專利名稱：激光氣體氮化與沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激光復(fù)合表面改性領(lǐng)域，特指一種針對醫(yī)用鈦合金材料進行激光氣體氮化和激光沖擊強化的表面改性方法，以有效改善其綜合使用性能的激光復(fù)合表面改性方法與裝置，特別適用于板、棒狀結(jié)構(gòu)醫(yī)用鈦合金材料的表面處理。
背景技術(shù)：
鈦合金是目前已知的生物親和性最好的金屬材料之一，具有良好的力學(xué)性能、t匕強度、疲勞抗力及生物相容性，目前在斷骨接合、脊柱固定、人 工關(guān)節(jié)等方面有著廣泛的應(yīng)用。然而，如何進一步改善其抗磨抗蝕能力，增強與活體組織的結(jié)合力，提高安全使用性是生物鈦合金材料推廣應(yīng)用的主要問題。生物環(huán)境是一個非常復(fù)雜的物理、化學(xué)電解質(zhì)環(huán)境，醫(yī)用鈦合金制品長期存在于人體中會發(fā)生各種形式的磨損和腐蝕。磨損和腐蝕使得材料的尺寸減小、破壞表面的光潔度，甚至使材料表面產(chǎn)生局部缺陷而造成應(yīng)力集中，從而導(dǎo)致裂紋或斷裂，而臨床使用的最大問題正是由腐蝕和過應(yīng)力導(dǎo)致的植入制品松動和斷裂失效。與此同時，即使是相容性好的金屬元素，離子溶出和磨屑聚集也要求被控制在一定安全范圍內(nèi)。由于植入材料和醫(yī)用環(huán)境的相互作用僅限于材料表面的數(shù)個原子層處，因此，除了改進合金的成分和制備工藝外，表面改性技術(shù)是生物金屬材料學(xué)一個重要的發(fā)展方向和研究熱點。通過對生物醫(yī)用鈦合金材料的表面改性可以有效地改善其各種性能，使基體的金屬特性與表層的生物性能更好地結(jié)合起來，為生物醫(yī)用鈦合金材料的應(yīng)用打下良好的基礎(chǔ)。目前，提高醫(yī)用鈦合金材料耐磨耐蝕和生物相容性能的表面改性技術(shù)主要有溶膠凝膠法、離子濺射/注入法、酸/堿處理法、電化學(xué)沉積法、等離子高溫噴涂法和激光表面改性法等。然而，除了等離子高溫噴涂羥基磷灰石(HA)得到臨床應(yīng)用外，其它很少得到實際應(yīng)用。溶膠凝膠法制得的HA涂層非常均勻、晶粒十分細小，但與基體合金之間的結(jié)合力相對較小，在使用過程中容易脫落；傳統(tǒng)的離子注入因受離子注入能量的制約，強化層較淺；離子滲碳、滲硼和滲氮等存在著處理周期長和溫度高零件易變形等缺點；等離子高溫噴涂工藝效率高、涂層均勻、重復(fù)性好，但高溫噴涂容易引起涂層的相變和脆裂，產(chǎn)生非晶態(tài)或熱分解成其他磷酸鈣鹽從而降低了表面活性，并且改性層組織結(jié)構(gòu)疏松且無法與基體形成具有較高結(jié)合力的結(jié)合界面。激光表面改性技術(shù)是激光技術(shù)與金屬表面加工相結(jié)合的產(chǎn)物，是在材料表面施加極高的能量使之發(fā)生物理化學(xué)變化，從而顯著改變材料的耐磨性、耐蝕性和表面硬度。由于激光能量密度高，其加熱速度極快、功率輸出精確可控，并且可選擇性改性局域表面，激光表面改性技術(shù)已引起了廣泛的關(guān)注和重視。激光氣體氮化是利用高能激光束照射工件表面使其熔化形成液相金屬熔池，同時氮氣在高能激光束輻照作用下與熔池中的高溫液相金屬發(fā)生強烈的化學(xué)/冶金反應(yīng)，從而顯著改變?nèi)鄢刂幸合嘟饘俚幕瘜W(xué)成分和組成，在快速冷凝后最終形成枝晶狀的硬質(zhì)氮化層，以提高工件表面的耐磨耐蝕性，是一種十分具有應(yīng)用前景和潛力的表面改性技術(shù)。國內(nèi)外在該方面進行了大量的研究工作，Man H.C.等將激光氣體氮化的純鈦和T6A14V合金置于3. 