1.一種用于晶圓盒可靠高效搬運的機(jī)械手，所述晶圓盒定位于載物臺上，所述晶圓盒包括盒體和把手，所述把手俯視大體呈U字形，所述把手的兩自由端分別連接在所述盒體的外側(cè)面上，其特征在于，所述機(jī)械手包括：
手爪，所述手爪側(cè)視大體呈J字形；
定位傳感器，所述定位傳感器設(shè)置在所述手爪的非彎鉤一側(cè)并與搬運控制器通訊，所述搬運控制器分別控制搬運驅(qū)動單元驅(qū)動機(jī)械臂動作和控制所述定位傳感器在移動過程中對設(shè)置在所述載物臺上的定位件進(jìn)行檢測以得到檢測到的反饋，所述搬運控制器根據(jù)檢測到的反饋發(fā)出執(zhí)行抓取動作的指令；
鎖緊機(jī)構(gòu)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括鎖緊塊、鎖緊驅(qū)動單元以及鎖緊控制器，所述鎖緊塊設(shè)置在所述手爪的彎鉤一側(cè)，所述鎖緊驅(qū)動單元驅(qū)動所述鎖緊塊上下運動并與所述鎖緊控制器通訊，所述鎖緊控制器與所述搬運控制器通訊，所述鎖緊塊上行以使其下端遠(yuǎn)離所述手爪的彎鉤自由端或下行以使其下端抵靠在所述手爪的彎鉤自由端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手，其特征在于，所述機(jī)械手還包括檢測傳感器，所述檢測傳感器設(shè)置在所述手爪的非彎鉤一側(cè)并與所述鎖緊控制器通訊，所述鎖緊控制器控制所述檢測傳感器對所述盒體的設(shè)定位置進(jìn)行檢測已得到檢測到或未檢測到的反饋，所述搬運控制器根據(jù)檢測到的反饋發(fā)出執(zhí)行搬運動作的指令或根據(jù)未檢測到的反饋重新執(zhí)行抓取動作的指令。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手，其特征在于，所述定位傳感器采用視覺傳感器，所述檢測傳感器采用光電傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機(jī)械手，其特征在于，所述手爪的非彎鉤部分設(shè)有貫通至所述手爪的彎鉤自由端的釋放槽，所述釋放槽的下端口位置的兩槽壁主視大體呈八字形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機(jī)械手，其特征在于，所述手爪的彎鉤自由端和與其相對的手爪的非彎鉤部分的相對面分別加工有兩導(dǎo)向斜面，所述兩導(dǎo)向斜面?zhèn)纫暣篌w呈倒置八字形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機(jī)械手，其特征在于，所述鎖緊驅(qū)動單元包括電機(jī)和減速器，所述電機(jī)設(shè)有一編碼器且其輸出端連接所述減速器，所述電機(jī)與所述鎖緊控制器通訊，所述鎖緊機(jī)構(gòu)還包括鎖緊傳動單元和鎖緊導(dǎo)向單元，所述鎖緊傳動單元包括絲桿螺母組件和齒輪組件，所述絲桿螺母組件包括絲桿和螺母，所述螺母可轉(zhuǎn)動的支撐在一對軸承上，所述絲桿沿上下方向旋移連接在所述螺母的內(nèi)側(cè)，所述齒輪組件包括第一齒輪和第二齒輪，所述第一齒輪套設(shè)安裝在所述減速器的輸出端上，所述第二齒輪套設(shè)安裝在所述螺母的外側(cè)，所述第一齒輪與所述第二齒輪嚙合傳動，所述鎖緊導(dǎo)向單元包括移動塊和導(dǎo)向桿，所述移動塊連接在所述絲桿的下端并上下可移動的設(shè)置，所述移動塊的上端連接所述導(dǎo)向桿。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手，其特征在于，所述絲桿和所述螺母之間為梯形螺牙旋移傳動，所述第一齒輪和所述第二齒輪之間為直形齒牙嚙合傳動，所述軸承與所述螺母之間還設(shè)置有三波峰墊圈。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手，其特征在于，所述鎖緊機(jī)構(gòu)還包括接近傳感器，所述接近傳感器設(shè)置在所述導(dǎo)向桿的上方，所述接近傳感器與所述鎖緊控制器通訊，所述鎖緊控制器分別控制所述電機(jī)驅(qū)動導(dǎo)向桿動作和控制所述接近傳感器檢測其與運動中的所述導(dǎo)向桿的距離以得到二者之間為設(shè)定距離的反饋，當(dāng)接近傳感器發(fā)出反饋信號時，此時導(dǎo)向桿的位置為鎖緊機(jī)構(gòu)上下移動的零點位置，機(jī)構(gòu)在運動過程中的其余位置點都是相對零點來確定的。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手，其特征在于，所述螺母、所述第一齒輪以及所述第二齒輪內(nèi)置在一殼體中，所述絲桿和所述導(dǎo)向桿穿過所述殼體的通孔并且分別與所述殼體的通孔螺紋連接和滑動連接，所述殼體的內(nèi)壁設(shè)有一儲存油脂以為所述第一齒輪和所述第二齒輪供油的儲油槽，所述導(dǎo)向桿和與其配合的通孔之間還過盈安裝有無油軸承。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手，其特征在于，所述機(jī)械手通過安裝板連接在所述機(jī)械臂的末端，所述手爪的非彎鉤自由端連接在所述安裝板上，所述定位傳感器和所述檢測傳感器分別裝配在所述安裝板上，所述鎖緊機(jī)構(gòu)裝配在所述手爪的非彎鉤部分，所述機(jī)械手還包括封板，所述封板包括罩設(shè)在所述定位傳感器的上方的第一封罩和罩設(shè)在所述鎖緊機(jī)構(gòu)的外側(cè)的第二封罩，所述第一封罩的下端設(shè)有與所述安裝板連接敞開口，所述第二封罩的一側(cè)設(shè)有與手爪的非彎鉤部分連接的第二敞開口。