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一種用于晶體平面拋光機的氣缸機構的制作方法

文檔序號:11032774閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種用于晶體平面拋光機的氣缸機構,其特征在于:包含主軸套筒(1)、軸套(2)、下蓋(3)、氣缸筒(4)、止轉桿(5)、擋圈(6)、活塞(7)、進氣口(8)、上蓋(9)、螺桿(10)、支撐條(11)、螺釘(12)、小密封圈(13)、密封圈(14),具體結構:在主軸套筒(1)上,通過小密封圈(13)、擋圈(6)安裝活塞(7),與活塞配合再安裝氣缸筒(4),氣缸筒上端通過密封圈(14)裝有上蓋(9),氣缸筒下端通過密封圈(14)裝有下蓋(3),一根止轉桿(5)通過小密封圈(13)穿過活塞(7),與上蓋(9)下蓋(3)連接,以防止上蓋下蓋錯位轉動,用四根螺桿(10)將上蓋(9)和下蓋(3)拉緊固定,這樣就形成一個完整的氣缸,在氣缸上蓋(9)下蓋(3)的左右兩面和后面,分別用螺釘(12)固定連接一根支撐條(11)。

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