5%NaCl溶液中進行抗點蝕行為的實驗，結(jié)果表明形成的氮化層較純鈦及鈦合金的點蝕抗力提高了 12倍之多，大大提高了其耐蝕性能。由于該工藝屬于熱加工，不可避免得會在加工表面產(chǎn)生有害的殘余拉應(yīng)力和微細裂紋，從而降低了加工件的塑性、疲勞強度和耐蝕性，甚至縮短其使用壽命。激光沖擊強化處理能夠改善零件表層材料的亞結(jié)構(gòu)、以及產(chǎn)生有益的殘余壓應(yīng)力，從而提高零件的疲勞壽命和增強抗應(yīng)力腐蝕能力。2004年，美國激光沖擊技術(shù)公司與美國空軍實驗室開展了 F/A-22和F119發(fā)動機鈦合金損傷葉片的LSP修復(fù)研究，損傷葉片經(jīng)激光沖擊處理后疲勞強度為413. 7MPa，完全滿足葉片使用的設(shè)計要求379MPa，取得了巨大成功。目前，LSP技術(shù)已應(yīng)用于F119-PW-100發(fā)動機生產(chǎn)線。在醫(yī)學(xué)上，鈦合金人造膝關(guān)節(jié)經(jīng)激光沖擊強化后使用壽命可以從原來的2-3年提高到5-6年，并且減少了病人的手術(shù)次數(shù)。雖然沖擊處理表面的硬度和耐蝕性有了提高，但對于長期在磨損和腐蝕環(huán)境下服役的零件來說，表面性能仍顯不足。因此將這兩種技術(shù)相結(jié)合，不僅可以得到性能卓越的TN改性層，而且可以去除氮化處理產(chǎn)生的殘余拉應(yīng)力并引入有益的殘余壓應(yīng)力，進一步硬化表面和增加改性層深度以及提高材料的抗疲勞和耐應(yīng)力腐蝕能力，最終得到高質(zhì)量的改性表面。 目前，關(guān)于醫(yī)用材料表面改性研究的報道文獻有公開號為CN1712076的中國專利提供了一種在鈦合金材料表面上制備梯度涂層的方法，內(nèi)層是在400-700°C下得到的氧化層，厚度為0. 5-5 u m，外層是羥基磷灰石涂層，厚度為0. 1-1 u m，但是該工藝的實施周期較長、加工效率低，另外其內(nèi)外改性層的深度也較淺；美國專利U. S. 6491723提出了用氫氟酸(HF)進行I次酸洗和用高溫硫酸(H2SO4) /鹽酸(HCl)混合液進行2次酸洗的方法，然而酸洗容易造成植入材料表面的氫化從而降低表面生物活性和發(fā)生氫脆現(xiàn)象，且硫酸(H2S04)、氫氟酸(HF)和鹽酸(HCl)是極危險的易揮發(fā)性強酸容易對人體造成傷害。公開號為CN1676658的中國專利采用熱等靜壓技術(shù)在醫(yī)用鈦合金表面進行高溫滲碳處理。公開號為CNlO1264551的中國專利將飛秒激光弓I入到醫(yī)用鈦和鈦合金材料的改性中來，在材料表面燒蝕形成均勻條紋、溝槽或復(fù)合構(gòu)型組合的規(guī)則圖案，并生成一定厚度的氧化層。上述技術(shù)雖然一定程度上提高了材料的表面硬度、耐磨性性和生物活性，但由于受到熱效應(yīng)的影響給加工件帶來有害的殘余拉應(yīng)力，大大降低了植入體零件的抗疲勞強度，增加了腐蝕破壞的敏感性。目前尚未檢索到利用激光氣體氮化與激光沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金材料的研究文獻和相關(guān)專利。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服梯度涂層法，酸洗法和熱等靜壓技術(shù)等現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種醫(yī)用鈦合金材料的激光復(fù)合表面改性處理方法，用以對板、棒狀結(jié)構(gòu)醫(yī)用鈦合金材料的表面實施改性，有效改善其表面的耐磨耐蝕性能，提高其使用壽命。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是
