本實用新型屬于一種光學制造設備的部件，主要用于大四軸晶體平面拋光機的氣缸機構，也可用于其它類似晶體平面拋光機。

背景技術：

在光電行業中，加工晶體基片和光學面板平面的平面拋光機，在上下盤對工件拋光時需要對上盤施加一定的壓力和速度，才能完成拋光任務。因此拋光機工作時，除了旋轉動力外，在機床的上方還有一套專門的氣缸系統，來對活塞桿進行推動，施以一定的壓力給上盤，以保證拋光機的正常工作。這樣氣缸系統和一些連接零部件全部裝入拋光機，就帶來整機體積較大，結構復雜，相關的零件加工困難，導致制造成本居高不下，不適應現代化生產的需要。

技術實現要素：

本實用新型的主要任務和目的是，根據現有的晶體平面拋光機存在的不足，在此基礎上進行改進，設計一套新的氣缸機構，用于晶體平面拋光機，去掉原來的專門的氣缸系統。從根本上克服拋光機整機體積較大，結構復雜的現象，達到有效的提高生產效率，降低制造成本，適應現代化生產的需要。

本實用新型的主要技術方案：本實用新型包含主軸套筒、軸套、下蓋、氣缸筒、止轉桿、擋圈、活塞、進氣口、上蓋、螺桿、支撐條、螺釘、小密封圈、密封圈，具體結構：在主軸套筒上，通過小密封圈、擋圈安裝活塞，與活塞配合再安裝氣缸筒，氣缸筒上端通過密封圈裝有上蓋，氣缸筒下端通過密封圈裝有下蓋，一根止轉桿通過小密封圈穿過活塞，與上蓋下蓋連接，以防止上蓋下蓋錯位轉動，用四根螺桿將上蓋和下蓋拉緊固定，這樣就形成一個完整的氣缸，在氣缸上蓋下蓋的左右兩面和后面，分別用螺釘固定連接一根支撐條。

本實用新型通過實際應用證明：完全達到設計目的，使用時直接與拋光機的轉動軸配合連接，由進氣口氣體推動活塞主軸套筒施壓于上工件盤，使工件正常進行拋光，工件的加工效率和質量與原機床相同。機床整機體積和重量明顯減小，主軸傳動部分結構緊湊，零件工藝性好，生產效率得到提高，制造成本明顯降低，完全適應現代化生產的需要。

附圖說明

下面結合附圖，對本實用新型作進一步詳細地描述。

圖1，是本實用新型的結構示意圖。

圖2，是圖1的右視圖。

圖3，是圖1A—A向剖視圖。

圖4，是本實用新型應用于大四軸晶體平面拋光機的示意圖，這里僅繪出一個軸的使用情況，因相同其它三軸省略。

圖5，是圖4標記Ⅰ的放大圖。

圖6，是圖4標記Ⅱ的放大圖。

具體實施方式

參照圖1、2、3，對本實用新型的主要技術方案進行說明：本實用新型包含主軸套筒1、軸套2、下蓋3、氣缸筒4、止轉桿5、擋圈6、活塞7、進氣口8、上蓋9、螺桿10、支撐條11、螺釘12、小密封圈13、密封圈14，具體結構：在主軸套筒1上，通過小密封圈13、擋圈6安裝活塞7，與活塞配合再安裝氣缸筒4，氣缸筒上端通過密封圈14裝有上蓋9，氣缸筒下端通過密封圈14裝有下蓋3，一根止轉桿5通過小密封圈13穿過活塞7，與上蓋9下蓋3連接，以防止上蓋下蓋錯位轉動，用四根螺桿10將上蓋9和下蓋3拉緊固定，這就形成一個完整的氣缸，在氣缸的上蓋9下蓋3左右兩面和后面分別用螺釘12固定連接一根支撐條11。

參照圖1、4，本實用新型的工作過程：首先將本實用新型通過三根支撐條11與拋光機架固定，把主軸套筒1與機床的帶花鍵主軸16通過軸承18配合，并與上工件盤組件連接（見圖5、6），氣缸的上下進氣口8和壓縮氣體管道聯通；工作時，電機15帶動帶花鍵主軸16轉動，帶花鍵主軸帶動撥盤和上工件盤17旋轉，此時由氣缸上面的進氣口8輸入的壓縮氣體推動活塞7向下，活塞再推動主軸套筒1向下所產生的力（見圖1），施加在上工件盤17上，開始對工件進行拋光；拋光結束，由氣缸下面的進氣口8輸入的壓縮氣體推動活塞7向上，此時上工件盤17松開并向上提起，取下工件。

本實用新型已用于大四軸晶體平面拋光機和普通數控單軸晶體拋光機設備，效果較好。由于機構簡單而且有它的獨立性，所以用于的拋光機種類這里不再一一列舉。