技術總結
本發明涉及金屬材料表面改性技術領域，提供了一種硬質涂層應力原位控制方法；工藝如下：對拋光的金屬基體進行超聲清洗，固定于磁控濺射真空室內；抽真空至5.0×10?3?Pa，同時加熱基體至溫度T1；通入Ar沉積金屬過渡層，當過渡層厚度達到要求后停止沉積；降低基體溫度至T2，通入N2沉積氮化物薄膜，薄膜厚度達到要求后停止沉積；降溫至室溫。本發明方法得到的薄膜中的殘余應力是由金屬材料與氮化物薄膜熱膨脹系數，以及金屬過渡層與氮化物薄膜之間的錯配度和熱應力產生的，本發明不需要基體材料表面預處理和后處理，提高了膜基結合力，得到的薄膜中具有數值適當的較高的殘余壓應力，工藝簡單。

技術研發人員：龐曉露;白燕蕓;高克瑋
受保護的技術使用者：北京科技大學
文檔號碼：201611132504
技術研發日：2016.12.09
技術公布日：2017.05.24