一種激光氣體氮化與沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金的裝置，包括計算機監(jiān)控單元、激光氣體氮化單元、激光沖擊處理單元、數(shù)控工作系統(tǒng)和測量反饋系統(tǒng)；激光氣體氮化單元包括連續(xù)激光器、光纖準直器、光纖、激光束調(diào)節(jié)器、氣罩和氮氣罐；激光沖擊處理單元包括納秒脈沖激光器、光纖準直器、光纖、激光束調(diào)節(jié)器、水簾噴射裝置和廢水回收槽；測量反饋系統(tǒng)由殘余應(yīng)力檢測儀和快速腐蝕測試儀組成，計算機監(jiān)控單元包括計算機、脈沖激光控制器、連續(xù)激光控制器、和工作臺控制器；納秒脈沖激光器和連續(xù)激光器分別通過脈沖激光控制器和連續(xù)激光控制器連接到計算機上，測量反饋系統(tǒng)的殘余應(yīng)力檢測儀和快速腐蝕測試儀與計算機直接相連；連續(xù)激光器固定于振動隔離平臺上；光纖的一端通過光纖準直器與連續(xù)激光器的出光口相連，光纖的另一端則與激光束調(diào)節(jié)器連接，激光束調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)激光束光斑大小以滿足實際加工需要；安裝試樣的夾具用螺栓固定在五軸工作臺上，在夾具外圍罩有密封用氣罩，氣罩用螺栓連接固定在五軸工作臺上；氣罩前端面開設(shè)有能透過激光束的透明石英玻璃窗口，并與激光束調(diào)節(jié)器的出光口前端相對；氣罩上部設(shè)有有氣動接頭，氣動接頭通過輸氣管與氮氣罐相連，在輸氣管上設(shè)有氣動閥和氣體流量計；納秒脈沖激光器固定在振動隔離平臺上，光纖的一端通過光纖準直器與納秒脈沖激光器的出光口相連，光纖的另一端則與激光束調(diào)節(jié)器連接；水簾噴射裝置固定在五軸工作臺上，隨五軸工作臺一起移動以保證水簾的穩(wěn)定性；水簾噴射裝置的出水口位于加工件前上方，廢水回收槽放置于加工試樣的下方回收加工廢水。一種激光氣體氮化與沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金的方法，具體步驟如下
[I].將醫(yī)用鈦合金工件表面預(yù)處理打磨并拋光到表面粗糙度低于Ral. 6，用丙酮清 洗表面油潰和污垢后裝夾定位。根據(jù)加工要求，根據(jù)預(yù)定加工軌跡編制NC程序，并設(shè)定各裝置參數(shù)，包括連續(xù)和脈沖激光參數(shù)，工作臺運動參數(shù)。[2].由工作臺控制器控制工作臺移動，移動工作臺至激光氣體氮化處理區(qū)，打開供氣裝置并設(shè)置氣體流量20L/min，使其充滿氮氣。設(shè)定適當(dāng)?shù)臍怏w激光氮化工藝參數(shù)激光功率800-1800W、波長1064nm、掃描速度10-30mm/s，在鈦合金工件表面制備硬質(zhì)氮化層。[3].由工作臺控制器控制工作臺移動，調(diào)整加工位置進入激光沖擊處理區(qū)并定位。計算機控制自動噴漆裝置在氣體氮化處理后的工件表面噴涂20-50 u m厚的均勻黑漆層。[4].通過計算機設(shè)定激光沖擊工藝參數(shù)，激光脈沖能量15-35J，波長1064nm、脈沖寬度7-lOns，搭接率50%。通過多軸工作臺帶動工件有序運動，用激光沖擊處理單元對硬質(zhì)氮化層進行沖擊強化處理。[5].利用測量反饋系統(tǒng)對沖擊強化處理后的氮化層表面進行殘余應(yīng)力和電化學(xué)腐蝕性能測試?？刂茪堄鄩簯?yīng)力值在_180MPa以下，在飽和甘汞電極作為參比時3. 5%NaCl電解液中的自腐蝕電位大于_130mV。如果沒有達到要求，則繼續(xù)開始重復(fù)步驟二，實施沖擊處理直至合格。本發(fā)明所能達到的技術(shù)效果是
