技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于晶圓盒可靠高效搬運(yùn)的機(jī)械手，晶圓盒包括盒體和把手，把手俯視大體呈U字形，機(jī)械手包括手爪、定位傳感器以及鎖緊機(jī)構(gòu)，手爪側(cè)視大體呈J字形，定位傳感器設(shè)置在手爪的非彎鉤一側(cè)并與搬運(yùn)控制器通訊，鎖緊機(jī)構(gòu)包括鎖緊塊、鎖緊驅(qū)動(dòng)單元以及鎖緊控制器，鎖緊塊設(shè)置在手爪的彎鉤一側(cè)，鎖緊驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)鎖緊塊上下運(yùn)動(dòng)，鎖緊塊上行以使其下端遠(yuǎn)離手爪的彎鉤自由端或下行以使其下端抵靠在手爪的彎鉤自由端。該機(jī)械手體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、帶視覺(jué)識(shí)別和傳感檢測(cè)功能，并在機(jī)械結(jié)構(gòu)上配置有物料鎖緊機(jī)構(gòu)。可保證機(jī)械手能夠準(zhǔn)確可靠地抓取晶圓盒，在搬運(yùn)過(guò)程中可避免晶圓盒滑落，有助于實(shí)現(xiàn)高效可靠地作業(yè)。

技術(shù)研發(fā)人員：葉磊;戴軍;王宏軍;林睿;厲茂海
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州元謀智能機(jī)器人系統(tǒng)有限公司
文檔號(hào)碼：201621015655
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2017.05.10