向水平方向或者垂直方向移動的移動部同步，從而向垂直方向或者水平方向移動。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述輔助移動柄的一側(cè)形成有與所述齒輪部嚙合的輔助齒條。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述移動柄的端部還設(shè)置有防止與所述輔助移動柄之間的干擾的阻擋物。
23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 在所述輔助移動柄的一面沿著所述輔助移動柄的一方向還設(shè)置有至少一個磁性體，在所述箱盒本體的對應(yīng)的位置處還設(shè)置有根據(jù)所述輔助移動柄的移動而與所述磁性體選擇性地結(jié)合的導(dǎo)電板。
24.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述門的正面還形成有至少一個位置排列孔，所述位置排列孔中插入有選擇性地開閉所述箱盒本體與所述門的外部機構(gòu)的位置排列銷，從而排列外部機構(gòu)相對于所述門的位置。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述位置排列孔在門的正面上以對角線方向形成有多個。
26.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述門還形成有調(diào)節(jié)密封的箱盒本體內(nèi)部壓力的氣體過濾部。
27.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 還形成有至少一個滑動導(dǎo)向件，所述滑動導(dǎo)向件引導(dǎo)沿著與所述箱盒本體的開放區(qū)相對的門的外圍，柔韌地結(jié)合所述箱盒本體與所述門。
28.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述滑動導(dǎo)向件被形成為向所述箱盒本體的開放區(qū)側(cè)進入的部分逐漸變細。
29.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于容納基板的箱盒，其特征在于， 所述箱盒本體的上端部還設(shè)置有移動箱盒的OHT鉗。
全文摘要
公開了用于容納基板的箱盒。本發(fā)明包括容納多個基板的箱盒本體、使箱盒本體選擇性地密封的門、形成于門上并且與箱盒本體銷結(jié)合的銷單元、以及根據(jù)銷單元的移動而結(jié)合箱盒本體與門的磁性部，將箱盒本體與門完整地貼緊，從而能夠從根源上防止來自外部的污染源的滲透。并且，箱盒本體與門的結(jié)合是通過銷單元和磁性部雙重結(jié)合而得以實現(xiàn)的，從而能夠堅固地固定。
文檔編號H01L21/673GK102867766SQ20111036774
公開日2013年1月9日 申請日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月7日
發(fā)明者南義雄, 秦光杓, 趙相圭 申請人:三星顯示有限公司