[I]本發(fā)明很好地保留了激光氣體氮化處理所形成的枝晶狀TiN層，使得加工材料的耐磨性能大大增加；同時，激光沖擊處理使TiN層進一步致密化和細化，且在材料表面層引入了有益的殘余壓應(yīng)力，有效提高接觸表面的疲勞壽命和降低腐蝕的敏感性，有利于細胞的定向生長和促進鈦合金材料植入人體后傷口的愈合。[2] 本發(fā)明采用激光氣體氮化與激光沖擊處理的復(fù)合表面改性工藝，具有瞬時 加熱、快速冷卻的特點，不改變基體材料的微觀結(jié)構(gòu)，并且改性層與基體是有較高結(jié)合力的冶金結(jié)合，不易脫落。[3] 由于激光參數(shù)、作用時間、聚焦光束尺寸及加工軌跡精確可控，且處理過程是非接觸性的，因此本發(fā)明方法具有極大的柔性、確定性和可重復(fù)性。可實現(xiàn)不同要求的改性層，以滿足醫(yī)用鈦合金材料不同的臨床實際需要。


下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。圖I,醫(yī)用鈦合金激光復(fù)合表面改性處理裝置的示意圖。圖2，沿激光光斑直徑方向的殘余應(yīng)力分布圖。圖3，激光復(fù)合處理后試樣沿深度方向的顯微硬度分布圖。圖4，激光復(fù)合處理前后試樣磨損率隨時間的變化圖。圖中，I.計算機；2.脈沖激光控制器；3.連續(xù)激光控制器；4.連續(xù)激光器；5.納秒脈沖激光器；6.光纖準直器；7.連續(xù)激光用光纖；8.脈沖激光用光纖；9.激光束調(diào)節(jié)器；10.鈦合金加工件；11.氣罩；12.夾具；13.五軸工作臺；14.氣體流量計；15.輸氣管；16.氮氣罐；17.自動噴漆裝置；18.黑漆涂層(吸收層)；19.水簾噴射裝置；20.廢水回收槽；21.水簾(約束層)；22.殘余應(yīng)力檢測儀；23.快速腐蝕測試儀；24.工作臺控制器。
具體實施例方式試樣采用3mm厚醫(yī)用Til3Nbl3Zr合金板材。如圖1，實施本發(fā)明的裝置包括計算機監(jiān)控單元、激光氣體氮化單元、激光沖擊處理單元、數(shù)控工作系統(tǒng)和測量反饋系統(tǒng)。其中，激光氣體氮化單元包括連續(xù)激光器4、光纖準直器6、光纖7和8、激光束調(diào)節(jié)器9、氣罩11和氮氣罐16 ;激光沖擊處理單元包括納秒脈沖激光器5、光纖準直器6、光纖8、激光束調(diào)節(jié)器9、水簾噴射裝置19和廢水回收槽20 ;測量反饋系統(tǒng)由殘余應(yīng)力檢測儀22和快速腐蝕測試儀23組成，計算機監(jiān)控單元包括計算機I、脈沖激光控制器2、連續(xù)激光控制器3、和工作臺控制器24。首先將Til3Nbl3Zr合金板材試樣表面拋光處理，并置于丙酮中超聲波清洗。用夾具12把表面清洗好的鈦合金加工件10裝夾在工作臺上，閉合上方氣罩11，打開供氣裝置，設(shè)定氮氣流量20L/min。通過計算機I啟動激光氣體氮化單元，激光模式TEM00，設(shè)定功率I. 5KW，光斑直徑3mm。根據(jù)加工軌跡編制NC程序輸入工作臺控制器24，由工作臺控制器24控制五軸工作臺13移動，掃描速度20mm/s，實現(xiàn)氣體淡化的逐層逐道掃描。試樣在氣體氮化處理后完全冷卻至室溫時，通過計算機I控制自動噴漆裝置17在氣體氮化處理后的表面噴涂30 ii m厚的均勻黑漆涂層18。移動五軸工作臺13至激光沖擊區(qū)進行加工定位并打開水簾裝置在試樣表面噴射3mm厚的均勻水簾。由計算機I調(diào)節(jié)脈沖激光控制器2及激光束調(diào)節(jié)器9，設(shè)定脈沖激光工藝參數(shù)為激光脈沖能量20J，脈沖寬度10ns，光斑直徑3mm，搭接率50%。計算機I同時啟動五軸工作臺13和納秒脈沖激光器5，納秒脈沖激光器5發(fā)出的脈沖激光經(jīng)激光束調(diào)節(jié)器9調(diào)整后照射在待加工表面，實施激光沖擊強化處理。