本實用新型涉及一種模具，尤其是涉及一種壓靶模具。

背景技術：

使用脈沖激光沉積、磁控濺射等設備制備氧化物、陶瓷薄膜的時候都需要靶材。一般來說，氧化物、陶瓷靶材是通過粉末壓制而成。壓靶模具就是將粉末壓制成靶材的常用工具。在工業化生產靶材的時候，靶材的厚度要求是一定的，如何保證壓制靶材的厚度均勻性是關鍵問題。

為了實現上述目的，人們對壓靶模具進行了很多的研究和改進。其中公開號為CN 201320322140.1的中國專利公開了一種帶有刻度的壓靶模具，上模具桿的一端固定連接在模具把上，上模具桿遠離模具把的一端固定連接在上模具的中心位置，并且上模具和下模具均安裝在模具套的中心孔內，其特征在于：上模具的上模具桿上安裝有刻度尺，所以在使用壓靶模具的時候就可以得到具有相同厚度的靶材。但是，在使用上述壓靶模具時，工作人員必須仔細觀察刻度尺，以保證每次的壓制都達到統一刻度，從而給工作人員帶來較大的工作量。此外，使用上述模具時，需要通過肉眼來觀察刻度尺，這樣就會有出現誤差甚至錯誤的情況產生。

技術實現要素：

本實用新型意在提供一種壓靶模具，以降低靶材生產過程中出現的誤差。

為了實現上述目的，本實用新型提供一種壓靶模具，包括模具套、上模具、下模具、上模具桿和模具把，所述上模具桿的一端固定連接在上模具的上表面中央，所述模具把下表面與數個中空的定位筒連接，所述定位筒壁上設有多個鎖孔，鎖孔在定位筒壁上沿縱向分布，每相鄰兩個鎖孔的間隔距離相同，所述定位筒內滑動連接著一個定位桿，所述定位桿上設有沿徑向的定位孔，所述定位孔與所述鎖孔通過螺栓固定連接，所述定位桿遠離所述模具把的一端固定連接著擋塊，所述擋塊與所述模具套的側壁頂端相抵。

上述技術方案的特點是：由于定位筒壁上有距離相同的數個鎖孔，通過螺栓將定位孔與不同的鎖孔連接，就能制得不同厚度的靶材。又因為定位桿下端固定連接著擋塊，所以在壓制過程中，上模具桿向下運動就能帶動擋塊向下運動，直到擋塊與模具套的側壁頂端相抵。因此，在使用本實用新型提供的壓靶模具時，只需要人工將定位孔與不同的鎖孔連接，之后就能夠保證制得的靶材具有相同的厚度。由于在生產靶材的過程中，不需要工作人員隨時關注刻度尺的讀數，從而能夠減少工作人員的工作量。此外，本方案相比現有技術減少了肉眼的觀察，因此，本實用新型提供的壓靶模具能夠有效地降低生產過程中出現的誤差。

以下是上述方案的優選方案：

優選方案一：所述定位筒有2個，兩個所述定位筒關于所述上模具桿的中軸對稱。通過使用關于上模具桿中軸對稱的兩個定位筒，能夠保證在壓制過程中限位更加穩定，不會出現由于模具把一端的擋塊與模具套相抵，從而造成另一端傾斜的情況。

優選方案二：所述定位筒與所述模具把下表面可拆卸連接。通過定位筒與模具把的可拆卸連接，可以使定位筒的更換和維護更加方便。此外，還可以通過更換具有不同鎖孔間距的定位筒，制得之前定位筒不能壓制的厚度的靶材。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的結構示意圖；

圖2為本實用新型限位裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面通過具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：

說明書附圖中的附圖標記包括：模具套1、下模具2、上模具3、上模具桿4、模具把5、定位筒6、定位桿7、擋塊8、鎖孔9、定位孔10、螺栓11。

實施例如圖1和圖2所示：上模具3與下模具2套接在模具套1內，并且能夠在模具套1中滑動。上模具3與模具把5通過上模具桿4連接在一起。兩個定位筒6均通過螺栓與模具把5的下表面可拆卸連接，并且兩個定位筒6關于上模具桿4的中軸對稱。定位筒6側壁上縱向設有5個鎖孔9，每相鄰兩個鎖孔9間的距離為1厘米。定位桿7的一端與擋塊8固定連接，定位桿7上沿徑向設有一個定位孔10。定位桿7滑動連接在定位筒6內。

使用時，將定位桿7上的定位孔10與定位筒6上某一鎖孔9對齊，并且用螺栓11鎖緊。當定位孔10與定位筒6上最上面的鎖孔9鎖緊時，上模具3能夠向下移動到剛好與下模具2相抵。定位孔10每向下移動1厘米，壓制出來的靶材厚度增加1厘米。

此外，由于定位筒6與模具把5之間通過螺栓連接，所以可以根據實際情況更換具有不同鎖孔9間距的定位筒6，從而制得之前定位筒6不能壓制的厚度的靶材。

以上所述的僅是本實用新型的實施例，方案中公知的具體結構和/或特性等常識在此未作過多描述。應當指出，對于本領域的技術人員來說，在不脫離本實用新型結構的前提下，還可以作出若干變形和改進，這些也應該視為本實用新型的保護范圍，這些都不會影響本實用新型實施的效果和專利的實用性。本申請要求的保護范圍應當以其權利要求的內容為準，說明書中的具體實施方式等記載可以用于解釋權利要求的內容。