五軸工作臺13按預(yù)設(shè)的軌跡移動至目標表面加工完畢后五軸工作臺13自動停止。在第一次沖擊結(jié)束后，用殘余應(yīng)力檢測儀22和快速腐蝕測試儀23在線檢測表面 應(yīng)力和電化學(xué)腐蝕數(shù)據(jù)。然后，將測量結(jié)果反饋給計算機I，與預(yù)設(shè)目標值對比，決定下次沖擊參數(shù)。Til3Nbl3Zr合金經(jīng)上述復(fù)合處理后，其復(fù)合處理區(qū)域殘余應(yīng)力沿激光光斑直徑方向分布如圖2所示，殘余壓應(yīng)力分布較均勻，并且實驗測得殘余壓應(yīng)力的影響層深為Imm左右；激光沖擊強化處理產(chǎn)生了大量的位錯和孿晶組織，使得硬質(zhì)氮化層的枝晶組織形 狀發(fā)生改變。通過電化學(xué)腐蝕實驗測得合金靜態(tài)腐蝕失重率由原來的0. 09g/m2h減小到
0.03g/m2h,減小了 60%，在3. 5%NaCl電解液中的自腐蝕電位由-387. 4mV提高到-92. 7mV。同時相關(guān)實驗表明合金激光復(fù)合處理后其表層顯微硬度和耐磨性能大幅提高，如圖3和4所示。結(jié)果表明該方法能有效的提高生物醫(yī)用鈦合金的耐磨損和耐腐蝕性能，并使得硬質(zhì)氮化層與基體界面結(jié)合強度也得到一定的增強，提高加工件的服役壽命。
權(quán)利要求
1.一種激光氣體氮化與沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金的方法，其特征在于，具體步驟如下 A.將醫(yī)用鈦合金工件表面預(yù)處理打磨并拋光到表面粗糙度低于Ral.6，用丙酮清洗表面油潰和污垢后裝夾定位；根據(jù)加工要求，根據(jù)預(yù)定加工軌跡編制NC程序，并設(shè)定各裝置參數(shù)，包括連續(xù)和脈沖激光參數(shù)，工作臺運動參數(shù)； B.由工作臺控制器控制工作臺移動，移動工作臺至激光氣體氮化處理區(qū)，打開供氣裝置，使其充滿氮氣；設(shè)定氣體激光氮化工藝參數(shù)，在鈦合金工件表面制備硬質(zhì)氮化層； C.由工作臺控制器控制工作臺移動，調(diào)整加工位置進入激光沖擊處理區(qū)并定位；計算機控制自動噴漆裝置在氣體氮化處理后的工件表面噴涂20-50 u m厚的均勻黑漆層； D.通過計算機設(shè)定激光沖擊工藝參數(shù)；通過多軸工作臺帶動工件有序運動，用激光沖擊處理單元對硬質(zhì)氮化層進行沖擊強化處理； E.利用測量反饋系統(tǒng)對沖擊強化處理后的氮化層表面進行殘余應(yīng)力和電化學(xué)腐蝕性能測試；控制殘余壓應(yīng)力值在_180MPa以下，在飽和甘汞電極作為參比時3. 5%NaCl電解液中的自腐蝕電位大于_130mV ;如果沒有達到要求，則繼續(xù)從步驟B開始重復(fù)至步驟B，實施沖擊處理直至合格。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光氣體氮化與沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金的方法，其特征在于，所述步驟B中氮氣氣體流量20L/min，氣體激光氮化工藝參數(shù)激光功率800-1800W、波長 1064nm、掃描速度 10_30mm/s。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光氣體氮化與沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金的方法，其特征在于，所述步驟D中激光沖擊工藝參數(shù)激光脈沖能量15-35J，波長1064nm、脈沖寬度7-10ns，搭接率 50%.
4.實施權(quán)利要求I所述的激光氣體氮化與沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金的方法的裝置，其特征在于，包括計算機監(jiān)控單元、激光氣體氮化單元、激光沖擊處理單元、數(shù)控工作系統(tǒng)和測量反饋系統(tǒng)；激光氣體氮化單元包括連續(xù)激光器(4)、光纖準直器(6)、光纖(7)、激光束調(diào)節(jié)器(9)、氣罩(11)和氮氣罐(16);激光沖擊處理單元包括納秒脈沖激光器(5)、光纖準直器(6)、光纖(8)、激光束調(diào)節(jié)器(9)、水簾噴射裝置(19)和廢水回收槽(20);測量反饋系統(tǒng)由殘余應(yīng)力檢測儀(22)和快速腐蝕測試儀(23)組成，計算機監(jiān)控單元包括計算機(I)、脈沖激光控制器(2)、連續(xù)激光控制器(3)、和工作臺控制器(24);納秒脈沖激光器(5)和連續(xù)激光器(4 )分別通過脈沖激光控制器(2 )和連續(xù)激光控制器(3 )連接到計算機(I)上，測量反饋系統(tǒng)的殘余應(yīng)力檢測儀(22)和快速腐蝕測試儀(23)與計算機(I)直接相連；連續(xù)激光器(4)固定于振動隔離平臺上；光纖(7)的一端通過光纖準直器(6)與連續(xù)激光器(4)的出光口相連，光纖(7)的另一端則與激光束調(diào)節(jié)器(9)連接，激光束調(diào)節(jié)器(9)調(diào)節(jié)激光束光斑大小以滿足實際加工需要；安裝試樣的夾具(12)用螺栓固定在五軸工作臺(13)上，在夾具(12)外圍罩有密封用氣罩(11)，氣罩(11)用螺栓連接固定在五軸工作臺(13)上；氣罩(11)前端面開設(shè)有能透過激光束的透明石英玻璃窗口，并與激光束調(diào)節(jié)器(9)的出光口前端相對；氣罩(11)上部設(shè)有有氣動接頭，氣動接頭通過輸氣管(15)與氮氣罐(16)相連，在輸氣管(15)上設(shè)有氣動閥和氣體流量計(14);納秒脈沖激光器(5)固定在振動隔離平臺上，光纖(8)的一端通過光纖準直器(6)與納秒脈沖激光器(5)的出光口相連，光纖(8)的另一端則與激光束調(diào)節(jié)器(9)連接；水簾噴射裝置(19)固定在五軸工作臺(13)上，隨五軸工作臺(13) —起移動以保證水簾的穩(wěn)定性；水簾噴射裝置(19)的出水口位于加工件前上 方，廢水回收槽(20)放置于加工試樣的下方回收加工廢水。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種激光氣體氮化與沖擊復(fù)合改性醫(yī)用鈦合金的方法與裝置，涉及激光復(fù)合表面改性領(lǐng)域。采用激光氣體氮化結(jié)合激光沖擊強化處理的復(fù)合表面改性工藝，對醫(yī)用鈦合金材料進行表面改性。本發(fā)明方法的裝置包括計算機監(jiān)控單元、激光氣體氮化單元、激光沖擊處理單元、數(shù)控工作系統(tǒng)和測量反饋系統(tǒng)。計算機監(jiān)控單元包括計算機、連續(xù)激光控制器、脈沖激光控制器和工作臺控制器。本發(fā)明激光沖擊處理產(chǎn)生的高幅沖擊波壓力在氮化層表面引入一定大小的殘余應(yīng)力和高度位錯組織，從而在氮化層一定深度范圍內(nèi)改變其應(yīng)力分布狀態(tài)和枝晶組織形狀，能有效提高氮化層的質(zhì)量和使用壽命。
文檔編號C23C8/24GK102676750SQ20121014106
公開日2012年9月19日 申請日期2012年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月9日
發(fā)明者周建忠, 朱偉, 樊玉杰, 范金榮, 鐘輝, 高斌, 黃舒 申請人:江蘇大學(xué)